本發(fā)明涉及一種檢查裝置及利用該檢查裝置的檢查方法。更詳細(xì)地講，涉及一種對(duì)提供視覺(jué)信息的檢查對(duì)象進(jìn)行檢查的檢查裝置及利用該檢查裝置的檢查方法。

背景技術(shù)：

1、顯示裝置可以包括多個(gè)層。并且，顯示裝置可以具有曲率。在顯示裝置的制造工藝中，可能在所述多個(gè)層中產(chǎn)生缺陷。據(jù)此，正在開(kāi)發(fā)用于檢查具有曲率的顯示裝置中是否存在缺陷的多樣的檢查裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的一目的在于提供一種檢查的效率性及準(zhǔn)確性得到提高的檢查裝置。

2、本發(fā)明的另一目的在于提供一種利用所述檢查裝置的檢查方法。

3、然而，本發(fā)明的目的不限于上述目的，可以在不脫離本發(fā)明的思想及領(lǐng)域的范圍內(nèi)多樣地?cái)U(kuò)展。

4、為了實(shí)現(xiàn)前述的本發(fā)明的一目的，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的檢查裝置可以包括：光源部，發(fā)出光源；光分配器，接收所述光源并將所述光源分配為沿第一路徑行進(jìn)的第一分配光及沿與第一路徑不同的第二路徑行進(jìn)的第二分配光；選擇部，從所述光分配器接收所述第一分配光，并使所述第一分配光選擇性地以沿第一行進(jìn)方向行進(jìn)的第一選擇光或沿第二行進(jìn)方向行進(jìn)的第二選擇光行進(jìn)；測(cè)量部，朝向布置在由彼此交叉的第一方向及第二方向定義的平面上的檢查對(duì)象的被照射面照射從所述選擇部接收的所述第二選擇光，并將從所述檢查對(duì)象的所述被照射面反射所述第二選擇光而獲得的第一反射光傳遞給所述光分配器；基準(zhǔn)部，基于從所述光分配器接收的所述第二分配光來(lái)生成第二反射光，并將所述第二反射光傳遞給所述光分配器；檢測(cè)部，從所述光分配器接收借由傳遞給所述光分配器的所述第一反射光及所述第二反射光而形成的干涉光，并分析所述干涉光的光譜；以及影像處理部，基于由所述檢測(cè)部分析的所述干涉光的光譜來(lái)生成所述檢查對(duì)象的斷層圖像。

5、在一實(shí)施例中，所述測(cè)量部可以包括：第一模塊，從所述選擇部接收所述第一選擇光，朝向所述檢查對(duì)象的所述被照射面照射所述第一選擇光，并基于所述第一選擇光被反射而獲得的子反射光來(lái)測(cè)量所述檢查對(duì)象的位置信息；以及第二模塊，從所述選擇部接收所述第二選擇光，朝向所述檢查對(duì)象的所述被照射面照射所述第二選擇光，并將所述第二選擇光被反射而獲得的所述第一反射光傳遞給所述光分配器。

6、在一實(shí)施例中，所述測(cè)量部還可以包括：移動(dòng)部，基于所述檢查對(duì)象的所述位置信息來(lái)調(diào)節(jié)所述第一模塊及所述第二模塊的位置。

7、在一實(shí)施例中，所述位置信息可以表示在所述平面的法線方向上測(cè)量的所述檢查對(duì)象的所述被照射面到所述第一模塊的最小距離，所述移動(dòng)部可以使所述第一模塊及所述第二模塊沿所述平面的法線方向往返移動(dòng)。

8、在一實(shí)施例中，所述第一選擇光和所述第二選擇光可以照射到所述檢查對(duì)象的所述被照射面上的相同的位置。

9、在一實(shí)施例中，所述第一模塊及所述第二模塊可以彼此相鄰。

10、在一實(shí)施例中，所述第二模塊可以包括：檢流計(jì)掃描儀，調(diào)節(jié)所述第二選擇光的方向，所述光源可以是寬帶光源。

11、在一實(shí)施例中，所述檢測(cè)部可以包括衍射光柵。

12、在一實(shí)施例中，所述第二模塊可以包括：多邊形掃描儀，調(diào)節(jié)所述第二選擇光的方向，所述光源可以是波長(zhǎng)掃描光源。

13、在一實(shí)施例中，所述多邊形掃描儀可以包括旋轉(zhuǎn)馬達(dá)。

14、在一實(shí)施例中，所述第二模塊還可以包括：輔助掃描儀，在與所述多邊形掃描儀所調(diào)節(jié)的第二選擇光的方向不同的方向上調(diào)節(jié)所述第二選擇光的方向。

15、在一實(shí)施例中，所述輔助掃描儀可以是檢流計(jì)掃描儀。

16、在一實(shí)施例中，從所述第一模塊照射到所述檢查對(duì)象的所述被照射面的所述第一選擇光和所述子反射光可以在彼此相同的行進(jìn)路徑上沿反方向行進(jìn)，從所述第二模塊照射到所述檢查對(duì)象的所述被照射面的所述第二選擇光和所述第一反射光可以在彼此相同的行進(jìn)路徑上沿反方向行進(jìn)。

17、在一實(shí)施例中，所述基準(zhǔn)部可以包括：第一準(zhǔn)直器，將第一準(zhǔn)直器轉(zhuǎn)換成平行光，所述檢測(cè)部可以包括：第二準(zhǔn)直器，將所述干涉光轉(zhuǎn)換成平行光。

18、在一實(shí)施例中，所述基準(zhǔn)部還可以包括聚焦透鏡及鏡，所述第一準(zhǔn)直器、所述聚焦透鏡及所述鏡可以分別隔開(kāi)。

19、為了實(shí)現(xiàn)前述的本發(fā)明的另一目的，根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的檢查方法可以包括如下步驟：從光源部發(fā)出光源；利用光分配器將所述光源分配為沿第一路徑行進(jìn)的第一分配光及沿與第一路徑不同的第二路徑行進(jìn)的第二分配光；使所述第一分配光選擇性地以沿第一行進(jìn)方向行進(jìn)的第一選擇光或沿第二行進(jìn)方向行進(jìn)的第二選擇光行進(jìn)；朝向布置在由彼此交叉的第一方向及第二方向定義的平面上的檢查對(duì)象的被照射面照射所述第二選擇光，并將從所述檢查對(duì)象的所述被照射面反射所述第二選擇光而獲得的第一反射光傳遞給所述光分配器；基于所述第二分配光來(lái)生成第二反射光，并將所述第二反射光傳遞給所述光分配器；分析借由傳遞給所述光分配器的所述第一反射光及所述第二反射光而形成的干涉光的光譜；以及基于所述干涉光的光譜來(lái)生成所述檢查對(duì)象的斷層圖像。

20、在一實(shí)施例中，將所述第一反射光傳遞給所述光分配器的步驟可以包括如下步驟：通過(guò)第一模塊朝向所述檢查對(duì)象的所述被照射面照射沿所述第一行進(jìn)方向行進(jìn)的所述第一選擇光；基于所述第一選擇光被反射而獲得的子反射光來(lái)測(cè)量所述檢查對(duì)象的位置信息；通過(guò)第二模塊朝向所述檢查對(duì)象的所述被照射面照射沿所述第二行進(jìn)方向行進(jìn)的所述第二選擇光；以及將反射所述第二選擇光而獲得的所述第一反射光傳遞給所述光分配器。

21、在一實(shí)施例中，將所述第一反射光傳遞給所述光分配器的步驟還可以包括如下步驟：在所述第二選擇光照射到所述被照射面之前，基于所述檢查對(duì)象的所述位置信息來(lái)調(diào)節(jié)所述第一模塊及所述第二模塊的位置。

22、在一實(shí)施例中，所述第一選擇光和所述第二選擇光可以照射到所述檢查對(duì)象的所述被照射面上的相同的位置。

23、在一實(shí)施例中，從所述第一模塊照射到所述檢查對(duì)象的所述被照射面的所述第一選擇光和所述子反射光可以在彼此相同的行進(jìn)路徑上沿反方向行進(jìn)，并且從所述第二模塊照射到所述檢查對(duì)象的所述被照射面的所述第二選擇光和所述第一反射光可以在彼此相同的行進(jìn)路徑上沿反方向行進(jìn)。

24、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的檢查裝置可以包括光源部、光分配器、選擇部、測(cè)量部、基準(zhǔn)部、檢測(cè)部及影像處理部。據(jù)此，所述檢查裝置可以朝向檢查對(duì)象的被照射面照射從所述選擇部傳遞的第一選擇光，并基于反射所述第一選擇光而獲得的子反射光來(lái)測(cè)量所述檢查對(duì)象的位置信息。并且，所述檢查裝置可以從所述選擇部朝向所述檢查對(duì)象的所述被照射面照射第二選擇光，并分析反射所述第二選擇光而獲得的第一反射光及在基準(zhǔn)部生成的第二反射光的干涉光來(lái)生成具有曲率的檢查對(duì)象的斷層圖像。據(jù)此，所述檢查裝置可以實(shí)時(shí)地掌握關(guān)于所述檢查對(duì)象的所述位置信息，并以此為基礎(chǔ)生成所述檢查對(duì)象的斷層圖像。因此，可以提高檢查的效率性及準(zhǔn)確性。

25、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的檢查方法，可以通過(guò)第一模塊朝向所述檢查對(duì)象的所述被照射面照射所述第一選擇光，基于反射而獲得的所述子反射光來(lái)測(cè)量所述檢查對(duì)象的所述位置信息，并可以通過(guò)第二模塊朝向所述檢查對(duì)象的所述被照射面照射所述第二選擇光，并將反射而獲得的所述第一反射光傳遞給所述光分配器。據(jù)此，可以實(shí)時(shí)地掌握關(guān)于所述檢查對(duì)象的所述位置信息，并以此為基礎(chǔ)生成所述檢查對(duì)象的斷層圖像。因此，可以提高檢查的效率性及準(zhǔn)確性。

26、然而，本發(fā)明的效果不限于前述的效果，可以在不脫離本發(fā)明的思想及領(lǐng)域的范圍內(nèi)多樣地?cái)U(kuò)展。