1.一種適于安裝在電子裝置的測試設(shè)備中的探針卡(20),所述探針卡(20)包括:容納多個接觸探針(22)的至少一個探針頭(21),每個接觸探針(22)具有適于抵接到被測裝置(23)的接觸焊盤(23a)的至少一個第一端部(22a);以及主板(27)和中間板,所述中間板連接到所述主板(27)并適于在其相對面上形成的接觸焊盤之間提供距離空間變換,所述中間板是空間變換器(30),其特征在于,所述空間變換器(30)包括呈板狀且共面、在結(jié)構(gòu)上和功能上彼此獨立的多個模塊(40),每個模塊(40)具有第一面(f1)和第二面(f2),所述第一面(f1)面向所述探針頭(21)并設(shè)置有多個第一接觸焊盤(40a),所述接觸探針(22)的相應(yīng)第二端部(22b)抵接到所述多個第一接觸焊盤(40a);所述第二面(f2)與所述第一面(f1)相對并面向所述主板(27),所述第二面(f2)又設(shè)置有多個第二接觸焊盤(40b),所述多個第二接觸焊盤(40b)通過形成在所述模塊(40)內(nèi)的電氣連接件(40c)連接到所述多個第一接觸焊盤(40a),并且所述空間變換器(30)包括與所述模塊(40)的所述第二面(f2)對應(yīng)形成的連接結(jié)構(gòu)(31),所述模塊(40)具有相同厚度(s2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡(20),其特征在于,所述空間變換器(30)的所述連接結(jié)構(gòu)(31)包括多個連接區(qū)域(41),所述連接區(qū)域(41)中的每一個與所述模塊(40)中的一個的第二面(f2)對應(yīng)形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針卡(20),其特征在于,每個連接區(qū)域(41)包括選自焊接、粘合膜、粘合膠、導(dǎo)電粘合膜或?qū)щ娬澈夏z之間的一項。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡(20),其特征在于,所述連接結(jié)構(gòu)(31)將所述空間變換器(30)的所述模塊(40)在對應(yīng)于所述主板(27)的面向所述探針頭(21)的面(f3)整體連接到所述主板(27)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡(20),其特征在于,與所述模塊(40)整體連接的所述主板(27)的所述面(f3)具有小于5微米的表面粗糙度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡(20),其特征在于,所述空間變換器(30)還包括支撐件(32),并且所述連接結(jié)構(gòu)(31)將所述空間變換器(30)的所述模塊(40)在對應(yīng)于所述支撐件(32)的面向所述探針頭(21)的面(f4)整體連接到所述支撐件(32),所述支撐件(32)又整體連接到所述主板(27)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針卡(20),其特征在于,與所述模塊(40)整體連接的所述支撐件(32)的所述面(f4)具有小于5微米的表面粗糙度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡(20),其特征在于,所述空間變換器(30)還包括與所述模塊(40)共面的多個分隔元件(42),所述分隔元件(42)與所述模塊(40)呈棋盤式構(gòu)造穿插布置,所述分隔元件(42)中的每一個分隔一對所述模塊(40)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針卡(20),其特征在于,所述分隔元件(42)中的每一個包括與其面向所述主板(27)的面(f2)對應(yīng)形成的連接區(qū)域(41),所述分隔元件(42)的所述連接區(qū)域(41)包括在所述空間變換器(30)的所述連接結(jié)構(gòu)(31)中。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探針卡(20),其特征在于,所述分隔元件(42)中的至少一個包括有源部件和/或無源部件。
11.?根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針卡?(20),其特征在于,每個連接區(qū)域(41)借助單個區(qū)域來形成,或者其包括多個連接區(qū)域(41a),所述多個連接區(qū)域(41a)彼此分開并布置在所述模塊(40)的所述第二面(f2)上。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡(20),其特征在于,所述模塊(40)中的每一個具有板狀形狀,所述板狀形狀選自具有矩形底的棱柱形狀和具有六邊形底的棱柱形狀。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡(20),其特征在于,所述模塊(40)中的每一個包括至少一個多層,優(yōu)選是有機多層mlo。
14.一種適于插入電子裝置的測試設(shè)備的探針卡(20)中的空間變換器(30),其特征在于,所述空間變換器(30)包括呈板狀且共面、在結(jié)構(gòu)上和功能上彼此獨立的多個模塊(40),每個模塊(40)具有設(shè)置有多個第一接觸焊盤(40a)的第一面(f1)和與所述第一面(f1)相對的第二面(f2),所述第二面(f2)又設(shè)置有借助形成在所述模塊(40)內(nèi)的電氣連接件(40c)連接到所述多個第一接觸焊盤(40a)的多個第二接觸焊盤(40b),并且所述空間變換器(30)包括與所述模塊(40)的所述第二面(f2)對應(yīng)形成的連接結(jié)構(gòu)(31),所述模塊(40)具有相同厚度(s2)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的空間變換器(30),其特征在于,所述連接結(jié)構(gòu)(31)包括多個連接區(qū)域(41),所述連接區(qū)域(41)中的每一個形成在其中一個所述模塊(40)的第二面(f2)處。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的空間變換器(30),其特征在于,每個連接區(qū)域(41)包括選自焊接、粘合膜、粘合膠、導(dǎo)電粘合膜或?qū)щ娬澈夏z中的一項。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的空間變換器(30),其特征在于,還包括支撐件(32),所述連接結(jié)構(gòu)(31)將所述模塊(40)在對應(yīng)于所述支撐件(32)的面(f4)整體連接到所述支撐件(32)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的空間變換器(30),其特征在于,與所述模塊(40)整體連接的所述支撐件(32)的所述面(f4)的表面粗糙度的值選自小于5微米或小于1微米。
19.根據(jù)權(quán)利要求14所述的空間變換器(30),其特征在于,還包括與所述模塊(40)共面的多個分隔元件(42),所述分隔元件(42)與所述模塊(40)呈棋盤式構(gòu)造穿插布置,所述分隔元件(42)中的每一個分隔一對所述模塊(40)。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的空間變換器(30),其特征在于,所述分隔元件(42)中的每一個包括連接區(qū)域(41),該連接區(qū)域(41)與所述模塊(40)的所述第二面(f2)對齊并對應(yīng)形成在其上,所述分隔元件(42)的所述連接區(qū)域(41)包括在所述空間變換器(30)的所述連接結(jié)構(gòu)(31)中。