本發(fā)明涉及一種薄膜柔性力敏傳感器。

背景技術：

薄膜開關是集按鍵功能、指示元件、儀器面板為一體的一個操作系統(tǒng)。由面板、上電路、隔離層、下電路四部分組成。為輕觸接通式常開開關，正常情況下薄膜開關的上、下觸點呈斷開狀態(tài)。按下薄膜開關，上電路的觸點向下變形，與下電路的極板接觸導通，手指松開后，上電路觸點反彈回來，電路斷開，回路觸發(fā)一個信號。薄膜開關結(jié)構(gòu)嚴謹，外形美觀，密封性好。具有防潮濕，使用壽命長等特點。廣泛應用于電子通訊、電子測量的儀器，工業(yè)控制，醫(yī)療設備，汽車工業(yè)，智能玩具，家用電器等領域。

在工程實踐中，有案例將薄膜開關改進為力敏傳感器。如圖9所示，傳感器由上電路、隔離層、下電路三部分組成。其上電路由導電銀漿印刷而成，下電路由普通碳漿印刷而成。正常情況下傳感器的上、下觸點呈斷開狀態(tài)。傳感器受到壓力，上電路的觸點向下變形，與下電路的極板接觸導通。壓力越大上電路絲柵與下電路極板接觸面積越大，導通電阻越小；反之，壓力越小上電路絲柵與下電路極板接觸面積越小，導通電阻越大。手指松開后，上電路觸點反彈回來，電路斷開。壓力與電阻的近似線性關系，使傳感器實現(xiàn)對壓力的電測。此類傳感器又被稱為片式碳力敏電阻器和碳壓力傳感器。柔性薄膜開關可以改進為薄膜柔性力敏傳感器。

普通薄膜柔性力敏傳感器上下電路采用性能良好的聚酯薄膜作為電路圖形的載體并在其上用特殊的工藝絲印上導電銀漿和導電碳漿，使其具有導電性能。

這種普通薄膜柔性力敏傳感器有明顯的缺點：

1、可靠性、穩(wěn)定性和耐久性差：普通薄膜柔性力敏傳感器下電路極板碳膜是用普通導電碳漿絲印制成的。碳質(zhì)填料是導電碳漿的導電材料，主要有石墨和炭黑兩種，而碳漿的綜合性能也與碳質(zhì)填料密切相關。通常使用的石墨都具有層狀結(jié)構(gòu)，因此，其耐壓力的程度受到了一定的限制。由于這一原因，石墨一般不單獨作為填料使用，多與炭黑搭配。層狀結(jié)構(gòu)的石墨與球形結(jié)構(gòu)的炭黑混合使用時，石墨的片可在炭黑的球之間搭橋，從而有利于提高固化膜的導電性能。由于石墨和炭黑批量制備工藝的局限，無論是層狀結(jié)構(gòu)的石墨還是球形結(jié)構(gòu)的炭黑，其顆粒大小不一，均勻度較差，影響了碳質(zhì)填料在導電碳漿中的分散性。因此普通導電碳漿絲印制成的極板碳膜，普遍存在分層、掉粉、與基體附著力差和膜層疏松等缺陷，使碳膜的導電性不穩(wěn)定，導致傳感器電測數(shù)據(jù)的漂移。在傳感器工作時上下電路多次觸碰后，碳膜會出現(xiàn)不同程度的破壞，影響傳感器的信號輸出。

2、抗動態(tài)彎折能力差：普通薄膜柔性力敏傳感器上電路，是由導電銀漿絲印，低溫固化制成。在導電銀漿中，導電銀的微粒分散在粘合劑中。在印制圖形前，依靠被溶劑溶解了的粘合劑使銀漿構(gòu)成有一定粘度的印料，完成以絲網(wǎng)印刷方式的圖形轉(zhuǎn)移；印刷后，經(jīng)過固化過程，使導電銀漿的微粒與微粒之間、微粒與基材之間形成穩(wěn)定的結(jié)合。粘合劑又稱結(jié)合劑，是導電銀漿中的成膜物質(zhì)。與金屬相比，粘合劑成膜的強度和韌性要差很多，實踐中導電銀漿絲印傳感器及其引出線在動態(tài)彎折工作狀態(tài)下較多出現(xiàn)銀漿電路斷裂和脫落等現(xiàn)象。

3、線性差。

綜上，由于普通薄膜柔性力敏傳感器下電路材質(zhì)的固有缺陷，使傳感器在上下電路導通后，測量電阻值極不穩(wěn)定，數(shù)據(jù)跳動幅度超過20％，極大的影響了傳感器的線性，限制了此類傳感器在工程實踐中的廣泛應用。由于普通薄膜柔性力敏傳感器明顯的缺點，使其在工業(yè)傳感器領域應用較少，較多應用的是開關領域。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明克服了上述缺陷，提供了一種在線性、可靠性、穩(wěn)定性、耐久性和抗動態(tài)彎折能力等方面獲得提升的薄膜柔性力敏傳感器；

本發(fā)明的另一目的是提供上述薄膜柔性力敏傳感器的應用。

本發(fā)明的目的通過以下技術方案來具體實現(xiàn)：

本發(fā)明提供了一種薄膜柔性力敏傳感器，包括：

上電路膜片，由第一基體膜及第一基體膜表面的金屬箔柵構(gòu)成；

下電路膜片，由第二基體膜及第二基體膜表面的導電膜構(gòu)成；

絕緣支撐架，位于上電路膜片和下電路膜片之間，將上、下電路膜片撐開，使上、下電路膜片具有一定的間隔。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，所述金屬箔柵的圖案包括圓形的指紋電路和兩條對稱的引出線，其中，所述指紋電路由第一螺旋狀箔柵和第二螺旋狀箔柵相互嵌套而成。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面所述第一螺旋箔柵柵條寬度和第二螺旋箔柵的柵條寬度相同，且相鄰兩柵條之間的間隔是柵條寬度的0.5-3倍。優(yōu)選地，相鄰兩柵條之間的間隔與柵條寬度相當。進一步優(yōu)選的，所述相鄰兩柵條之間的間隔與柵條寬度均為0.09mm。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，所述指紋電路的兩條螺旋箔柵分別由外端引出對稱的引出線。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，所述下電路膜片的導電膜呈圓形，與圓形的指紋電路相對應。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，所述導電膜為石墨烯和碳納米管的復合膜，優(yōu)選地，導電膜中所含石墨烯和碳納米管的量為0.9-17wt％，石墨烯和碳納米管的質(zhì)量比為(2-5)：2；進一步優(yōu)選地，導電膜中所含石墨烯和碳納米管的量為1.7wt％，石墨烯和碳納米管的質(zhì)量比為3：2。石墨烯和碳納米管的復合膜是含有石墨烯和碳納米管的樹脂膜材，具有導電性能的含碳樹脂膜是本領域技術人員公知技術，屬于現(xiàn)有技術，然而，良好性能的導電膜材一直讓科學家們孜孜以求，對導電質(zhì)不斷的調(diào)整，以提高導電膜的性能，使其在應用中更為針對性。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，所述絕緣支撐架為環(huán)狀的pet雙面膠，與指紋電路和導電膜的邊緣連接，使指紋電路和導電膜之間構(gòu)成密閉的空間；優(yōu)選地，所述pet雙面膠厚度為0.05-0.2mm，優(yōu)選0.075mm。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，所述第一基體膜和第二基體膜均采用pi膜，厚度為0.5-5mil，其中，第一基體膜的厚度優(yōu)選1mil，第二基體膜的厚度優(yōu)選3mil。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，所述金屬箔柵采用壓延銅箔。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，所述上電路膜片采用fpc技術設計制作而成。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，所述薄膜柔性力敏傳感器還設有背膜，用于與外部基體粘結(jié)。背膠優(yōu)選防水膠，厚度優(yōu)選為0.050mm。

本發(fā)明還提供了一種薄膜開關，包括上述薄膜柔性力敏傳感器作為薄膜開關。

本發(fā)明的有益效果：

本發(fā)明薄膜柔性力敏傳感器上電路膜片利用作為載體的基體膜和附著其上的銅箔直接刻蝕出指紋形狀的上電路和引出線，即上電路和引用出一體成形，引出線與傳感器是一體的，并按設計指定的位置和標準的線距向外延伸，柔軟可任意彎曲的密封引出線與整機后置電路直接相連。柔性壓力傳感器上電路(指紋電路)及其引出線均使用銅箔蝕刻而成，銅焊盤具有良好的可焊性。因此傳感器與整機后置電路相連時可采用焊接方式，而不必使用連接器，減少了中間環(huán)節(jié)。這樣一方面電信號傳導更加順利，有利于傳感器敏感度的提升；另一方面，可以有效減少制作工藝的流程，成品率更高。

本發(fā)明另一重要技術貢獻是采用了石墨烯和碳納米管復合膜作為導電膜，石墨烯和碳納米管的組合，使印刷膜層獲得了理想的導電性、致密性和強度。但是，石墨烯具有納米顆粒共同的特性，容易聚集，這就對石墨烯的有效分散帶來更高的要求。碳納米管除了擁有良好的導電性以外，還擁有良好的柔韌性，可以拉伸。兩者結(jié)合，實現(xiàn)了“1+1＞2”的效果，即有效發(fā)揮了石墨烯和碳納米管的導電性能，又使石墨烯在膜介質(zhì)(樹脂)中的分散性得到了提升，進而可以使膜介質(zhì)中容納更多的石墨烯和碳納米管(石墨烯和碳納米管含量可達19wt％)，從而進一步提高導電膜的導電能力。

本發(fā)明具體效果如下：

1、高可靠性、穩(wěn)定性和耐久性

本公開薄膜柔性力敏傳感器的下電路采用石墨烯碳納米管復合膜作為導電膜。普通薄膜柔性力敏傳感器的下電路導電材料，主要有石墨和炭黑兩種，層狀結(jié)構(gòu)的石墨與球形結(jié)構(gòu)的炭黑混合使用時，石墨的片可在炭黑的球之間搭橋，從而有利于提高固化膜的導電性能。本公開薄膜柔性力敏傳感器的下電路，采用添加了石墨烯碳納米管的導電膜，以層狀結(jié)構(gòu)的石墨烯替代層狀結(jié)構(gòu)的普通石墨，以管狀結(jié)構(gòu)的碳納米管替代球形結(jié)構(gòu)的炭黑。混合使用時，石墨烯的片在碳納米管之間搭橋以提高固化膜的導電性能。由于石墨烯粉體和碳納米管均為納米級顆粒，顆粒度遠小于石墨和炭黑，在相同的體積下，導電顆粒大，顆粒間的接觸幾率偏低，并留有較大的空間，被非導體的粘合劑所占據(jù)，從而對導電顆粒形成阻隔，導電性能下降。反之，細小顆粒的接觸幾率提高，導電性能得到改善。而石墨烯粉體和碳納米管比表面積和顆粒均勻度又遠優(yōu)于石墨和炭黑，它們與粘合劑的結(jié)合度和在粘合劑中的分散性均有相當?shù)奶嵘Ｒ虼?，石墨烯碳納米管的復合使膜層致密性和導電均勻性大幅提升，致密穩(wěn)定的復合膜使分層和掉粉等缺陷大大減少，柔韌性提高，膜層與基體的結(jié)合力增強，可承受上下電路高頻次大力度接觸而不損壞，保障了傳感器的可靠性、耐久性和一致性。參見圖11、12所示，本發(fā)明采用的石墨烯碳納米管復合膜sem圖(放大2000倍)和普通碳膜sem圖(放大2000倍)，可見本發(fā)明石墨烯碳納米管復合膜sem圖上具有很多褶皺，細密而均勻。普通碳膜sem圖上則呈現(xiàn)顆粒拼湊狀，散粒明顯。證明石墨烯碳納米管復合膜致密性和導電介分布均勻性優(yōu)于普通碳膜。

參見附圖9、10，本發(fā)明所采用的石墨烯碳納米管復合膜的柔性力敏傳感器與和采用現(xiàn)有一般的碳膜的力敏傳感器罝出電膜值線性示意圖的對比可知，本發(fā)明采用石墨烯碳納米管膜的力敏傳感器線性優(yōu)于普通碳膜傳感器，本發(fā)明傳感器更加敏感精確，同樣的壓力，輸出電阻值是普通碳膜的6-8倍。

2、高抗彎折性

本公開的薄膜柔性力敏傳感器運用柔性線路板(flexibleprintedcircuit，fpc)技術設計制作上電路。為保障傳感器在動態(tài)彎折狀態(tài)下工作，對上電路進行了抗彎折設計優(yōu)化。以聚酰亞胺(polyimide，pi)薄膜為基體，選用壓延銅箔(ra)作為覆蓋銅層蝕刻出的指紋電路及其引出線。普通薄膜柔性力敏傳感器上電路，是由導電銀漿絲印，低溫固化制成。在導電銀漿中，導電銀的微粒分散在粘合劑中。粘合劑又稱結(jié)合劑，是導電銀漿中的成膜物質(zhì)。與導電銀漿印刷電路的粘合劑成膜相比，金屬銅箔蝕刻出的電路及其引出線柔韌性大大提升，具備動態(tài)抗彎折性能。

3、更好的線性

綜上，石墨烯碳納米管復合膜綜合性能的提升，帶來了傳感器電測阻值穩(wěn)定性的提高，減小了傳感器工作時測量阻值跳動的幅度。對柔性線路板(flexibleprintedcircuit，fpc)的優(yōu)化設計使指紋圖形電路的柵條更細，柵條間距更小，均可達0.09mm。指紋圖形的設計及更細的柵條和更小的柵條間距使薄膜柔性力敏傳感器比較現(xiàn)有普通導電銀漿傳感器，上下電路接觸面積區(qū)分度就提高了3倍，導通電阻值變化的區(qū)分度就提高了3倍，傳感器的測量分辨度也就提高了3倍，大大增加了傳感器工作域節(jié)級，提高了傳感器工作時電測阻值的連續(xù)性。上下電路性能改善疊加，顯著提高了新型薄膜柔性力敏傳感器的線性。

附圖說明

附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本發(fā)明的實施例一起用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的薄膜柔性力敏傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明的另一個實施例的薄膜柔性力敏傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明的上電路膜片的正面主視圖；

圖4是本發(fā)明的下電路膜片的正面主視圖；

圖5是本發(fā)明的下電路膜片的右視圖；

圖6是本發(fā)明的絕緣支撐架的正面主視圖；

圖7是本發(fā)明絕緣支撐架的側(cè)視圖；

圖8是本發(fā)明的另一個實施例的薄膜開關示意圖；

圖9是本發(fā)明薄膜柔性力敏傳感器不同壓力作用下輸出電值線性示意圖；

圖10是普通碳膜柔性力敏傳感器不同壓力作用下輸出電值線性示意圖；

圖11是本發(fā)明傳感器導電膜的sem圖(放大2000倍)；

圖12是普通碳膜sem圖(放大2000倍)；

圖中，1-上電路膜片，11-第一基體膜，12-指紋電路，13-引出線，(12+13)-金屬箔柵，120-螺旋箔柵，2-下電路膜片，21-第二基體膜，22-導電膜(石墨烯碳納米管復合膜)，3-絕緣支撐架(pet雙面膠)，30-密閉空間，4-背膠。

具體實施方式

在下文中，僅簡單地描述了某些示例性實施例。正如本領域技術人員可認識到的那樣，在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，可通過各種不同方式修改所描述的實施例。因此，附圖和描述被認為本質(zhì)上是示例性的而非限制性的。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術語“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“嵌套”“外端”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個所述特征。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通或兩個元件的相互作用關系。對于本領域的普通技術人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術語在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公開提供了許多不同的實施方式或例子用來實現(xiàn)本發(fā)明的不同結(jié)構(gòu)。為了簡化本發(fā)明的公開，下文中對特定例子的部件和設置進行描述。當然，它們僅僅為示例，并且目的不在于限制本發(fā)明。此外，本發(fā)明可以在不同例子中重復參考數(shù)字和/或參考字母，這種重復是為了簡化和清楚的目的，其本身不指示所討論各種實施方式和/或設置之間的關系。此外，本發(fā)明提供了的各種特定的工藝和材料的例子，但是本領域普通技術人員可以意識到其他工藝的應用和/或其他材料的使用。

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行說明，應當理解，此處所描述的優(yōu)選實施例僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

實施例1：

如圖1所示，一種薄膜柔性力敏傳感器，包括：

上電路膜片1，由第一基體膜11及第一基體膜表面的金屬箔柵12和13構(gòu)成；

下電路膜片2，由第二基體膜21及第二基體膜表面的導電膜22構(gòu)成；

絕緣支撐架3，位于上電路膜片和下電路膜片之間，將上、下電路膜片撐開，使上、下電路膜片具有一定的間隔。

其中，第一基體膜11和第二基體膜21分別為金屬箔柵12、13和導電膜22的載體。參見圖2所示，上電路膜片1中，金屬箔柵12、13的圖案包括圓形的指紋電路12和兩條對稱的引出線13。其中的指紋電路12由第一螺旋狀箔柵121和第二螺旋狀箔柵122相互嵌套而成。本領域通俗的稱其為電阻式傳感器的上電路。所述指紋電路的兩條螺旋箔柵121、122分別由外端引出對稱的引出線13，引出線用于連接電路，一般來說與整機后置電路直接相連。參見圖3、4所示，下電路膜片2中，其中的導電膜22是本領域通俗的稱其為電阻式傳感器的下電路，附著于第二基體膜21。本實施例采用電氣性能和機械性能良好的聚酰亞胺(polyimide，pi)薄膜作為上下電路的載體，即第一基體膜11、第二基體膜21均采用pi材質(zhì)。聚酰亞胺薄膜pi的固有性質(zhì)，使得該柔性壓敏傳感器具有良好的絕緣性、耐熱性、抗折性、較高的回彈性和良好的柔軟性，不僅適用于平面體，還能與曲面體配合。聚酰亞胺薄膜厚度為0.5-5mil，常用的厚度有:0.5mil、1.0mil、2.0mil、3.0mil、5.0mil，等。本實施例優(yōu)選2.0mil。其中，第一基體膜的厚度優(yōu)選1mil，第二基體膜的厚度優(yōu)選3mil。

本公開柔性力敏傳感器的上電路膜片1及其引出線均采用柔性線路板(flexibleprintedcircuit，fpc)技術制作，用柔性線路板基板外表所覆蓋的銅箔作為導體材料蝕刻出特殊設計的上電路(指紋電路)及其引出線。作為最優(yōu)化的方案，本公開柔性力敏傳感器的金屬箔柵采用壓延銅箔ra。本實施例中，壓延銅箔ra的厚度優(yōu)選為0.018mm。

本實施例中，所述下電路膜片2的導電膜22呈圓形，與圓形的指紋電路12相對應。導電膜22為一種帶有導電質(zhì)的樹脂膜，例如采用低電阻、低溫條件下固化的石墨烯碳納米管復合膜。石墨烯和碳納米管的復合膜相較于現(xiàn)有的石墨與炭黑的復合膜，在微觀上看，用二維結(jié)構(gòu)的石墨烯代替高厚度層狀的石墨，用一維的線性碳納米管代替大顆粒的炭黑，二維結(jié)構(gòu)的石墨烯與一維的線性碳納米管之間所形成的電子網(wǎng)格更加均勻且更容易通過電子，因而石墨烯和碳納米管的復合膜的導電性、導電率、導電均勻性都具有石墨與炭黑復合膜所無法逾越的高度。優(yōu)選地，導電膜中所含石墨烯和碳納米管的量為0.9-17wt％，例如：0.9wt％、1.5wt％、3wt％、4wt％、5.5wt％、6wt％、7.3wt％、8wt％、9wt％、10wt％、12wt％、13.5wt％、14wt％、15wt％、16.5wt％、17wt％，等；石墨烯和碳納米管的質(zhì)量比為(2-5)：2。進一步優(yōu)選地，導電膜中所含石墨烯和碳納米管的量為1.7wt％，其中含有石墨烯1wt％，含有碳納米管0.7wt％。

本實施例中，參見圖1、5、6所示，所述絕緣支撐架3為環(huán)狀的pet雙面膠，與指紋電路12和導電膜22的邊緣連接，使指紋電路和導電膜之間構(gòu)成密閉的空間30。pet雙面膠厚度為0.05-0.2mm，例如：0.05mm、0.06mm、0.08mm、0.1mm、0.12mm、0.14mm、0.15mm、0.16mm、0.18mm、0.2mm，等；優(yōu)選0.075mm。采用pet雙面膠置于上電路與下電路層之間，起密封和連接的作用，在充分考慮產(chǎn)品的整體厚度、絕緣性和密封性前提下選擇此層材料厚度為0.05-0.2mm，優(yōu)選厚度為0.075mm。

本實施例中，根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，所述第一螺旋箔柵121的柵條寬度和第二螺旋箔柵122的柵條寬度相同，且相鄰兩柵條之間的間隔是柵條寬度的0.5-3倍。例如，柵條寬度為0.12mm與相鄰兩柵條之間的間隔為0.06mm的設計、柵條寬度為0.09mm與相鄰兩柵條之間的間隔為0.27mm的設計、柵條寬度為0.15mm與相鄰兩柵條之間的間隔為0.3mm的設計，或者柵條寬度為0.1mm與相鄰兩柵條之間的間隔為0.1mm的設計，或者柵條寬度為0.5mm與相鄰兩柵條之間的間隔為0.25mm的設計，或者柵條寬度為0.2mm與相鄰兩柵條之間的間隔為0.4mm的設計，等等；相鄰兩柵條之間的間隔與柵條寬度相當為本實施例的最優(yōu)選擇，最好柵條寬度和鄰兩柵條之間的間隔均在0.1mm以下，優(yōu)選柵條寬度和鄰兩柵條之間的間隔均為0.09mm。

本實施例中，薄膜柔性力敏傳感器引出線13與傳感器是一體的，指紋電路12與引出線13是通過附著于第一基體膜上的銅箔圖案化而成。并按設計指定的位置和標準的線距向外延伸，柔軟可任意彎曲的密封引出線13與整機后置電路直接相連。

實施例2：

本實施例作為實施例1的進一步優(yōu)選實施例，參見圖7所示，所述薄膜柔性力敏傳感器還設有背膜4，用于與外部基體粘結(jié)。本實施中，背膜4采用普通雙面膠、3m膠、防水膠等作為背膠，背膠的采用跟傳感器與何種材質(zhì)相粘貼相關。背膜4在薄膜柔性力敏傳感器上設置的部位可以是第一基體膜上任一位置或全部，可以是第二基體膜上的任一位置或全部，根據(jù)傳感器與所相粘貼的基體之間的結(jié)構(gòu)關系而定。圖7中，背膜4設置在了第一基體膜11上，傳感器的上電路膜片1與所要粘貼的基體更接近。例如開關中使用本公開的傳感器，面板通過背膜4與第一基體膜11相連，手觸面板后，上電路膜片1受到壓力發(fā)生變形，在密閉的空間30內(nèi)與導電膜22(下電路)接觸，電路導通。手指松開后，上電路膜片1觸點反彈，電路斷開。

實施例3：

上述薄膜柔性力敏傳感器作為薄膜開關的應用，開關形狀可以制作成各種不同的立體形狀。

最后還應指出，任何單位和個人使用或?qū)嵤┍景l(fā)明的技術方案都是對本發(fā)明的侵犯，任何單位和個人未經(jīng)過本申請人的允許，都不能單獨實施本專利。而任何單位和個人受到本發(fā)明的啟發(fā)或經(jīng)過簡單調(diào)整而實施，也應認為是本專利的保護范圍。