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一種高靈敏度乙醇氣敏傳感器的制備方法與流程

文檔序號:12303682閱讀:844來源:國知局
一種高靈敏度乙醇氣敏傳感器的制備方法與流程

本發(fā)明屬于氣體傳感器制備技術(shù)領域,具體涉及一種高靈敏度乙醇氣敏傳感器的制備方法。



背景技術(shù):

半導體傳感器是發(fā)明最早的傳感器之一,可用于檢測氣體中酒精的含量,可用于酒駕的檢測,傳感器檢測元件一般分為加熱層,電極和氣敏材料層。一般情況下,為了避免其他氣體的干擾,使檢測更加準確,一般會在氣敏材料中摻雜一些鎳、錳、鑭等元素排除其他氣體干擾,提高對乙醇的靈敏度和選擇性。工作溫度也是影響傳感器響應的一個重要因素,高的工作溫度需要消耗更多的能量,從而對環(huán)境造成的更大的負擔,因此,一種工作溫度低,對乙醇的選擇性好的傳感器是很有應用前景的。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明的目的在于提供一種響應溫度低、且選擇性好的乙醇氣敏傳感器的制備方法。

一種高靈敏度乙醇氣敏傳感器的制備方法,包括以下步驟:步驟1、取5-50mgsn3o4方片型材料與5-50ml乙二醇混合,攪拌均勻后加入5-30mg聚乙烯吡咯烷酮,繼續(xù)攪拌,再滴入0.005-0.1mmol的氯鉑酸溶液,攪拌得第一混合物;步驟2,將第一混合物轉(zhuǎn)移至方舟內(nèi),連同方舟一同干燥處理1-4小時后,將方舟內(nèi)的樣品轉(zhuǎn)移至管式爐中高溫燒結(jié)2-5小時得半成品;步驟3,將半成品與去離子水混合后,調(diào)成糊狀,再均勻涂布在三氧化鋁/au電極上,待晾干后,置于管式爐燒結(jié)3-5h得電極;步驟4,將電極焊接在電極底座上,完成氣敏傳感器的制備。

作為改進的是,步驟1中所述sn3o4方片型材料的制備方法為:第一步,將高純水和乙醇混合后,加入0.276g水楊酸攪拌至完全溶解,再加入7mlnaoh溶液得第一混合液備用;第二步,將0.339gsncl2h2o溶解在10ml高純水中得氯化錫溶液;第三步,將氯化錫溶液滴入第一混合液中,攪拌30分鐘后,轉(zhuǎn)入40ml聚四氟乙烯水熱反應釜中,150℃下反應16小時后,冷卻得淺黃色沉淀;第四步,將淺黃色城店依次用高純水和無水乙醇在8000rpm的轉(zhuǎn)速下離心洗滌6次得粗品;第五步,將粗品在60℃下干燥4小時得層狀sn3o4方片型材料;第六步,將sn3o4方片型材料置于管式爐中,500℃下燒結(jié)2小時即得層狀sn3o4/sno2異質(zhì)結(jié)方片型氣敏材料。

進一步改進的是,第一步和第二步中高純水的電阻值為18.2mω。

作為改進的是,步驟1中攪拌速度為600-1000rpm。

作為改進的是,步驟2中干燥處理溫度為200℃,干燥時長2小時。

作為改進的是,步驟2和步驟3中管式爐燒結(jié)溫度均為500℃,升溫和降溫冷卻的速率均為5℃/min。

作為改進的是,步驟3中三氧化鋁/au電極為插指電極。

作為改進的是,步驟1中所述氯鉑酸溶液為0.077mol/l的四氯合鉑酸溶液。

有益效果:

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明氣敏傳感器制備過程簡單,響應時間短,且工作溫度較低,材料附在鉑金屬制備的傳感器可實現(xiàn)室溫檢測,具有良好的市場前景。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例2制備的pt負載材料的sem圖;

圖2為本發(fā)明實施例2制備的pt負載材料的tem圖;

圖3為本發(fā)明實施例2和對比例1的氣敏傳感器對乙醇的最佳響應溫度;

圖4為本發(fā)明實施例2制備的氣敏傳感器對乙醇在加壓電壓為3v的響應恢復曲線;

圖5為本發(fā)明實施例2和對比例1的氣敏傳感器在加壓電壓為3v時對不同氣體的選擇性。

具體實施方式

實施例1制備sn3o4方片型材料

將0.276g水楊酸溶于20ml高純水水和乙醇的混合溶劑中(v水:v乙醇=1:1),攪拌至完全溶解后,向溶液中加入7ml的naoh溶液(1mol/l)。將0.339gsncl2?h2o溶解在10ml高純水中,攪拌至溶解。配置的sncl2溶液在攪拌的條件下逐滴加入到水楊酸配置的溶液中,攪拌30分鐘后,裝入50ml聚四氟乙烯水熱反應釜,將反應釜置于150℃反應16h后冷卻得淡黃色沉淀,將得到的淡黃色沉淀依次用高純水和無水乙醇在8000rmp條件下離心洗滌6次,得淡黃色樣品,將得到的淡黃色樣品在60℃干燥4h,制備層狀sn3o4方片型材料。

實施例2

一種高靈敏度乙醇氣敏傳感器的制備方法,包括以下步驟:步驟1、取30mgsn3o4方片型材料與10ml乙二醇混合,攪拌均勻后加入10mg聚乙烯吡咯烷酮,繼續(xù)攪拌,再滴入0.077mmol的四氯合鉑酸溶液,攪拌得第一混合物;步驟2,將第一混合物轉(zhuǎn)移至方舟內(nèi),連同方舟一同在200℃干燥處理2小時后,將方舟內(nèi)的樣品轉(zhuǎn)移至管式爐中燒結(jié)至500℃,燒結(jié)4小時得半成品;步驟3,將半成品與去離子水混合后,再均勻涂布在三氧化鋁/au電極上,待晾干后,置于管式爐燒結(jié)至500℃,燒結(jié)4小時得電極;步驟4,將電極焊接在電極底座上,完成氣敏傳感器的制備。其中,步驟2和步驟3中管式爐燒結(jié)溫度均為500℃,升溫和降溫冷卻的速率均為5℃/min。

實施例3

一種高靈敏度乙醇氣敏傳感器的制備方法,包括以下步驟:步驟1、取45mgsn3o4方片型材料與20ml甘油混合,攪拌均勻后加入10mg聚乙烯吡咯烷酮,繼續(xù)攪拌,再滴入0.005mmol的氯鉑酸溶液,攪拌得第一混合物;步驟2,將第一混合物轉(zhuǎn)移至方舟內(nèi),在300℃的烘箱內(nèi)干燥處理2小時后,將方舟內(nèi)的樣品轉(zhuǎn)移至管式爐中燒結(jié)至500℃,燒結(jié)4小時得半成品;步驟3,將半成品與適量去離子水混合后,均勻涂布在三氧化鋁/au電極上,待晾干后,置于管式爐燒結(jié)至500℃,燒結(jié)2小時得電極;步驟4,將電極焊接在電極底座上,完成氣敏傳感器的制備。其中,步驟2和步驟3中管式爐燒結(jié)溫度均為500℃,升溫和降溫冷卻的速率均為5℃/min。

實施例4

一種高靈敏度乙醇氣敏傳感器的制備方法,包括以下步驟:步驟1、取50mgsn3o4方片型材料與50ml甘油混合,攪拌均勻后加入10mg聚乙烯吡咯烷酮,繼續(xù)攪拌,再滴入0.01mmol的氯鉑酸溶液,攪拌得第一混合物;步驟2,將第一混合物轉(zhuǎn)移至方舟內(nèi),在300℃的烘箱內(nèi)干燥處理2小時后,將方舟內(nèi)的樣品轉(zhuǎn)移至管式爐中燒結(jié)至500℃,燒結(jié)4小時得半成品;步驟3,將半成品與適量去離子水混合后,均勻涂布在三氧化鋁/au電極上,待晾干后,置于管式爐燒結(jié)至500℃,燒結(jié)2小時得電極;步驟4,將電極焊接在電極底座上,完成氣敏傳感器的制備。其中,步驟2和步驟3中管式爐燒結(jié)溫度均為500℃,升溫和降溫冷卻的速率均為5℃/min。

對比例1

將該材料置于500℃的管式爐內(nèi)燒結(jié)兩小時后,參照實施例2的步驟3-4制備出氣敏傳感器。

性能測試

對實施例2制備的pt負載材料進行表征測試,結(jié)果如圖1-2所示,其中圖1為該pt負載材料的sem圖,圖2為該pt負載材料的tem圖。從圖1可以看出,大顆粒的pt粒子成功負載在材料的表面上。從圖2可以看出,在材料的表面負載有很多微小pt粒子。

對實施例2和對比例1制備的傳感器材料進行氣敏性能測試,所得如圖3-5。

圖3為實施例2和對比例1的氣敏傳感器對乙醇氣體的最佳工作溫度測試。從圖中我們可以看到,實施例2制備的材料傳感器對100ppm乙醇的最佳工作電壓為3v,在此條件下,靈敏度為對264.5;對比例1制備的材料傳感器對100ppm乙醇的最佳工作電壓為4v,在此條件下,靈敏度為146。從圖中可以看出,pt負載材料的最佳工作電壓降低,且其靈敏度有了很大的提高。

圖4為本發(fā)明實施例2制備的氣敏傳感器對乙醇在加壓電壓為3v的響應恢復曲線,從圖中我們可以看出,該傳感器對乙醇的測試非常穩(wěn)定。

圖5為本發(fā)明實施例2和對比例1的氣敏傳感器在加壓電壓為3v時對不同氣體的選擇性。從圖中我們可以看出,當工作電壓為3v時,實施例2制備的傳感器材料對100ppm乙醇有很好的選擇性。

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