技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種用于MEMS圖像傳感器的像元陣列，由多個像元在二維平面上重復排列組成，所述像元包括襯底和微橋，所述微橋通過橋墩固定在襯底上，并通過橋墩中的引線將微橋上產(chǎn)生的電信號傳遞至襯底上的讀出電路，在所述像元陣列中，每個橋墩引出多個臂，同時與多個像元連接。本發(fā)明通過將一個橋墩引出多個臂來連接多個像元，可以有效減少像元陣列中的橋墩個數(shù)，擴大電磁波吸收面積，提高像元的響應速率，應用于MEMS圖像傳感器中則顯著提高產(chǎn)品的信噪比、靈敏度等特性。另外，更少的橋墩數(shù)量有益于像元陣列制作流程的簡化，從而節(jié)約成本，提高良品率。

技術(shù)研發(fā)人員：趙照;葛鼎
受保護的技術(shù)使用者：合肥芯福傳感器技術(shù)有限公司
文檔號碼：201710179151
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.23
技術(shù)公布日：2017.05.31