技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種光柵橫向剪切干涉大數(shù)值孔徑波前重建方法，該方法利用的光柵橫向剪切干涉儀包括剪切光柵，二維光電探測器；該方法采用光學(xué)追跡法獲得光柵橫向剪切干涉儀在二維光電探測器探測面各個(gè)像素的剪切量；將每個(gè)像素的剪切量帶入表示差分波前的差分多項(xiàng)式，采用最小二乘矩陣系數(shù)擬合方法求解待測波前的基函數(shù)系數(shù)，最后擬合待測波前。本發(fā)明解決了光柵橫向剪切干涉儀大數(shù)值孔徑波前檢測時(shí)剪切量變化引入的重建誤差問題，實(shí)現(xiàn)簡單，精度高。

技術(shù)研發(fā)人員：唐鋒;王向朝;彭常哲;馮鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.16
技術(shù)公布日：2017.08.18