技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及傳感器領(lǐng)域，尤其涉及一種MEMS加速度計，上蓋板、器件層以及下蓋板；所述器件層包括：錨點、質(zhì)量塊、解耦梁以及加速度檢測結(jié)構(gòu)；所述解耦梁用于連接所述錨點以及所述質(zhì)量塊，所述加速度檢測結(jié)構(gòu)軸對稱設(shè)置在所述質(zhì)量塊中，所述加速度檢測結(jié)構(gòu)包括：諧振梁以及驅(qū)動電極；所述諧振梁的兩側(cè)形成有梳齒；所述諧振梁一側(cè)的梳齒與所述驅(qū)動電極相疊加；另一側(cè)的梳齒與所述質(zhì)量塊上的梳齒相疊加；所述驅(qū)動電極向所述諧振梁施加電驅(qū)動信號，所述加速度檢測結(jié)構(gòu)通過檢測諧振梁的諧振頻率來檢測加速度。

技術(shù)研發(fā)人員：胡宗達;李航;于連忠;楊燕
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.10
技術(shù)公布日：2017.08.18