1.一種固支梁間接加熱在線(xiàn)式未知頻率微波相位檢測(cè)器，其特征在于該相位檢測(cè)器由六端口固支梁耦合器(1)，通道選擇開(kāi)關(guān)(2)，微波頻率檢測(cè)器(3)，微波相位檢測(cè)器(4)級(jí)聯(lián)構(gòu)成；其中，六端口固支梁耦合器(1)的第一端口(1-1)到第三端口(1-3)、第四端口(1-4)以及第一端口(1-1)到第五端口(1-5)、第六端口(1-6)的功率耦合度分別相同，待測(cè)信號(hào)經(jīng)第一端口(1-1)輸入，由第二端口(1-2)輸出到下級(jí)處理電路，由第四端口(1-4)和第六端口(1-6)輸出到微波相位檢測(cè)器(4)的第一Wilkinson功率合成器(6-1)和第二Wilkinson功率合成器(6-2)，并由第一Wilkinson功率合成器(6-1)和第二Wilkinson功率合成器(6-2)輸出到第三間接加熱式微波功率傳感器(5-3)和第四間接加熱式微波功率傳感器(5-4)；由第三端口(1-3)和第五端口(1-5)輸出到通道選擇開(kāi)關(guān)(2)；通道選擇開(kāi)關(guān)(2)的第七端口(2-1)和第八端口(2-2)分別接第一間接加熱式微波功率傳感器(5-1)和第二間接加熱式微波功率傳感器(5-2)，通道選擇開(kāi)關(guān)(2)的第九端口(2-3)和第十端口(2-4)接微波頻率檢測(cè)器(3)的第三Wilkinson功率合成器(6-3)，并由第三Wilkinson功率合成器(6-3)輸出到第五間接加熱式微波功率傳感器(5-5)實(shí)現(xiàn)了對(duì)未知頻率信號(hào)的相位在線(xiàn)檢測(cè)；
其中六端口固支梁耦合器(1)的結(jié)構(gòu)以其中心線(xiàn)左右對(duì)稱(chēng)設(shè)置，由共面波導(dǎo)(10)，介質(zhì)層(12)，空氣層(15)和橫跨在其上方固支梁(13)構(gòu)成；共面波導(dǎo)(10)制作在SiO2層(9)上，錨區(qū)(11)制作在共面波導(dǎo)(10)上，固支梁(13)的下方沉積介質(zhì)層(12)，并與空氣層(15)、固支梁(13)共同構(gòu)成耦合電容結(jié)構(gòu)，兩個(gè)固支梁(13)之間的共面波導(dǎo)(10)長(zhǎng)度為λ/4。
2.如權(quán)利要求1中所述的固支梁間接加熱在線(xiàn)式未知頻率微波相位檢測(cè)器，其特征在于通道選擇開(kāi)關(guān)(2)由共面波導(dǎo)(10)，錨區(qū)(11)，介質(zhì)層(12)，懸臂梁(14)，下拉電極(26)構(gòu)成；錨區(qū)(11)在共面波導(dǎo)(10)上，懸臂梁(14)的下方制作下拉電極(26)，并與下拉電極(26)上方介質(zhì)層(12)共同構(gòu)成開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)；通道選擇開(kāi)關(guān)(2)的懸臂梁(14)接地，下拉電極(26)接驅(qū)動(dòng)電壓；當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓大于等于開(kāi)啟電壓時(shí)懸臂梁(14)被拉下，通道被選通。
3.如權(quán)利要求1、2所述的固支梁間接加熱在線(xiàn)式未知頻率微波相位檢測(cè)器，其特征在于間接加熱式微波功傳感器(5)由Si襯底(8)，SiO2層(9)，共面波導(dǎo)(10)，終端電阻(19)，P型半導(dǎo)體臂(20)，N型半導(dǎo)體臂(21)，輸出電極(22)構(gòu)成；微波功率通過(guò)共面波導(dǎo)(10)輸入到終端電阻(19)被轉(zhuǎn)化成熱量；P型半導(dǎo)體臂(20)和N型半導(dǎo)體臂(21)構(gòu)成熱電偶；根據(jù)Seebeck效應(yīng)，通過(guò)測(cè)量輸出電極(22)的熱電勢(shì)可知輸入微波功率大小。