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基于復(fù)合波導(dǎo)光柵的光學(xué)生物傳感器的制作方法

文檔序號:12061206閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于復(fù)合波導(dǎo)光柵的光學(xué)生物傳感器,屬于復(fù)合波導(dǎo)光柵的倒模共振技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的技術(shù)方案要點為:基于復(fù)合波導(dǎo)光柵的光學(xué)生物傳感器,復(fù)合波導(dǎo)光柵的基底材料二氧化硅上生長有一層硅薄膜,該硅薄膜的橫向正中部位刻蝕有寬度為fb且縱向長度與硅薄膜縱向長度一致的B區(qū)域,B區(qū)域的兩側(cè)分別均勻等間距fa刻蝕有多個寬度為fc且縱向長度與硅薄膜縱向長度一致的C區(qū)域,其中fa+fb+fa+fc=1μm。本發(fā)明能夠有效解決光學(xué)生物傳感器靈敏度不高和品質(zhì)因數(shù)不高的問題,復(fù)合波導(dǎo)光柵具有結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高、品質(zhì)因數(shù)大和檢測過程操作簡便等特點。

技術(shù)研發(fā)人員:路海;黃蒙;李麗君;夏世強;劉孝宇;張現(xiàn)周
受保護的技術(shù)使用者:河南師范大學(xué)
文檔號碼:201710042969
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.19
技術(shù)公布日:2017.05.24

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