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一種光纖光柵加速度傳感器的制作方法

文檔序號:12779315閱讀:627來源:國知局

本實用新型屬于光纖光柵應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種光纖光柵加速度傳感器。



背景技術(shù):

光纖光柵傳感技術(shù)具有靈敏度高、復(fù)用簡單、抗電磁干擾、無源等特性,在加速度傳感器領(lǐng)域倍受青睞。目前,大多數(shù)光纖光柵加速度傳感器利用機械結(jié)構(gòu)進行增敏,將加速度的變化轉(zhuǎn)化為光纖光柵上的波長變化,再通過光柵解調(diào)儀還原傳感信息。如“雙等強度彈性件光纖光柵振動傳感器”(申請?zhí)枺?01010285791.9)、“一種雙彈性件光纖光柵加速度傳感器”(申請?zhí)枺?01310092296.X)等探討了雙臂的機械敏感結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)設(shè)計相對復(fù)雜,且將光柵直接粘貼在彈性件表面,這種工藝在彈性件表面產(chǎn)生應(yīng)變時,光柵容易啁啾,且受環(huán)氧樹脂粘接劑性能的影響,很容易產(chǎn)生非線性效應(yīng)。而專利“一種彈性件式光纖光柵加速度計”(申請?zhí)枺?00710065321.X)、“基于彈性件撓度的光纖光柵加速度計”(申請?zhí)枺?00710065322.X)雖然回避了直接粘貼的工藝,但采用單光柵結(jié)構(gòu),靈敏度不高,且沒有考慮溫度的影響。因此,如何在簡化加速度傳感器結(jié)構(gòu)的同時,兼顧傳感器的靈敏度和溫度特性,是加速度傳感器設(shè)計的需要考慮的問題。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種光纖光柵加速度傳感器,以簡化光纖光柵加速度傳感器結(jié)構(gòu),增強光纖光柵加速度傳感器的靈敏度,有效消除環(huán)境溫度的影響。

本實用新型所采用的技術(shù)方案是:

一種光纖光柵加速度傳感器,包括:基座、彈性件、質(zhì)量塊,彈性件一端采用過盈配合與基座連接,彈性件另一端采用過盈配合與質(zhì)量塊連接,并采用激光焊接加固。用于測量加速度的第一光纖光柵、第二光纖光柵刻寫在一根光纖上,第一光纖光柵的一端點膠固定在基座的導(dǎo)入孔上,第一光纖光柵的另一端點膠固定在質(zhì)量塊的上沿,再回繞到質(zhì)量塊的下沿。第二光纖光柵的一端點膠固定在質(zhì)量塊的下沿、另一端經(jīng)過基座的導(dǎo)出孔引出,并點膠固定。

所述第一光纖光柵、第二光纖光柵基于G.657的抗彎光纖刻寫,裸光柵區(qū)域采用小彈性模量的高分子樹脂材料超薄涂覆,涂覆后的直徑為135um~140um,柵區(qū)長度30mm。通過采用抗彎光纖制作光柵,并減小涂覆層的厚度,來提升傳感器的靈敏度,降低彎曲損耗。

所述基座作為光纖光柵加速度傳感器支撐結(jié)構(gòu),采用不銹鋼制作而成。

所述質(zhì)量塊用于調(diào)整光柵加速度傳感器的靈敏度和諧振頻率。

所述彈性件為彈簧鋼,厚度0.2mm;基座和質(zhì)量塊上卡槽的開口大小為0.2mm。

所述基座、彈性件、質(zhì)量塊通過機械配合和激光焊接進行組裝,構(gòu)成懸臂梁結(jié)構(gòu)。

本實用新型一種光纖光柵加速度傳感器,有益效果如下:

1、簡化了加速度傳感器的設(shè)計:

彈性件結(jié)構(gòu)采用分體組合方式設(shè)計,彈簧片和質(zhì)量塊單獨加工,避免了一體化設(shè)計導(dǎo)致的加工困難;懸臂采用專用的彈性金屬材料制作,用料少,熱處理方便,殘余應(yīng)力?。毁|(zhì)量塊形狀規(guī)則,有利于通過精密機械加工來控制質(zhì)量塊的重量。

2、傳感器的靈敏度高,插入損耗小:

雙光柵的波長反向聯(lián)動,經(jīng)過差分后,靈敏度比普通單光柵加速度傳感器提高1倍;考慮光纖粘接和回彎過程中極易導(dǎo)致光功率損耗,采用G.657抗彎光纖刻寫光柵,累積插入損耗小于0.3;柵區(qū)采用小彈性模量的高分子樹脂材料超薄涂覆,既有效避免了水汽的滲透,延長了傳感器的使用壽命,又確保了外力有效作用于光柵部分,提升了傳感器的靈敏度。

3、消除了環(huán)境溫度的影響:

當(dāng)環(huán)境溫度變化時,兩個光柵的波長出現(xiàn)通向漂移,振動量差分后可以有效消除環(huán)境溫度的影響。

附圖說明

圖1為本實用新型一種光纖光柵加速度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1所示,一種光纖光柵加速度傳感器,包括基座1、彈性件4、質(zhì)量塊5、側(cè)蓋和光纖光柵。彈性件4一端采用過盈配合與基座1連接,彈性件4另一端采用過盈配合與質(zhì)量塊5連接,并采用激光焊接加固。用于測量加速度的第一光纖光柵2、第二光纖光柵3刻寫在一根光纖上,第一光纖光柵2的一端點膠固定在基座1的導(dǎo)入孔6上,第一光纖光柵2的另一端點膠固定在質(zhì)量塊5的上沿,再回繞到質(zhì)量塊5的下沿;第二光纖光柵3的一端點膠固定在質(zhì)量塊5的下沿、另一端經(jīng)過基座1的導(dǎo)出孔7引出,并點膠固定。

所述第一光纖光柵2、第二光纖光柵3基于G.657的抗彎光纖刻寫,裸光柵區(qū)域采用小彈性模量的高分子樹脂材料超薄涂覆,涂覆后的直徑為135um~140um,柵區(qū)長度30mm。

所述基座1、彈性件4、質(zhì)量塊5通過機械配合和激光焊接進行組裝,構(gòu)成懸臂梁結(jié)構(gòu)??紤]傳感器的使用環(huán)境和穩(wěn)定,基座1采用不銹鋼制作;彈性件4采用彈簧鋼制作,厚度0.2mm;基座1和質(zhì)量塊5上卡槽的開口大小為0.2mm,其中,彈性件4與基座1和質(zhì)量塊5采用過盈配合連接,再通過激光焊接加固。

第一光纖光柵2、第二光纖光柵3在G.657抗彎光纖上刻寫,光纖直徑250um,在需要刻寫光柵的區(qū)域,先剝除涂覆層30mm,然后固定在掩膜版的準確位置,再曝光刻寫??虒懲戤叺墓鈻牛捎酶叻肿映⊥扛布夹g(shù)來對光柵區(qū)域進行保護,涂覆后的直徑約135~140um。傳統(tǒng)的涂覆層厚度約250um,當(dāng)光柵收到拉力作用后,光柵的纖芯、包層區(qū)域和涂覆層共同受力,由于涂覆層厚度較厚,具有較強的抗應(yīng)變能力,使纖芯承受的應(yīng)變減小,光柵的波長漂移幅度減小,靈敏度收到限制。當(dāng)采用超薄涂覆技術(shù)后,涂覆層厚度的減小為原來的1/10,應(yīng)變的大小主要由纖芯和包層決定,在同樣加速度的情況下,纖芯的應(yīng)變較大,光柵的波長漂移量大,從而提升傳感器的靈敏度。

當(dāng)光纖光柵加速度傳感器受到振動激勵時,質(zhì)量塊5在垂直于彈性件4的方向起振,質(zhì)量塊5邊緣與基座1的導(dǎo)入孔6、導(dǎo)出孔7之間的距離發(fā)生變化,從而使第一光纖光柵2和第二光纖光柵3產(chǎn)生與振動頻率一致但方向相反的、周期性的軸向應(yīng)力變化,即一個光柵的波長增加,另一個光柵的波長會減小,且大小相當(dāng)。

傳感器的靈敏度為:

其中,△λ1為第一光纖光柵2的波長變化量,△λ2為第二光纖光柵3的波長變化量,a為被測的加速度。

該傳感器匹配目前的光纖光柵CCD波長解調(diào)儀,實時解調(diào)兩個光柵的各自波長,再對兩個光柵的波長變化作差,計算傳感器的靈敏度,相比較傳統(tǒng)的單光柵傳感器,靈敏度可以提升1倍。此外,當(dāng)環(huán)境溫度升高或者降低時,兩個光柵的波長會出現(xiàn)同方向、同大小的漂移,通過對兩個光柵的波長作差,可以有效消除溫度影響。

光纖光柵與基座1和質(zhì)量塊5之間直接采用環(huán)氧樹脂點膠固定,裝配成光纖光柵加速度傳感器,在振動臺上標(biāo)定其振動頻率特性。

該傳感器制作方法簡化了加速度傳感器的設(shè)計和加工要求,結(jié)構(gòu)簡單,制作成本低,靈敏度高,克服了環(huán)境溫度影響,具有較好的實用性。

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