1.一種小型化快速測量細粒子粒徑分布的平板裝置，其特征在于：該裝置包括單極性平板荷電模塊（1）、平板檢測模塊（2）以及微電流信號處理與電壓控制模塊（3）；
所述單極性平板荷電模塊（1）包括相互平行且正對設(shè)置的第一上面板（11）和第一下面板（12）、均勻開設(shè)在第一上面板（11）和第一下面板（12）上且垂直對應(yīng)的放電腔室（13）、設(shè)置在放電腔室（13）內(nèi)的放電針（14）以及用于封閉放電腔室（13）的導(dǎo)電多孔板（15）；所述第一上面板（11）與第一下面板（12）之間構(gòu)成鞘氣進氣通道（10）；
所述平板檢測模塊（2）包括相互平行且正對設(shè)置的第二上面板（21）和第二下面板（22）、設(shè)置在第二上面板（21）上的若干分離電極（23）、與分離電極（23）一一對應(yīng)連接的若干電壓源（24）、用于集中安裝電壓源（24）的多端口陣列電壓源（25）、設(shè)置在第二下面板（22）上且與分離電極（23）一一對應(yīng)的敏感電極（26）、與敏感電極（26）一一對應(yīng)連接的若干靜電計（27）以及設(shè)置在第二上面板（21）和第二下面板（22）后端的廢氣出口（28）；所述第二上面板（21）與第一上面板（11）之間相互平行且構(gòu)成樣氣進氣通道（20）；
所述微電流信號處理與電壓控制模塊（3）包括控制器（31）、與放電針（14）連接的單極性高壓源及其控制電路（32）、與多端口陣列電壓源（25）連接的掃描電壓控制電路（33）、與靜電計（27）連接的微電流檢測處理電路（34）、與鞘氣進氣通道（10）、樣氣進氣通道（20）和廢氣出口（28）連接的真空泵及其驅(qū)動電路（35）、與控制器（31）交互連接的存儲器（36）以及輸入端與控制器（31）的輸出端連接的顯示器（37）；所述微電流檢測處理電路（34）的輸出端連接控制器（31）的輸入端，所述控制器（31）的輸出端分別連接單極性高壓源及其控制電路（32）的輸入端、掃描電壓控制電路（33）的輸入端和真空泵及其驅(qū)動電路（35）的輸入端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型化快速測量細粒子粒徑分布的平板裝置，其特征在于：所述第一上面板（11）、第一下面板（12）、第二上面板（21）和第二下面板（22）均采用氧化鋁陶瓷制備；所述第一上面板（11）與第一下面板（12）的間距為2～6mm，所述第二上面板（21）與第二下面板（22）的間距為1～8mm，所述樣氣進氣通道（20）的進氣口縫為0.5～2mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型化快速測量細粒子粒徑分布的平板裝置，其特征在于：所述放電針（14）呈陣列垂直對稱結(jié)構(gòu)，由鎢、銅或不銹鋼制備，其針尖的曲率半徑為10～200um。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型化快速測量細粒子粒徑分布的平板裝置，其特征在于：所述分離電極（23）與敏感電極（26）之間構(gòu)成掃描電場區(qū)域，所述掃描電場區(qū)域的長度為10～150mm，寬度為10～50mm；所述敏感電極（26）采用多孔金屬板制備，所述多孔金屬板采用泡沫金屬材料制備, 其中所述泡沫金屬材料的電阻率低于3.0×10-8Ω·m，包括銀、紫銅、金,所述泡沫金屬材料的孔隙密度在20～140之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型化快速測量細粒子粒徑分布的平板裝置，其特征在于：所述分離電極（23）采用條形電極，各個分離電極（23）互不接觸；所述敏感電極（26）采用條形電極并與對應(yīng)的分離電極（23）寬度相同，各個敏感電極（26）之間互不接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型化快速測量細粒子粒徑分布的平板裝置，其特征在于：各個分離電極（23）連為一體。