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一種壓力傳感器的制作方法

文檔序號(hào):12729711閱讀:441來(lái)源:國(guó)知局

本實(shí)用新型涉及的是電子產(chǎn)品領(lǐng)域,具體涉及的是一種壓力傳感器。



背景技術(shù):

壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè),下面就簡(jiǎn)單介紹一些常用傳感器原理及其應(yīng)用。另有醫(yī)用壓力傳感器。多傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過(guò)程一樣,將各種傳感器進(jìn)行多層次、多空間的信息互補(bǔ)和優(yōu)化組合處理,最終產(chǎn)生對(duì)觀測(cè)環(huán)境的一致性解釋。在這個(gè)過(guò)程中要充分地利用多源數(shù)據(jù)進(jìn)行合理支配與使用,而信息融合的最終目標(biāo)則是基于各傳感器獲得的分離觀測(cè)信息,通過(guò)對(duì)信息多級(jí)別、多方面組合導(dǎo)出更多有用信息。

但是現(xiàn)階段的壓力傳感器仍存在很多不足。例如,測(cè)量精度不高,難以排除溫度的影響。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的是提供一種壓力傳感器,以克服現(xiàn)有的傳感器的不足。

本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是:一種壓力傳感器,主要由傳感器基礎(chǔ)、印制電路板、石英基體、石英帽、氣密封、封料、溫基SAW延時(shí)線、壓力器件、換能器和壓力敏感膜組成,所述的傳感器基礎(chǔ)上端與印制電路板固定連接,所述的印制電路板中間與石英基體下端固定連接,所述的石英基體上端固定有石英帽,所述的印制電路板通過(guò)氣密封與石英帽固定連接,所述的氣密封內(nèi)部設(shè)置有封料,所述的石英帽上設(shè)置有溫基SAW延時(shí)線,所述的石英基體中間設(shè)置有壓力器件,所述的壓力器件上端與換能器固定連接,所述的換能器上端固定有壓力敏感膜。

所述的封料由耐腐蝕材料制作而成。

所述的換能器由壓電基片和兩個(gè)金屬叉組成。

本實(shí)用新型的有益效果是:該壓力傳感器,通過(guò)在壓力器件上設(shè)置換能器,換能 器是在拋光的壓電基片上設(shè)置兩個(gè)金屬叉指構(gòu)成,若在輸入換能叉指T1上加電信號(hào),便由逆壓電效應(yīng)在基片表面激勵(lì)起彈性表面波,傳播到換能叉指T2轉(zhuǎn)換成電信號(hào),經(jīng)放大后反饋到T1以便保持印制電路板的振蕩狀態(tài),由于導(dǎo)人的進(jìn)氣歧管壓力作用于壓力器件上,壓力變化將在壓力敏感膜上產(chǎn)生應(yīng)變,換能器上的換能叉指間距離發(fā)生變化,因而,溫基SAW延時(shí)線的延遲時(shí)間相應(yīng)變化,根據(jù)與延遲時(shí)間成反比的振蕩頻率,即可輸出壓力信號(hào),提高測(cè)量精度,同時(shí)補(bǔ)償溫度對(duì)壓力器件的影響。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

1-傳感器基礎(chǔ);2-印制電路板;3-石英基體;4-石英帽;5-氣密封;6-封料;7-溫基SAW延時(shí)線;8-壓力器件;9-換能器;10-壓力敏感膜。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型做具體的說(shuō)明。

如圖1所示,本實(shí)用新型是一種壓力傳感器,主要由傳感器基礎(chǔ)1、印制電路板2、石英基體3、石英帽4、氣密封5、封料6、溫基SAW延時(shí)線7、壓力器件8、換能器9和壓力敏感膜10組成,所述的傳感器基礎(chǔ)1上端與印制電路板2固定連接,所述的印制電路板2中間與石英基體3下端固定連接,所述的石英基體3上端固定有石英帽4,所述的印制電路板2通過(guò)氣密封5與石英帽4固定連接,所述的氣密封5內(nèi)部設(shè)置有封料6,所述的石英帽4上設(shè)置有溫基SAW延時(shí)線7,所述的石英基體3中間設(shè)置有壓力器件8,所述的壓力器件8上端與換能器9固定連接,所述的換能器9上端固定有壓力敏感膜10,所述的封料6由耐腐蝕材料制作而成,所述的換能器9由壓電基片和兩個(gè)金屬叉組成,通過(guò)在壓力器件8上設(shè)置換能器9,換能器9是在拋光的壓電基片上設(shè)置兩個(gè)金屬叉指構(gòu)成,若在輸入換能叉指T1上加電信號(hào),便由逆壓電效應(yīng)在基片表面激勵(lì)起彈性表面波,傳播到換能叉指T2轉(zhuǎn)換成電信號(hào),經(jīng)放大后反饋到T1以便保持印制電路板2的振蕩狀態(tài),由于導(dǎo)人的進(jìn)氣歧管壓力作用于壓力器件8上,壓力變化將在壓力敏感膜10上產(chǎn)生應(yīng)變,換能器9上的換能叉指間距離發(fā)生變化,因而,溫基SAW延時(shí)線7的延遲時(shí)間相應(yīng)變化,根據(jù)與延遲時(shí)間成反比的振蕩頻率,即可輸出壓力信號(hào),提高測(cè)量精度,同時(shí)補(bǔ)償溫度對(duì)壓力器件的影響。

當(dāng)然,上述技術(shù)方案只是本實(shí)用新型的最佳實(shí)施方式,在不離開本實(shí)用新型的精神背景下所作的任何改進(jìn),均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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