本實用新型涉及精密分析測試領(lǐng)域，具體涉及一種超純水pH離線測試裝置。
背景技術(shù)：
隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用日益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對超純水的要求也越來越高，超純水pH作為水質(zhì)重要指標(biāo)一直備受重視。
超純水被稱為世界上最強力的溶劑，溶解雜質(zhì)的能力非常強，因此它絕對的純度是不可能保持的，最微小的污染也會改變它的pH值。因超純水性質(zhì)的特殊性，目前大部分超純水pH測試設(shè)備均為在線測試，其一旦脫離密封環(huán)境進(jìn)行離線測試，容易受溫度和空氣中CO2的影響，導(dǎo)致pH測試結(jié)果與真實值相比有較大偏差。因此，現(xiàn)在亟需一種能準(zhǔn)確進(jìn)行超純水離線pH測試的裝置。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種超純水pH離線測試裝置，該系統(tǒng)可以很好地解決現(xiàn)有設(shè)備無法完成pH離線測試的問題。
為達(dá)到上述要求，本實用新型采取的技術(shù)方案是：提供一種超純水pH離線測試裝置，包括測試組件、恒溫組件及空氣隔絕組件；測試組件包括用于盛放待測樣品的樣品容器和用于測試待測樣品pH值的pH電極；恒溫組件包括保溫溶液、用于盛放保溫溶液的恒溫容器及用于保持保溫溶液恒溫的恒溫發(fā)生器，樣品容器置于保溫溶液中；空氣隔絕組件包括設(shè)有排氣口的上蓋和用于產(chǎn)生難溶于超純水的氣體的氣體發(fā)生器，上蓋設(shè)置于樣品容器開口處，pH電極穿過上蓋插入樣品容器中，氣體發(fā)生器的出氣口與樣品容器連通。
該超純水pH離線測試裝置具有的優(yōu)點如下：通過設(shè)置恒溫組件，可以減少因溫度補償導(dǎo)致的偏差，通過設(shè)置空氣隔絕組件，可以減少測試過程中CO2不斷混入導(dǎo)致的讀數(shù)不穩(wěn)定、測試終點無法準(zhǔn)確判斷等情況的發(fā)生，有效提高了超純水pH測試的準(zhǔn)確度，適用于超純水pH的離線測試。
附圖說明
此處所說明的附圖用來提供對本申請的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，在這些附圖中使用相同的參考標(biāo)號來表示相同或相似的部分，本申請的示意性實施例及其說明用于解釋本申請，并不構(gòu)成對本申請的不當(dāng)限定。在附圖中：
圖1為本申請的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為使本申請的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，以下結(jié)合附圖及具體實施例，對本申請作進(jìn)一步地詳細(xì)說明。
在以下描述中，對“一個實施例”、“實施例”、“一個示例”、“示例”等等的引用表明如此描述的實施例或示例可以包括特定特征、結(jié)構(gòu)、特性、性質(zhì)、元素或限度，但并非每個實施例或示例都必然包括特定特征、結(jié)構(gòu)、特性、性質(zhì)、元素或限度。另外，重復(fù)使用短語“根據(jù)本申請的一個實施例”雖然有可能是指代相同實施例，但并非必然指代相同的實施例。
為簡單起見，以下描述中省略了本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的某些技術(shù)特征。
根據(jù)本申請的一個實施例，提供一種超純水pH離線測試裝置，如圖1所示，包括測試組件、恒溫組件及空氣隔絕組件。
測試組件包括用于盛放待測樣品的樣品容器21和用于測試待測樣品pH值的pH電極22。
恒溫組件包括保溫溶液、用于盛放保溫溶液的恒溫容器31及用于保持保溫溶液恒溫的恒溫發(fā)生器，樣品容器21置于保溫溶液中。其中，恒溫發(fā)生器包括溫度感應(yīng)器、升溫裝置、降溫裝置及控制升溫裝置和降溫裝置工作的控制器，所述控制器分別與溫度感應(yīng)器、升溫裝置及降溫裝置電連接，所述溫度感應(yīng)器設(shè)置于保溫溶液中；溫度感應(yīng)器可以實時檢測保溫溶液的溫度并反饋給控制器，控制器根據(jù)反饋的溫度自動控制升溫裝置和降溫裝置的啟動和停止，使保溫溶液的溫度始終保持在設(shè)定值。國家標(biāo)準(zhǔn)《DB/T6920-86水質(zhì)pH值的測定玻璃電極法》規(guī)定pH值標(biāo)準(zhǔn)是指在25℃時的測量值，因此，本實施例中設(shè)定值為25℃。
空氣隔絕組件包括設(shè)有排氣口13的上蓋11和用于產(chǎn)生難溶于超純水的氣體的氣體發(fā)生器12；其中，上蓋11設(shè)置于樣品容器21開口處，并與樣品容器21開口邊緣形成密封連接，pH電極22可以通過排氣口13插入樣品容器21中；氣體發(fā)生器12的出氣口可以通過管路與上蓋11連接，也可以直接將氣體發(fā)生器12安裝在上蓋11上，兩種方式都能達(dá)到氣體發(fā)生器12與樣品容器21連通的目的；氣體發(fā)生器12產(chǎn)生的氣體為氮氣、氦氣、氖氣、氬氣等難溶于超純水的氣體。本實施例中采用氮氣發(fā)生器，可以產(chǎn)生純度為99.999％以上的氮氣，氮氣填充在樣品容器21中待測樣品液面上方，氮氣發(fā)生器設(shè)置壓力15psi，保證測試體系內(nèi)為正壓即可；排氣口13可以設(shè)置于氣體發(fā)生器12與上蓋11連接處的對側(cè)，這樣在通入氮氣時可以從對側(cè)的排氣口13排出空氣，保證殘留的空氣快速地、完全地從排氣口13排出。
進(jìn)一步，本實用新型還包括設(shè)有循環(huán)泵的恒溫槽32，該循環(huán)泵與控制器電連接。升溫裝置和降溫裝置可以直接設(shè)置于恒溫容器31中，也可以設(shè)置于恒溫槽32中。當(dāng)設(shè)置在恒溫槽32中時，恒溫容器31的出液口通過出液管33與恒溫槽32的入口連通，所述恒溫容器31的入液口通過入液管34與恒溫槽32的出口連通，循環(huán)泵可以帶動保溫溶液在恒溫槽32和恒溫容器31中進(jìn)行循環(huán)，直至恒溫槽32中保溫溶液的溫度穩(wěn)定至25±0.1℃。
升溫裝置為紅外加熱裝置或電加熱裝置，但不僅限于此兩種方式。
降溫裝置為吸收式制冷裝置、熱電制冷裝置、激光制冷裝置、磁制冷裝置或蒸氣壓縮式制冷裝置，但不僅限于這些方式。
保溫溶液為油或水，但不僅限于此兩種溶液，只要為性質(zhì)穩(wěn)定安全的溶液即可。
以上所述實施例僅表示本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能理解為對本實用新型范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實用新型保護(hù)范圍。因此本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以所述權(quán)利要求為準(zhǔn)。