技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于成像光譜儀的偏振多狹縫結(jié)構(gòu)，包括：基底，所述基底上通過激光刻蝕工藝從上到下依次刻蝕有三條狹縫，狹縫的尺寸以及狹縫之間的間距均相等，在三條狹縫結(jié)構(gòu)處通過鍍膜工藝實現(xiàn)偏振功能，從上到下，狹縫分別對應(yīng)0°、45°、90°三個偏振態(tài)。該偏振多狹縫結(jié)構(gòu)具有高精度、高平行度、高穩(wěn)定性以及高可靠性的優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員：裴琳琳;呂群波;劉揚陽;王建威;孫建穎;李偉艷;張丹丹;陳鑫雯
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院光電研究院
文檔號碼：201611245112
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.29
技術(shù)公布日：2017.06.13