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一種石墨烯?石榴石型光電式電流傳感器裝置的制作方法

文檔序號:12061642閱讀:335來源:國知局
一種石墨烯?石榴石型光電式電流傳感器裝置的制作方法

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于電學(xué)領(lǐng)域,涉及一種電流傳感器,具體來說是一種石墨烯-石榴石型光電式電流傳感器裝置。



背景技術(shù):

隨著我國智能電網(wǎng)建設(shè)的快速推進,電力輸電系統(tǒng)正朝著超高壓、大電流等方向發(fā)展,在輸電工程中,電流傳感器是實現(xiàn)輸電系統(tǒng)監(jiān)視和保護的一種重要測量設(shè)備。采用電磁感應(yīng)的傳統(tǒng)電流互感器因為諸多缺點已無法滿足智能電網(wǎng)中對電流檢測的需求,而光電式傳感器具有無磁飽和以及鐵磁諧振、較大的測量動態(tài)范圍、良好的絕緣性和穩(wěn)定性等優(yōu)點。光電測量時不與被測對象直接接觸,光束的質(zhì)量又近似為零,在測量中不存在摩擦和對被測對象幾乎不施加壓力。因此在許多應(yīng)用場合,光電式傳感器比其他傳感器有明顯的優(yōu)越性。

國內(nèi)專利201410007257.X提出的薄片貼膜式傳感器,雖減小了基底玻璃長度,但對于光學(xué)材料薄膜結(jié)構(gòu)與制備并沒有給出具體解決方案。發(fā)明專利石榴石型光電式電流傳感器裝置及制備方法(參見發(fā)明專利:201310018161.9)提高了傳感器測量結(jié)果的線性化、進一步優(yōu)化其器件結(jié)構(gòu),但是結(jié)構(gòu)仍不夠簡化,整個器件體積還是不夠理想,不利于系統(tǒng)高集成化。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)中的上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種石墨烯-石榴石型光電式電流傳感器裝置,所述的這種石墨烯-石榴石型光電式電流傳感器裝置要解決現(xiàn)有技術(shù)中的石榴石型光電式電流傳感器裝置結(jié)構(gòu)不夠簡化、整個器件體積不夠理想、精度不夠高的技術(shù)問題。

本發(fā)明提供了一種石墨烯-石榴石型光電式電流傳感器裝置,沿光路方向依次包括激光電源、輸入光纖準(zhǔn)直器、透鏡、石墨烯-石榴石模塊、輸出光纖準(zhǔn)直器、探測器;

石墨烯-石榴石模塊是以石榴石薄膜為核心的層狀模塊,在所述的石榴石層的兩側(cè)均設(shè)置有單層石墨烯。

本發(fā)明提供了一種石墨烯-石榴石模塊,是以石榴石薄膜為核心的層狀模塊,在所述的石榴石層的兩側(cè)均設(shè)置有單層石墨烯。

本發(fā)明還提供了上述一種墨烯-石榴石模塊的制備方法,包括如下步驟:

1)將石榴石薄膜清洗并烘干;

2)將所述石榴石薄膜放入化學(xué)氣相沉積設(shè)備爐中,并使所述設(shè)備爐內(nèi)充滿氫氣;

3)將所述設(shè)備爐中溫度提高至800~1000℃,持續(xù)通入氫氣,保持爐內(nèi)壓強為0~10Pa,并使該溫度及壓強保持60~80分鐘,然后停止通入氫氣;

4)將石榴石薄膜襯底加熱,溫度在800~1000℃之間,持續(xù)通入甲烷,使?fàn)t內(nèi)壓強為60~70Pa,并使該溫度及壓強保持60~100分鐘,石墨烯即可在石榴石薄膜的一個側(cè)面上生長;

5)將所述設(shè)備爐冷卻至室溫,反轉(zhuǎn)單層石墨烯-石榴石樣品,重復(fù)上述步驟,使得石墨烯在石榴石薄膜的另外一個側(cè)面上生長,使得石榴石薄膜的兩側(cè)均生長有單層石墨烯。

本發(fā)明的原理是:采用激光電源;輸入光纖準(zhǔn)直器將產(chǎn)生的激光變?yōu)槠叫泄馐煌哥R用于將激光進行聚焦;石墨烯-石榴石模塊為以石榴石為核心的層狀模塊,包括單層石墨烯,石榴石基底,其中石墨烯具有起偏或檢偏作用;輸出光纖準(zhǔn)直器將經(jīng)過石墨烯-石榴石模塊的激光變?yōu)槠叫泄馐?;探測器對經(jīng)過石墨烯-石榴石模塊的激光光強或偏振信息進行檢測。

本發(fā)明和已有技術(shù)相比,其技術(shù)進步是顯著的。本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)的光電式傳感器存在的問題,提出了一種石墨烯-石榴石型光電式電流傳感器裝置,在提高測量精度、解決零點漂移問題的同時,提高了傳感器測量結(jié)果的線性化,并進一步優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的光電式電流傳感器光路元件少,系統(tǒng)設(shè)計簡單、精度高。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一種石墨烯-石榴石型光電式電流傳感器裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為本發(fā)明一種石墨烯-石榴石型光電式電流傳感器裝置中石墨烯-石榴石模塊結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1所示,本發(fā)明的石墨烯-石榴石型光電式電流傳感器裝置,沿光路方向依次包括激光電源100、輸入光纖準(zhǔn)直器101、透鏡102、石墨烯-石榴石模塊(103)、輸出光纖準(zhǔn)直器104、探測器105。

激光電源100發(fā)出激光,通過輸入光纖準(zhǔn)直器101變?yōu)槠叫泄馐赏哥R102進行聚焦,激光通過石墨烯-石榴石模塊103后偏振信息發(fā)生變化,由輸出光纖準(zhǔn)直器104將激光變?yōu)槠叫泄馐す膺M入探測器105,對激光的光強或偏振進行檢測。

如圖2所示,為利用化學(xué)氣相沉積法制備的石墨烯-石榴石型光電式電流傳感器裝置中石墨烯-石榴石模塊結(jié)構(gòu)示意圖。

石榴石薄膜103b兩側(cè)表面皆生長有單層石墨烯103a,具有起偏或檢偏作用。圖示石榴石左側(cè)表面的單層石墨烯具有起偏作用,改變激光的偏振度,石榴石右側(cè)表面的單層石墨烯具有檢偏作用。

上述實施方式為本發(fā)明的優(yōu)選案例,并不用來限制本發(fā)明的保護范圍。

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