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一種柔性曲率傳感器及其制備方法與流程

文檔序號(hào):12265097閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種柔性曲率傳感器,其特征在于:

包括2個(gè)壓合在一起的應(yīng)變片;所述每個(gè)應(yīng)變片包括敏感柵、柔性基底和引出線(xiàn),所述敏感柵位于柔性基底中央,上面覆蓋有保護(hù)層,所述敏感柵連接2根引出線(xiàn);2個(gè)應(yīng)變片以基底相對(duì),其中一個(gè)旋轉(zhuǎn)180°后壓合而成,敏感柵的測(cè)量柵完全重合。

2.一種柔性曲率傳感器,其特征在于:

包括2個(gè)壓合在一起的應(yīng)變片;所述每個(gè)應(yīng)變片包括2個(gè)測(cè)量方向相互垂直的敏感柵、柔性基底,所述敏感柵位于柔性基底中央,上面覆蓋有保護(hù)層,所述敏感柵連接2根引出線(xiàn);2個(gè)應(yīng)變片以基底相對(duì),完全重合。

3.如權(quán)利要求1或2所述的一種柔性曲率傳感器,其特征在于:

所述應(yīng)變片敏感柵材質(zhì)為康銅箔,基底和保護(hù)層材質(zhì)為酚醛環(huán)氧樹(shù)脂,引出線(xiàn)為細(xì)銅絲。

4.一種如權(quán)利要求1所述的柔性曲率傳感器的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

a)將箔材剪裁成大于光刻版的尺寸,除去箔材表面的油脂和臟物;

b)用膠黏劑旋涂于箔材上制作膠膜基底;

c)采用傳統(tǒng)的光刻方法制作2個(gè)的相同的應(yīng)變片;

d)將2個(gè)應(yīng)變片以基底相對(duì),其中一個(gè)旋轉(zhuǎn)180°后壓合在一起,其中敏感柵的測(cè)量柵完全重合;

e)將成品進(jìn)行靈敏度系數(shù)的標(biāo)定。

5.一種如權(quán)利要求2所述的柔性曲率傳感器的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

a)將箔材剪裁成大于光刻版的尺寸,除去箔材表面的油脂和臟物;

b)用膠黏劑旋涂于箔材上制作膠膜基底;

c)采用傳統(tǒng)的光刻方法制作2個(gè)的相同的應(yīng)變片;所述每個(gè)應(yīng)變片包括2個(gè)測(cè)量方向相互垂直的敏感柵;

d)將2個(gè)應(yīng)變片以基底相對(duì)壓合在一起,其中敏感柵完全重合;

e)將成品進(jìn)行靈敏度系數(shù)的標(biāo)定。

6.如權(quán)利要求4所述的制備方法,其特征在于,所述步驟a)具體為:

1)將康銅箔剪裁成大于光刻版的尺寸;

2)采用丙酮溶液除去箔材表面的油脂和臟物;

所述步驟b)具體為:

1)選擇酚醛環(huán)氧樹(shù)脂作為膠黏劑,用旋涂的方法使箔材表面的膠液分布均勻;

2)水平臺(tái)上晾置、干燥,在150℃的溫度下保持約2個(gè)小時(shí),直到其固化;

所述步驟c)具體為:

1)采用光刻技術(shù),經(jīng)涂膠、前烘、曝光、顯影之后,用三氯化鐵溶液將箔材刻飾成敏感柵;

2)用高倍顯微鏡對(duì)制作好的應(yīng)變片進(jìn)行外形檢查;

3)用稀釋的三氯化鐵溶液作腐蝕劑,將應(yīng)變片阻值調(diào)整到120Ω;

4)去除光刻膠之后,采用貼膜法在敏感柵上覆蓋一層保護(hù)膜;

5)焊接端頭接線(xiàn);

6)按照基底上的尺寸標(biāo)志進(jìn)行剪裁,之后進(jìn)行規(guī)格及電阻值的檢查;

所述步驟d)具體為:

1)在基底上旋涂膠黏劑之后采用升溫加壓的方式將2個(gè)應(yīng)變片以基底相對(duì),其中一個(gè)旋轉(zhuǎn)180°后壓合在一起,其中敏感柵的測(cè)量柵完全重合。

7.如權(quán)利要求5所述的制備方法,其特征在于,所述步驟a)具體為:

1)將康銅箔剪裁成大于光刻版的尺寸;

2)采用丙酮溶液除去箔材表面的油脂和臟物;

所述步驟b)具體為:

1)選擇酚醛環(huán)氧樹(shù)脂作為膠黏劑,用旋涂的方法使箔材表面的膠液分布均勻;

2)水平臺(tái)上晾置、干燥,在150℃的溫度下保持約2個(gè)小時(shí),直到其固化;

所述步驟c)具體為:

1)采用光刻技術(shù),經(jīng)涂膠、前烘、曝光、顯影之后,用三氯化鐵溶液將箔材刻飾成敏感柵;每個(gè)應(yīng)變片包括2個(gè)測(cè)量方向相互垂直的敏感柵;

2)用高倍顯微鏡對(duì)制作好的應(yīng)變片進(jìn)行外形檢查;

3)用稀釋的三氯化鐵溶液作腐蝕劑,將應(yīng)變片阻值調(diào)整到120Ω;

4)去除光刻膠之后,采用貼膜法在敏感柵上覆蓋一層保護(hù)膜;

5)焊接端頭接線(xiàn);

6)按照基底上的尺寸標(biāo)志進(jìn)行剪裁,之后進(jìn)行規(guī)格及電阻值的檢查;

所述步驟d)具體為:

1)在基底上旋涂膠黏劑之后采用升溫加壓的方式將2個(gè)應(yīng)變片以基底相對(duì),壓合在一起,其中敏感柵完全重合。

8.如權(quán)利要求6或7所述的制備方法,其特征在于,所述步驟e)具體為:

1)分別測(cè)量已知曲率半徑的被測(cè)件,通過(guò)萬(wàn)用表來(lái)讀取電阻的改變值;

2)畫(huà)出曲率半徑和電阻變化值之間的關(guān)系圖;

3)用最小二乘法進(jìn)行線(xiàn)性擬合得到整個(gè)曲率傳感器的靈敏度系數(shù)。

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