技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種柔性壓力傳感器，包括柔性襯底、柔性上蓋和間隔設(shè)置在所述柔性襯底和所述柔性上蓋之間的電極，所述電極之間設(shè)置包含有半導(dǎo)體電阻和導(dǎo)電溝道的電路。本發(fā)明由于采用微納米加工技術(shù)結(jié)合現(xiàn)代印刷電子技術(shù)，可在純?nèi)嵝砸r底上實現(xiàn)惠斯通電橋式壓力傳感器的構(gòu)建，避免傳統(tǒng)半導(dǎo)體工藝制備硬質(zhì)襯底(如硅)壓力傳感器的工藝流程復(fù)雜、高溫工藝影響大等方面的缺陷，實現(xiàn)柔性傳感器的一體化制備。通過采用微納米加工技術(shù)、現(xiàn)代印刷電子技術(shù)、納米碳材料和聚合物材料等相結(jié)合，在柔性襯底上制備具有惠斯通電橋結(jié)構(gòu)式的柔性壓力傳感器，其制備工藝簡單、成本較低、性能良好、適于規(guī)模化生產(chǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：劉瑞;袁妍妍;王小京
受保護的技術(shù)使用者：江蘇科技大學(xué)
文檔號碼：201610953914
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.27
技術(shù)公布日：2017.02.22