技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于微分干涉的光學(xué)薄膜缺陷檢測方法，包括：分別調(diào)整入射的光源為平面光波、待檢測的光學(xué)薄膜的表面與平面光波垂直；平面光波依次經(jīng)過光欄、光學(xué)薄膜、第一準(zhǔn)直透鏡和柱狀透鏡后，通過微分干涉形成兩束平行的出射光；兩束平行的出射光經(jīng)過第二準(zhǔn)直透鏡，在光電探測器上成像為微分干涉圖像；對微分干涉圖像進(jìn)行分析，獲取光學(xué)薄膜的表面和內(nèi)部缺陷。本發(fā)明利用微分干涉獲取光學(xué)薄膜表面以及內(nèi)部的具有較強(qiáng)立體感的清晰圖像，易于進(jìn)行缺陷的分辨，不僅可以同時檢測上表面、下表面以及內(nèi)部缺陷，且檢測結(jié)果不受外界環(huán)境的背景光以及光學(xué)薄膜表面反光特性的影響，具有容易實(shí)現(xiàn)和成本低廉等優(yōu)點(diǎn)，適于在工廠生產(chǎn)線推廣普及。

技術(shù)研發(fā)人員：邊心田;雷楓
受保護(hù)的技術(shù)使用者：淮陰師范學(xué)院
文檔號碼：201610905495
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.18
技術(shù)公布日：2017.03.15