本發(fā)明涉及一種單色儀掃描機械位置誤差的軟硬件相結(jié)合校正方法，尤其是涉及光柵正弦掃描型的單色儀或光譜儀波長誤差的校正方法。

背景技術(shù)：

光柵掃描型單色儀的掃描傳動機構(gòu)多采用精密絲杠螺母、擺桿傳動的正弦機構(gòu)，在步進電機驅(qū)動下，絲杠旋轉(zhuǎn)、螺母移動，螺母導(dǎo)向推動滾子移動，帶動擺桿擺動，使單色儀的光柵連續(xù)轉(zhuǎn)動，單色儀輸出波長線性變化的單色光。

光柵掃描型單色儀掃描機構(gòu)的安裝誤差包括光零位置誤差和擺桿滾子導(dǎo)向誤差。光零位置是指單色儀輸出零級光的位置，此時單色儀的平面衍射光柵法線與分光系統(tǒng)入射光線和衍射光線的夾角平分線(以下簡稱分光平分線)重合，與光柵連動的擺桿中心線垂直于絲杠軸線的位置。當(dāng)光零位置正確時，擺桿滾子的移動方向要求垂直絲杠軸線或平行于光零時的擺桿中心線，以保證光柵掃描型單色儀輸出的波長與步進電機的轉(zhuǎn)角成線性關(guān)系。當(dāng)單色儀存在光零位置誤差或(和)擺桿滾子導(dǎo)向誤差時，即光柵法線與分光平分線不重合(二者夾角稱為光零位置誤差角)，或(和)擺桿滾子的移動方向不垂直與絲杠軸線(擺桿滾子的移動方向與絲杠軸線垂直方向的夾角稱為滾子導(dǎo)向誤差角)，單色儀輸出的波長無法保證與步進電機的轉(zhuǎn)角成線性關(guān)系，引起單色儀輸出波長與設(shè)計值(波長設(shè)計值與步進電機的轉(zhuǎn)角成線性關(guān)系)之間的誤差，影響單色儀波長的準確性。

對于光柵掃描型單色儀光零位置誤差和滾子導(dǎo)向誤差的校正方法目前尚未見相關(guān)的報道。上海計量技術(shù)研究所的包學(xué)成在光柵單色儀光譜掃描機構(gòu)的誤差分析一文中，對于正弦機構(gòu)的誤差進行了理論分析，但是沒有提出誤差的校正方法。本發(fā)明基于建立的光柵正弦掃描型單色儀的機械位置誤差方程，并提出一種方程變參數(shù)求解尋優(yōu)確定最佳調(diào)節(jié)量和補償量，通過硬件調(diào)節(jié)、軟件修正實施校正的方法。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的就在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種基于機械位置誤差方程變參數(shù)求解尋優(yōu)、硬調(diào)軟修的波長校正方法，從而解決單色儀的光柵掃描機構(gòu)由于光零位置誤差和滾子導(dǎo)向誤差引起的波長掃描誤差大、無法滿足儀器波長精度的問題，提高儀器波長準確性的單色儀掃描波長機械位置誤差方程的校正方法。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

一種單色儀掃描波長機械位置誤差方程的校正方法，包括用標(biāo)準光源或標(biāo)準樣品提供的標(biāo)準光譜，通過對變桿長的標(biāo)準光譜采集、方程參數(shù)求解、最優(yōu)尋值和硬調(diào)軟修過程，校正單色儀或光譜儀光柵掃描機構(gòu)由機械位置誤差引起的波長掃描誤差。

單色儀掃描波長機械位置誤差方程為：

式中：λ為標(biāo)準波長，Δλ為波長誤差：

Δλ＝λ₀-λ (2)式中：λ₀為標(biāo)準波長對應(yīng)的單色儀輸出波長；

式1中：k為分光系統(tǒng)機械位置誤差系數(shù)：

d為光柵柵距，α₀為光柵入射角和出射光線的夾角理論值，L₀為擺桿理論長度，θ為滾子導(dǎo)向誤差角，即擺桿滾子導(dǎo)向面相對絲杠軸線垂直方向的夾角；α為光柵角度參數(shù)，a＝2d cosα，其中：α為光柵入射角和出射光線的夾角實際值；L為擺桿實際的長度；γ＝β-θ，其中：β為光零位置誤差角，θ為滾子導(dǎo)向誤差角；n為桿長調(diào)節(jié)比，式中：L’為改變或校正后的擺桿長度，L為系統(tǒng)調(diào)試初始狀態(tài)下的擺桿長度；m為初始波長設(shè)定值。

單色儀掃描波長機械位置誤差方程的校正方法，包括以下步驟：

a、獲取標(biāo)準波長：利用標(biāo)準光源或標(biāo)準樣品獲取標(biāo)準波長λ_j，j≧2，波長的選擇要與儀器的波長精度和范圍相匹配；

b、標(biāo)準光譜采集：搭建實驗平臺，調(diào)節(jié)光柵掃描機構(gòu)的擺桿長度分別為L’和L，調(diào)節(jié)量為ΔL₀＝L’─L，擺桿長度L’對應(yīng)的桿長比為n₀，L對應(yīng)的桿長比1，進行標(biāo)準光源或標(biāo)準樣品的光譜掃描，獲得標(biāo)準光譜采集數(shù)據(jù)；

c、數(shù)據(jù)處理：提取標(biāo)準光源或標(biāo)準樣品的光譜掃描數(shù)據(jù)的峰值位置，獲得掃描數(shù)據(jù)中標(biāo)準波長對應(yīng)的不少于四個的輸出波長值λ_0i，計算其與對應(yīng)標(biāo)準波長的差值Δλ_0i＝λ_0i-λ_i，i＝1、2、3、4、…，作為掃描波長誤差；

d、參數(shù)求解：

(1)解方程：將四對Δλ_0i、λ_i(i＝1～4)及對應(yīng)的桿長比代入機械位置誤差方程式1，聯(lián)立求解確定誤差方程的四個參數(shù)：光柵角度參數(shù)a、誤差角度γ、桿長前調(diào)節(jié)比n₀、分光系統(tǒng)機械位置誤差系數(shù)k與擺桿長度L之積kL；

(2)根據(jù)步驟b的擺桿長度調(diào)節(jié)量ΔL₀為：

ΔL₀＝L’-L＝(n₀-1)L

求桿長L：

(3)根據(jù)步驟d(1)解方程所得kL和式4所得擺桿長度L，計算得k值；

e、誤差評價：將步驟d求得的參數(shù)代入方程式1，在單色儀或光譜儀器的波長范圍求得儀器波長誤差的最大值Δλ_max，若Δλ_max不大于儀器波長精度指標(biāo)，則結(jié)束；否則需要調(diào)整參數(shù)m和n，轉(zhuǎn)至步驟f；

f、最優(yōu)尋值確定調(diào)整量：將步驟d獲得的四個參數(shù)a、k、L、γ的求解值代入機械位置誤差方程式(1)，以n和λ為自變量、Δλ為因變量，計算λ在儀器波長范圍內(nèi)，當(dāng)n取0.9～1.1范圍內(nèi)不同值時Δλ的最大偏差Δλ_max和平均值Δλ_mean；選取所有Δλ_max中的最小值對應(yīng)的n值作為最優(yōu)桿長比n_op，對應(yīng)的Δλ_mean值作為初始波長修正值Δλ_meanop；

g、硬件調(diào)參數(shù)：在儀器硬件上調(diào)整掃描擺桿長度，以調(diào)節(jié)量ΔL調(diào)整擺桿的長度L：

ΔL＝(n_op-1)L； (5)

h、軟件修正：在儀器軟件上修正初始波長為m-Δλ_meanop，完成實際單色儀的光零誤差的校正，此時得到波長誤差方程式1中的參數(shù)m為：

m_(新)＝m_(舊)-Δλ_meanop； (6)

i、返回步驟b

若重復(fù)多次調(diào)整仍不能滿足儀器波長精度的要求，則說明誤差方程中a、k、L、γ參數(shù)不合理或Δλ、λ數(shù)據(jù)取值誤差較大，考慮重新設(shè)計a、k、L、γ參數(shù)或調(diào)整Δλ、λ數(shù)據(jù)的取值。

有益效果：本發(fā)明是基于機械位置誤差方程參數(shù)求解，采用一種最優(yōu)尋值確定最優(yōu)桿長比和修正初始波長的方法，對光柵正弦掃描型單色儀或光譜儀的掃描波長誤差進行了有效的校正。該方法軟硬件相結(jié)合，簡單易行，適用于單色儀或光譜儀產(chǎn)品檢驗調(diào)試時的波長修正。

附圖說明

圖1光柵正弦掃描型單色儀或光譜儀的分光掃描機構(gòu)機械位置誤差原理圖

圖2光柵正弦掃描型單色儀或光譜儀的分光掃描機構(gòu)結(jié)構(gòu)圖

1-入射狹縫 2-準直鏡 3-聚焦鏡 4-出射狹縫 5-光柵 6-軸 7-彈簧 8-擺桿 9-螺母 10-絲杠 11-壓簧 12-滾子 13-軸 14-桿長調(diào)節(jié)螺栓 15-滾子導(dǎo)向塊 16-步進電機 17-電機支架 18-聯(lián)軸器 19-導(dǎo)軌座 20-直線導(dǎo)軌 21-軸承及支架 22-底板

圖3標(biāo)準光源光譜測量實驗平臺框圖

圖4單色儀掃描波長機械位置誤差的校正方法流程圖

圖5光柵正弦掃描型光譜儀結(jié)構(gòu)框圖

具體實施方式：

下面結(jié)合附圖1～4對本發(fā)明作進一步詳細的說明。

本發(fā)明的機械位置誤差方程是根據(jù)光柵掃描型單色儀掃描機構(gòu)的機械傳動關(guān)系，建立光零位置誤差和滾子導(dǎo)向誤差與儀器參數(shù)(見圖1)、波長誤差間的方程：

式中：Δλ為波長誤差：

Δλ＝λ₀-λ (2)

其中：λ為標(biāo)準波長(即實際波長)，λ₀為標(biāo)準波長對應(yīng)的儀器輸出波長(即理論波長或設(shè)計波長)。

k為分光系統(tǒng)機械位置誤差系數(shù)：

其中：d為光柵柵距，α₀為光柵入射角和出射光線的夾角理論值，L₀為擺桿理論長度，θ為滾子導(dǎo)向誤差角，即擺桿滾子導(dǎo)向面相對絲杠軸線垂直方向的夾角；

α為光柵角度參數(shù)，a＝2d cosα，其中：α為光柵入射角和出射光線的夾角實際值；

L為系統(tǒng)調(diào)試初始狀態(tài)時擺桿的實際長度；

γ＝β-θ，其中：β為光零位置誤差角，θ為滾子導(dǎo)向誤差角；

m為當(dāng)前初始波長設(shè)定值(此為已知量，若未知，可設(shè)為0)；

n為桿長調(diào)節(jié)比，其中：L’為改變或校正后的擺桿長度，L為系統(tǒng)調(diào)試初始狀態(tài)下的擺桿長度。

本發(fā)明的方法采用機械位置誤差方程變桿長參數(shù)求解、尋優(yōu)，確定最佳調(diào)整參數(shù)，并以硬件調(diào)整、軟件修正的方法實現(xiàn)。步驟如下：

1、獲取標(biāo)準波長：利用標(biāo)準光源或標(biāo)準樣品獲取標(biāo)準波長λ_i(i不小于2)，注意波長的選擇要與儀器的波長精度和范圍相匹配。

2、標(biāo)準光譜采集：搭建實驗平臺，調(diào)節(jié)光柵掃描機構(gòu)的擺桿長度分別為L’和L，調(diào)節(jié)量為ΔL₀＝L’-L。擺桿長度L’對應(yīng)的桿長比為n₀，L對應(yīng)的桿長比1，進行標(biāo)準光源或標(biāo)準樣品的光譜掃描，獲得標(biāo)準光譜采集數(shù)據(jù)。

3、數(shù)據(jù)處理：提取標(biāo)準光源或標(biāo)準樣品的光譜掃描數(shù)據(jù)的峰值位置，獲得掃描數(shù)據(jù)中標(biāo)準波長對應(yīng)的不少于4個的輸出波長值λ_0i，計算其與對應(yīng)標(biāo)準波長的差值Δλ_0i＝λ_0i-λ_i(i＝1、2、3、4、…)，作為掃描波長誤差。

4、參數(shù)求解：

(1)解方程：將四組Δλ_0i、λ_i(i＝1～4)及對應(yīng)的桿長比代入機械位置誤差方程(式1)，聯(lián)立求解確定誤差方程的4個參數(shù)：光柵角度參數(shù)a、誤差角度γ、桿長前調(diào)節(jié)比n₀、分光系統(tǒng)機械位置誤差系數(shù)k與擺桿長度L之積kL。

(2)根據(jù)步驟2的擺桿長度調(diào)節(jié)量ΔL₀為：

ΔL₀＝L’-L＝(n₀-1)L

求桿長L：

(3)根據(jù)解方程所得kL和式4所得擺桿長度L，計算得k值。

5、誤差評價：將步驟4求得的參數(shù)代入方程(1)，在單色儀或光譜儀器的波長范圍求得儀器波長誤差的最大值Δλ_max，若Δλ_max不大于儀器波長精度指標(biāo)，則結(jié)束；否則需要調(diào)整參數(shù)m和n，轉(zhuǎn)至步驟6。

6、最優(yōu)尋值確定調(diào)整量：將步驟4獲得的4個參數(shù)a、k、L、γ的求解值代入機械位置誤差方程式(1)，以n、λ為自變量，計算λ在儀器波長范圍內(nèi)，n取一定范圍如[0.9，1.1]內(nèi)的不同值時Δλ的最大偏差Δλ_max和平均值Δλ_mean。選取所有Δλ_max中的最小值對應(yīng)的n值作為最優(yōu)桿長比n_op，對應(yīng)的Δλ_mean值作為初始波長修正值Δλ_meanop。

7、硬件調(diào)參數(shù)：在儀器硬件上調(diào)整掃描擺桿長度，以調(diào)節(jié)量ΔL調(diào)整擺桿的長度L：

ΔL＝(n_op-1)L (5)

8、軟件修正：在儀器軟件上修正初始波長為m-Δλ_meanop，完成實際單色儀的光零誤差的校正。此時得到波長誤差方程(式1)中的參數(shù)m為：

m_(新)＝m_(舊)-Δλ_meanop (6)

9、返回步驟2。

若重復(fù)多次調(diào)整仍不能滿足儀器波長精度的要求，則說明誤差方程中a、k、L、γ等參數(shù)不合理或Δλ和λ數(shù)據(jù)取值誤差較大，考慮重新設(shè)計或調(diào)整數(shù)據(jù)的取值。

光柵正弦掃描型單色儀或光譜儀的分光掃描傳動機構(gòu)如圖1和2所示，為精密絲杠螺母、擺桿傳動的正弦機構(gòu)。入射狹縫1、準直鏡2、聚焦鏡3、出射狹縫4均通過連接件固定于底板22上，絲杠10通過軸承及支架21、步進電機16通過電機支架17、直線導(dǎo)軌20均以螺釘固定于底板22上。擺桿8一端固定在分光系統(tǒng)中光柵5的轉(zhuǎn)動軸6上，另一端通過軸13連接滾子12。絲杠10上的螺母9與導(dǎo)軌座19固定連接，使其在絲杠10轉(zhuǎn)動時沿直線導(dǎo)軌20做直線運動。彈簧7固定于底板22和擺桿8間，使8上的滾子12與螺母8上的滾子導(dǎo)向塊15接觸。單色儀或光譜儀采用步進電機16通過聯(lián)軸器18與絲杠10連接，驅(qū)動絲杠10轉(zhuǎn)動，使螺母9移動并帶動滾子12使擺桿8帶動軸6上的光柵5轉(zhuǎn)動不同的角度。從而使從入射狹縫1射入的復(fù)合光經(jīng)準直鏡2、光柵5、聚焦鏡3，以不同波長的單色光從出射狹縫4射出，實現(xiàn)單色儀或光譜儀的分光。壓簧11、軸13和桿長調(diào)節(jié)螺栓14安裝在擺桿8上的調(diào)節(jié)槽內(nèi)，通過桿長調(diào)節(jié)螺栓14調(diào)節(jié)擺桿的長度。

實施例1：

正弦掃描型單色儀機械位置誤差校正。

搭建光譜掃描測量實驗平臺如圖3所示，包括標(biāo)準光源、光譜掃描控制測量系統(tǒng)和上位機組成。標(biāo)準光源可以采用激光器、汞燈等，可以提供單色儀的光譜范圍內(nèi)相應(yīng)的標(biāo)準波長，將其固定于單色儀或光譜儀分光系統(tǒng)的入射狹縫處，使其入射光線充滿單色儀或光譜儀分光系統(tǒng)的準直鏡。光譜掃描控制測量系統(tǒng)位于單色儀出射狹縫處，控制步進電機以一定的角度間隔連續(xù)轉(zhuǎn)動角度，使單色儀輸出一定波長間隔和范圍的不同波長的光信號；同時感受此信號并轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，通過數(shù)據(jù)接口傳給上位機；從而獲得一定波長范圍的光譜數(shù)據(jù)。上位機采用PC機通過軟件獲得光譜數(shù)據(jù)并進行數(shù)據(jù)處理。采用光譜掃描測量實驗平臺進行單色儀掃描機構(gòu)機械位置誤差引起的波長誤差的校正方法實施過程如圖4所示，包括：

1、確定標(biāo)準波長：以具有不同已知特征譜的一個或多個標(biāo)準光源的特征波長及其高級譜對應(yīng)的波長作為標(biāo)準波長λ_j(j不小于2)，要保證標(biāo)準波長個數(shù)不少于2個，并使其盡量覆蓋單色儀的光譜范圍，且注意標(biāo)準波長值的選擇要與儀器的波長精度相匹配。

2、標(biāo)準光譜采集：打開標(biāo)準光源，設(shè)此時光柵掃描機構(gòu)擺桿的桿長比為n₀。進行標(biāo)準光源光譜的掃描測量，獲得標(biāo)準光譜在光柵掃描機構(gòu)擺桿的桿長比為n₀時采集數(shù)據(jù)。調(diào)節(jié)光柵掃描機構(gòu)的擺桿長度，調(diào)節(jié)量為ΔL₀，設(shè)此時光柵掃描機構(gòu)擺桿的桿長比為1，重新掃描標(biāo)準光源，獲得標(biāo)準光譜在光柵掃描機構(gòu)擺桿的桿長比為1時采集數(shù)據(jù)，此時的桿長為L。

3、數(shù)據(jù)處理：提取標(biāo)準光源光譜數(shù)據(jù)的峰值位置，獲得光譜數(shù)據(jù)中標(biāo)準波長對應(yīng)的不少于四個的輸出波長值λ_0i，計算其與對應(yīng)標(biāo)準波長的差值Δλ_0i＝λ_0i-λ_i(i＝1、2、3、4，…)，作為掃描波長誤差。

4、參數(shù)求解：

(1)解方程：將四對Δλ_0i、λ_i(i＝1～4)及對應(yīng)的桿長比代入機械位置誤差方程(式1)，聯(lián)立求解確定誤差方程的4個參數(shù)：光柵角度參數(shù)a、誤差角度γ、桿長前調(diào)節(jié)比n₀、分光系統(tǒng)機械位置誤差系數(shù)k與擺桿長度L之積kL。

(2)根據(jù)步驟2的擺桿長度調(diào)節(jié)量ΔL₀為：

ΔL₀＝L’-L＝(n₀-1)L

求桿長L：

(3)根據(jù)步驟4(1)解方程所得kL和式4所得擺桿長度L，計算得k值。

5、誤差評價：將上述步驟4求得的參數(shù)代入方程(1)，在單色儀或光譜儀器的波長范圍求得儀器波長誤差的最大值Δλ_max，若Δλ_max不大于儀器波長精度指標(biāo)，則結(jié)束；否則需要調(diào)整參數(shù)m和n，轉(zhuǎn)至步驟6。

6、最優(yōu)尋值確定調(diào)整量：將步驟4獲得的4個參數(shù)a、k、L、γ的求解值代入機械位置誤差方程式(1)，以n和λ為自變量、Δλ為因變量，計算λ在儀器波長范圍內(nèi)，n取一定范圍如[0.9，1.1]內(nèi)的不同值時Δλ的最大偏差Δλ_max和平均值Δλ_mean。選取所有Δλ_max中的最小值對應(yīng)的n值作為最優(yōu)桿長比n_op，對應(yīng)的Δλ_mean值作為初始波長修正值Δλ_meanop。

6、硬件調(diào)整：在儀器硬件上調(diào)整掃描擺桿長度，以調(diào)節(jié)量ΔL調(diào)整擺桿的長度L：

ΔL＝(n_op-1)L (5)

8、軟件修正：在軟件上修正初始波長為m-Δλ_meanop，完成實際單色儀的光零誤差的校正。此時得到波長誤差方程(式1)中的參數(shù)m為：

m_(新)＝m_(舊)-Δλ_meanop (6)

9、返回步驟2。

若重復(fù)多次調(diào)整仍不能滿足儀器波長精度的要求，則說明誤差方程中a、k、L、γ等參數(shù)不合理或Δλ和λ數(shù)據(jù)取值誤差較大，考慮重新設(shè)計或調(diào)整數(shù)據(jù)的取值。

實施例2：

正弦掃描型光譜儀機械位置誤差校正。

正弦掃描型光譜儀結(jié)構(gòu)如圖5所示，光源和調(diào)制器固定于分光系統(tǒng)(即單色儀)的入射狹縫外，且光源與入射狹縫成物像關(guān)系，檢測控制系統(tǒng)分別與分光系統(tǒng)、傳感器模塊、以及上位機連接，同時分光系統(tǒng)經(jīng)取樣器與傳感器模塊連接組成光譜儀。分光系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)如圖1所示采用正弦掃描機構(gòu)。

針對正弦掃描型光譜儀分光掃描機構(gòu)機械位置誤差引起的波長誤差的校正方法實施過程如圖4所示，包括：

1、確定標(biāo)準波長：以具有不同已知特征波長的一個或多個標(biāo)準樣品的特征波長作為標(biāo)準波長λ_j(j不小于2)，要保證標(biāo)準波長個數(shù)不少于2個，并使其盡量覆蓋光譜儀的光譜范圍，且注意波長值的選擇要與儀器的波長精度相匹配。

2、標(biāo)準光譜采集：調(diào)節(jié)光柵掃描機構(gòu)的擺桿長度，調(diào)節(jié)量為ΔL₀，在2個不同的擺桿長度L’和L下(分別對應(yīng)的桿長比為n₀和1)，對標(biāo)準樣品進行吸光度光譜的掃描測量，獲得標(biāo)準光譜采集數(shù)據(jù)。

3、數(shù)據(jù)處理：提取標(biāo)準樣品光譜數(shù)據(jù)的峰值位置，獲得光譜數(shù)據(jù)中標(biāo)準波長對應(yīng)的不少于四4個的輸出波長值λ_0i，計算其與對應(yīng)標(biāo)準波長的差值Δλ_0i＝λ_0i-λ_i(i＝1、2、3、4，…)，作為掃描波長誤差。

4、參數(shù)求解：

(1)解方程：將四對Δλ_0i、λ_i(i＝1～4)及對應(yīng)的桿長比代入機械位置誤差方程(式1)，聯(lián)立求解確定誤差方程的4個參數(shù)：光柵角度參數(shù)a、誤差角度γ、桿長前調(diào)節(jié)比n₀、分光系統(tǒng)機械位置誤差系數(shù)k與擺桿長度L之積kL。

(2)根據(jù)步驟2的擺桿長度調(diào)節(jié)量ΔL₀為：

ΔL₀＝L’-L＝(n₀-1)L

求桿長L：

(3)根據(jù)步驟4(1)解方程所得kL和式4所得擺桿長度L，計算求k值。

5、誤差評價：將上述步驟求得的參數(shù)代入方程(1)，在單色儀或光譜儀器的波長范圍求得儀器波長誤差的最大值Δλ_max，若Δλ_max不大于儀器波長精度指標(biāo)，則結(jié)束；否則需要調(diào)整參數(shù)m和n，轉(zhuǎn)至步驟6。

6、最優(yōu)尋值確定調(diào)整量：將步驟4獲得的四個參數(shù)a、k、L、γ的求解值代入機械位置誤差方程式(1)，以n和λ為自變量、Δλ為因變量，計算λ在儀器波長范圍內(nèi)，n取一定范圍如[0.9，1.1]內(nèi)的不同值時Δλ的最大偏差Δλ_max和平均值Δλ_mean。選取所有Δλ_max中的最小值對應(yīng)的n值作為最優(yōu)桿長比n_op，對應(yīng)的Δλ_mean值作為初始波長修正值Δλ_meanop。

7、硬件調(diào)整：在儀器硬件上調(diào)整掃描擺桿長度，以調(diào)節(jié)量ΔL調(diào)整擺桿的長度L：

ΔL＝(n_op-1)L (5)

8、軟件修正：在儀器軟件上修正初始波長為m-Δλ_meanop，完成實際光譜儀機械位置誤差的校正。此時得到波長誤差方程(1式)中的參數(shù)m為：

m_(新)＝m_(舊)-Δλ_meanop (6)

9、返回步驟2。

若重復(fù)多次調(diào)整仍不能滿足儀器波長精度的要求，則說明誤差方程中的a、k、L、γ等參數(shù)不合理或Δλ和λ數(shù)據(jù)取值誤差較大，考慮重新設(shè)計或調(diào)整數(shù)據(jù)的取值。