本發(fā)明涉及一種定位裝置，尤其涉及一種硅片少子壽命測(cè)試儀用定位裝置。

背景技術(shù)：

硅片少子壽命測(cè)試儀是一種用于測(cè)量硅片少子壽命的儀器，現(xiàn)有市場(chǎng)上采用的硅片少子壽命測(cè)試儀，其在測(cè)試過(guò)程中，一旦硅片擺放存在傾斜度，易造成邊緣處測(cè)量失敗，由此，急需解決。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于針對(duì)上述問(wèn)題，提供一種硅片少子壽命測(cè)試儀用定位裝置，以解決現(xiàn)有硅片少子壽命測(cè)試儀在測(cè)試過(guò)程中，硅片擺放傾斜會(huì)出現(xiàn)測(cè)試失敗的問(wèn)題。

本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

一種硅片少子壽命測(cè)試儀用定位裝置，包括底托盤(pán)，所述底托盤(pán)的一側(cè)設(shè)置有定位擋板，所述定位擋板包括安裝部及定位部，所述定位部設(shè)置于安裝部的上端，且定位部上設(shè)置有緩沖墊。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述定位部為L(zhǎng)形結(jié)構(gòu)，其由水平布置的橫段及豎直布置的豎段構(gòu)成，所述豎段設(shè)置于橫段的上端，所述橫段與安裝部的上端相連，且橫段與底托盤(pán)之間設(shè)置有間隙。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述緩沖墊由橡膠或塑料材料制成。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述安裝部上開(kāi)有安裝孔，并通過(guò)螺栓緊固于底托盤(pán)上。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述安裝部、定位部為一體結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的有益效果為，所述硅片少子壽命測(cè)試儀用定位裝置通過(guò)采用定位擋板實(shí)現(xiàn)硅片的定位，可保證硅片擺放不會(huì)出現(xiàn)傾斜，避免測(cè)試失敗，且在定位部上設(shè)置緩沖墊，可有效避免硅片和定位部直接碰撞造成破碎，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于實(shí)現(xiàn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明硅片少子壽命測(cè)試儀用定位裝置的主視圖；

圖2為本發(fā)明硅片少子壽命測(cè)試儀用定位裝置的側(cè)視圖。

圖中:

1、底托盤(pán)；2、安裝部；3、定位部；31、橫段；32、豎段；4、緩沖墊。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖并通過(guò)具體實(shí)施方式來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。可以理解的是，此處所描述的實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明，而非對(duì)本發(fā)明的限定。

請(qǐng)參照?qǐng)D1及圖2所示，圖1為本發(fā)明硅片少子壽命測(cè)試儀用定位裝置的主視圖；圖2為本發(fā)明硅片少子壽命測(cè)試儀用定位裝置的側(cè)視圖。

于本實(shí)施例中，一種硅片少子壽命測(cè)試儀用定位裝置，包括底托盤(pán)1，所述底托盤(pán)1的一側(cè)設(shè)置有定位擋板，所述定位擋板包括安裝部2及定位部3，所述安裝部2、定位部3為一體結(jié)構(gòu)，且安裝部2上開(kāi)有安裝孔，并通過(guò)螺栓緊固于底托盤(pán)1上，所述定位部3為L(zhǎng)形結(jié)構(gòu)，其由水平布置的橫段31及豎直布置的豎段32構(gòu)成，所述豎段32設(shè)置于橫段31的上端，所述橫段31與安裝部2的上端相連，且橫段31與底托盤(pán)1之間設(shè)置有間隙，所述豎段32上安裝有緩沖墊4，所述緩沖墊4由橡膠材料制成。

值得一提的是，雖然本實(shí)施例中，緩沖墊4由橡膠制成，但是本發(fā)明不限于此，緩沖墊4亦可采用塑料材料制成，只要能起到防止硅片損壞的作用即可。

上述硅片少子壽命測(cè)試儀用定位裝置通過(guò)采用定位擋板實(shí)現(xiàn)硅片的定位，可保證硅片擺放不會(huì)出現(xiàn)傾斜，避免測(cè)試失敗，且在定位部3上設(shè)置緩沖墊4，可有效避免硅片和定位部3直接碰撞造成破碎，此外，橫段31與底托盤(pán)1之間設(shè)置的間隙便于清理硅渣和灰塵，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于實(shí)現(xiàn)。

以上實(shí)施例只是闡述了本發(fā)明的基本原理和特性，本發(fā)明不受上述實(shí)施例限制，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)界定。