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使用空間輸出激光器的偏振調(diào)制拉曼探頭及光譜探測(cè)方法與流程

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使用空間輸出激光器的偏振調(diào)制拉曼探頭及光譜探測(cè)方法與流程

本發(fā)明涉及激光激發(fā)光譜檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種使用空間輸出激光器的偏振調(diào)制拉曼探頭及光譜探測(cè)方法。



背景技術(shù):

拉曼光譜(Raman spectra),是一種散射光譜。拉曼光譜分析法是基于印度科學(xué)家C.V.拉曼(Raman)所發(fā)現(xiàn)的拉曼散射效應(yīng),對(duì)與入射光頻率不同的散射光譜進(jìn)行分析以得到分子振動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)方面信息,并應(yīng)用于分子結(jié)構(gòu)研究的一種分析方法。拉曼光譜技術(shù)以其靈敏性、快速性以及操作方便等優(yōu)點(diǎn),在非侵入式檢測(cè)領(lǐng)域得到了快速發(fā)展和廣泛應(yīng)用。

基于光柵/棱鏡的光譜分析儀是目前使用最為廣泛的光譜探測(cè)設(shè)備,其光學(xué)結(jié)構(gòu)主要包括:狹縫、準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)、光柵/棱鏡、收集光學(xué)系統(tǒng)、探測(cè)器/探測(cè)器陣列;激光器種類繁多,有半導(dǎo)體激光器、固體激光器、光纖激光器等;而激光器輸出的激光經(jīng)過(guò)多種處理后多以軸對(duì)稱的平行光出射并最終匯聚成圓形光斑,最終耦合進(jìn)光譜儀的激發(fā)信號(hào)的能量受限于狹縫,大部分的能量均被狹縫阻隔而無(wú)法進(jìn)入后續(xù)分析系統(tǒng),極大的降低的系統(tǒng)的采集效率。為了達(dá)到更高的效率,通常的做法是嚴(yán)格控制激光的發(fā)散角,使其以極小的發(fā)散角匯聚后達(dá)到盡量小的匯聚光斑,這樣導(dǎo)致激光器的制造成本提高,極小的匯聚光斑又有能量密度過(guò)高易點(diǎn)燃被測(cè)樣品、采樣范圍小不利于混合固體測(cè)量,而且系統(tǒng)的對(duì)焦景深小,系統(tǒng)容差小等問(wèn)題。

在偏振拉曼理論中,當(dāng)電磁輻射與一系統(tǒng)相互作用時(shí),偏振態(tài)常發(fā)生變化,這種現(xiàn)象稱為退偏。在拉曼散射中,這種退偏度和分子的對(duì)稱性是密切相關(guān)的。

在激光拉曼光譜探測(cè)中,偏振方向平行于入射激光偏振方向的拉曼光強(qiáng)度記為I||,偏振方向垂直于入射激光偏振方向的拉曼強(qiáng)度記為I,兩者之比ρ=I/I||稱為退偏比。如果退偏比ρ小于0.75,該振動(dòng)可以被認(rèn)為是偏振的,那么振動(dòng)是全對(duì)稱的。如果退偏比ρ等于0.75,該振動(dòng)可以被認(rèn)為是退偏振的,振動(dòng)則是非對(duì)稱的。

由于激光具有極強(qiáng)的線偏振度,進(jìn)行拉曼光譜探測(cè)時(shí),譜峰的強(qiáng)度就與分子的結(jié)構(gòu)及激光的偏振狀態(tài)有關(guān),偏振方向角還是一個(gè)相對(duì)量,這增加了拉曼光譜探測(cè)的隨機(jī)性。除了一些專門(mén)或科研級(jí)別的拉曼光譜儀需要對(duì)偏振進(jìn)行調(diào)制或使用特定偏振態(tài)的激光進(jìn)行采集分析。通常,標(biāo)準(zhǔn)的拉曼采集需要消除偏振的影響,在空間輸出激光器和樣品之間光路中插入“擾偏”元件來(lái)去除其偏振特性,常用的擾偏器件有石英楔擾偏器和液晶擾偏器。

石英楔擾偏器能將偏振光束轉(zhuǎn)化為偽隨機(jī)偏振光束,用偽隨機(jī)來(lái)形容是因?yàn)橥ㄟ^(guò)擾偏器的光束并不是非偏振光;而是它的偏振態(tài)是隨機(jī)的。單色光源的線偏振光經(jīng)過(guò)石英楔擾偏器后,其偏振態(tài)將發(fā)生空間變化。通常擾偏器的結(jié)構(gòu)由兩個(gè)晶體石英楔片組成,其中一個(gè)厚度是另一個(gè)的兩倍。兩個(gè)楔片被一個(gè)薄金屬環(huán)隔開(kāi)。每個(gè)楔片的光軸垂直于楔片的平面。兩個(gè)晶體石英楔片的光軸間的夾角為45度。由于該器件利用的是不同空間位置處的相位延遲的差異來(lái)打亂入射光的偏振態(tài),故通常要求入射光斑具有一定直徑(通常≥6mm),故不適用于細(xì)小的光束的擾偏,且成本非常高。

液晶擾偏器的原理和石英楔的類似,其利用不同像素點(diǎn)的液晶分子的偏轉(zhuǎn)程度的不一致來(lái)實(shí)現(xiàn)不同空間位置處的相位延遲量的差異來(lái)打亂入射光的偏振態(tài)。其優(yōu)點(diǎn)是對(duì)光束的尺寸要求相對(duì)較低,但由于液晶分子的耐光能力問(wèn)題,其激光損傷閾值較低,不適于大功率激光的應(yīng)用。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為解決現(xiàn)有技術(shù)中形成圓形光斑使耦合進(jìn)光譜儀的激發(fā)信號(hào)的能量受限于狹縫以及消極化處理方法成本高、不適于大功率激光的問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種使用空間輸出激光器的偏振調(diào)制拉曼探頭及光譜探測(cè)方法。

本發(fā)明提供了一種使用空間輸出激光器的偏振調(diào)制拉曼探頭,包括:空間輸出激光器、光路轉(zhuǎn)換裝置、聚集采集裝置、耦合濾光裝置、光譜儀、波片;

所述空間輸出激光器用于輸出長(zhǎng)軸方向和短軸方向發(fā)散角不一致的激光光束;所述激光光束為線偏振光;

所述光路轉(zhuǎn)換裝置設(shè)置于所述空間輸出激光器輸出激光光束的輸出光路上,用于對(duì)所述激光光束進(jìn)行反射;

所述聚集采集裝置以垂直于所述光路轉(zhuǎn)換裝置反射的激光光束的方式設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換裝置的一側(cè),用于聚集所述光路轉(zhuǎn)換裝置反射后的光束;

所述耦合濾光裝置以垂直于所述光路轉(zhuǎn)換裝置透射的激光光束的方式設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換裝置的另一側(cè),用于將采集到的光束進(jìn)行光耦合后將形成的條形光斑聚集在所述光譜儀的狹縫處;

所述波片設(shè)置于所述空間輸出激光器和所述光路轉(zhuǎn)換裝置之間的光路上,或者,所述波片設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換裝置和所述聚集采集裝置的焦點(diǎn)之間的光路上。

上述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還具有以下特點(diǎn):

所述波片為四分之一波片,所述波片的快軸方向角θ與所述激光光束的線偏振方向角成正45度角或負(fù)45度角。

上述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還具有以下特點(diǎn):

所述消極化偏振拉曼探頭還包括以垂直于所述空間輸出激光器輸出的激光光束的方式設(shè)置于所述空間輸出激光器和所述光路轉(zhuǎn)換裝置之間的凈化濾光片;

所述波片設(shè)置于所述空間輸出激光器和所述光路轉(zhuǎn)換裝置之間的光路上包括:所述波片以垂直于所述空間輸出激光器輸出的激光光束的方式設(shè)置于所述空間輸出激光器和所述凈化濾光片之間,或者,所述波片以垂直于所述空間輸出激光器輸出的激光光束的方式設(shè)置于所述凈化濾光片與所述光路轉(zhuǎn)換裝置之間。

上述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還具有以下特點(diǎn):

所述波片設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換裝置和所述聚集采集裝置的焦點(diǎn)之間的光路上包括:所述波片以垂直于所述光路轉(zhuǎn)換裝置的反射激光光束的方式設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換裝置和所述聚集采集裝置之間;或者,所述波片設(shè)置于所述聚集采集裝置的光束匯聚側(cè)。

上述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還具有以下特點(diǎn):

所述消極化偏振拉曼探頭還包括設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換裝置和聚集采集裝置之間的陷波濾光片。

本發(fā)明還提供了一種光譜探測(cè)方法,包括:

步驟1,在所述聚集采集裝置的焦點(diǎn)處放置樣品;

步驟2,使用空間輸出激光器輸出長(zhǎng)軸方向和短軸方向發(fā)散角不一致的激光光束;所述激光光束為線偏振光;使激光光束經(jīng)由波片透射到所述光路轉(zhuǎn)換裝置處;通過(guò)所述光路轉(zhuǎn)換裝置將激光光束反射到聚集采集裝置,所述聚集采集裝置將所述光路轉(zhuǎn)換裝置反射后的光束聚集在放置有樣品的焦點(diǎn)處并采集從樣品散射回的光束;所述光路轉(zhuǎn)換裝置透射從聚集采集裝置透射回的光束;

或者,使用空間輸出激光器輸出長(zhǎng)軸方向和短軸方向發(fā)散角不一致的激光光束;所述激光光束為線偏振光;通過(guò)所述光路轉(zhuǎn)換裝置將激光光束進(jìn)行反射,經(jīng)由波片和聚集采集裝置或者經(jīng)由聚集采集裝置和波片將所述光路轉(zhuǎn)換裝置反射后的激光光束聚集在放置有樣品的焦點(diǎn)處并透射從樣品散射回的光束;所述光路轉(zhuǎn)換裝置透射從樣品散射回的光束;

步驟3,所述耦合濾光裝置將采集到的光束進(jìn)行光耦合后將形成的條形光斑聚集在所述光譜儀的狹縫處;

上述光譜探測(cè)方法還具有以下特點(diǎn):

所述波片為四分之一波片,所述波片的快軸方向角θ與所述激光光束的線偏振方向角成正45度角或負(fù)45度角。

上述光譜探測(cè)方法還具有以下特點(diǎn):

所述使激光光束經(jīng)由波片透射到所述光路轉(zhuǎn)換裝置處包括:使激光光束經(jīng)由波片和凈化濾光片或者經(jīng)由凈化濾光片和波片透射到所述光路轉(zhuǎn)換裝置處。

上述光譜探測(cè)方法還具有以下特點(diǎn):

所述步驟2和步驟3之間還包括:陷波濾光片接收光路轉(zhuǎn)換裝置透射的光束并透射輸出至所述耦合濾光裝置。

本發(fā)明采用與狹縫方向平行的非軸對(duì)稱空間條形光斑輸出模式的激光器設(shè)計(jì),使激光長(zhǎng)軸方向和短軸方向的發(fā)散角與狹縫匹配,使匯聚后同樣能量的激光能量由圓形區(qū)域分布變?yōu)闂l形區(qū)域分布,并且對(duì)激光光束進(jìn)行消極化處理,可以提高光譜儀耦合效率,提高系統(tǒng)采集效率;降低器件及儀器的成本,提高系統(tǒng)的容差性能;降低匯聚激光光斑的功率密度,防止熱積累和樣品灼燒;采樣范圍更大,更適合對(duì)固體混合物樣品及稀疏樣品的采樣;同時(shí)本發(fā)明中消極化成本低,對(duì)激光光束的尺寸無(wú)要求,損傷閾值高。

附圖說(shuō)明

圖1是自然光、垂直線偏振光和右旋圓偏振的偏振光和一種橢圓偏振光在空間平面內(nèi)的振動(dòng)方向示意圖;

圖2是實(shí)施例一中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖;

圖3是實(shí)施例二中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖;

圖4是實(shí)施例三中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖;

圖5是實(shí)施例四中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖;

圖6是實(shí)施例五中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖;

圖7是實(shí)施例六中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖;

圖8是實(shí)施例七中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖;

圖9是實(shí)施例八中光譜探測(cè)方法的流程圖;

圖10是實(shí)施例九中光譜探測(cè)方法的流程圖。

具體實(shí)施例

為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。需要說(shuō)明的是,在不沖突的情況下,本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互任意組合。

由于圓偏振光可以分解成相位延遲相差為(n+1/4)λ的任意兩個(gè)相互垂直的等強(qiáng)度偏振光的疊加,其中λ為激光波長(zhǎng),其電矢量(即強(qiáng)度)大小保持不變,而極化方向隨時(shí)間變化,變化的周期為其相應(yīng)的電磁波周期,而光的周期T=λ/c極小(約10-14~10-16s),其中c為光速,在拉曼的采樣周期內(nèi)(ms到s級(jí)),經(jīng)歷了大于1010個(gè)偏振周期,故拉曼采樣偏振的極化能被消除,達(dá)到和自然光等同的效果。圖1是自然光、垂直線偏振光和右旋圓偏振的偏振光和一種橢圓偏振光在空間平面內(nèi)的振動(dòng)方向示意圖。光的偏振狀態(tài)可以stokes矩陣完全表示,S=[S0,S1,S2,S3]T,以上四種偏振狀態(tài)的歸一化stokes參量分別為[1,0,0,0]T、[1,-1,0,0]T、[1,0,0,1]T、[1,0.2,0.5,0.842]T,本發(fā)明通過(guò)加入偏振調(diào)制器件,將特定偏振狀態(tài)的原始入射激光光束調(diào)制成圓偏振光,能得到等同自然光的消極化偏振拉曼探測(cè)效果。本發(fā)明中的偏振調(diào)制器件典型的采用波片,波片作為常用光學(xué)元件制造成本低,并且對(duì)激光光束的尺寸無(wú)要求,且損傷閾值高。

實(shí)施例一

圖2是實(shí)施例一中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖。消極化偏振拉曼探頭包括:空間輸出激光器1、光路轉(zhuǎn)換裝置2、聚集采集裝置3、耦合濾光裝置4、光譜儀5、波片6。

空間輸出激光器1用于輸出長(zhǎng)軸方向和短軸方向發(fā)散角不一致的激光光束;此激光光束為線偏振光;激光器1可以是空間條形光斑輸出激光器。

光路轉(zhuǎn)換裝置2設(shè)置于空間輸出激光器1輸出激光光束的輸出光路上,用于對(duì)激光光束進(jìn)行反射;

聚集采集裝置3以垂直于光路轉(zhuǎn)換裝置2反射的激光光束的方式設(shè)置于光路轉(zhuǎn)換裝置2的一側(cè),用于聚集光路轉(zhuǎn)換裝置2反射后的光束;

耦合濾光裝置4以垂直于光路轉(zhuǎn)換裝置2透射的激光光束的方式設(shè)置于光路轉(zhuǎn)換裝置2的另一側(cè),用于將采集到的光束進(jìn)行光耦合后輸入至光譜儀5;

波片6設(shè)置于空間輸出激光器1和光路轉(zhuǎn)換裝置2之間的光路上。具體的:波片6以垂直于空間輸出激光器1輸出的激光光束的方式設(shè)置于空間輸出激光器1和光路轉(zhuǎn)換裝置2之間。

波片為四分之一波片,所述波片的快軸方向角θ與所述激光光束的線偏振方向角成正45度角或負(fù)45度角,用于將線偏振光轉(zhuǎn)換成右旋或左旋圓偏振光。

實(shí)施例二

圖3是實(shí)施例二中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖。實(shí)施例二與實(shí)施例一的不同之處是,消極化偏振拉曼探頭還包括以垂直于空間輸出激光器1輸出的激光光束的方式設(shè)置于空間輸出激光器1和光路轉(zhuǎn)換裝置2之間的凈化濾光片7,凈化濾光片7可以凈化激光波長(zhǎng)成分,濾除雜光干擾。波片6以垂直于空間輸出激光器1輸出的激光光束的方式設(shè)置于空間輸出激光器1和凈化濾光片7之間,或者,波片6以垂直于空間輸出激光器1輸出的激光光束的方式設(shè)置于凈化濾光片7與光路轉(zhuǎn)換裝置2之間。

實(shí)施例三

圖4是實(shí)施例三中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖。實(shí)施例三與實(shí)施例二的不同之處是,消極化偏振拉曼探頭還包括設(shè)置于光路轉(zhuǎn)換裝置2和耦合濾光裝置4之間的陷波濾光片8,此陷波濾光片8用于阻隔采集回來(lái)的瑞麗散射散射光,用于消除干擾波段的雜散光信號(hào)。

下面說(shuō)明消極化偏振拉曼探頭的另一種構(gòu)成方式。實(shí)施例一、二、三中波片6設(shè)置于空間輸出激光器1和光路轉(zhuǎn)換裝置2之間的光路上,而下述實(shí)施例中波片6設(shè)置于光路轉(zhuǎn)換裝置2和聚集采集裝置3的焦點(diǎn)之間的光路上。

實(shí)施例四

圖5是實(shí)施例四中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖。實(shí)施例五中,波片6以垂直于光路轉(zhuǎn)換裝置2的反射激光光束的方式設(shè)置于光路轉(zhuǎn)換裝置2和聚集采集裝置3之間。

實(shí)施例五

圖6是實(shí)施例五中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖。實(shí)施例五與實(shí)施例四的不同之處是,消極化偏振拉曼探頭還包括以垂直于空間輸出激光器1輸出的激光光束的方式設(shè)置于空間輸出激光器1和光路轉(zhuǎn)換裝置2之間的凈化濾光片7和/或設(shè)置于光路轉(zhuǎn)換裝置2和耦合濾光裝置4之間的陷波濾光片8。

實(shí)施例六

圖7是實(shí)施例六中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖。實(shí)施例六中波片6設(shè)置于聚集采集裝置3的光束匯聚側(cè)。

實(shí)施例七

圖8是實(shí)施例七中消極化偏振拉曼探頭的結(jié)構(gòu)圖。實(shí)施例七與實(shí)施例六的不同之處是,消極化偏振拉曼探頭還包括以垂直于空間輸出激光器1的激光光束的方式設(shè)置于空間輸出激光器1和光路轉(zhuǎn)換裝置2之間的凈化濾光片7和/或設(shè)置于光路轉(zhuǎn)換裝置2和耦合濾光裝置4之間的陷波濾光片8。

上述實(shí)施例中,波片6用于將線偏振光或橢圓偏振光轉(zhuǎn)換成右旋或左旋圓偏振光。光路轉(zhuǎn)換裝置2典型的為二向色性邊緣濾光片,用于反射激光并透射信號(hào)光。聚集采集裝置3典型的為聚焦采集透鏡,用于將激光匯聚至樣品出,同時(shí)采集樣品反射的光信號(hào)光并準(zhǔn)直成平行光。耦合濾光裝置4典型的為耦合透鏡,用于將采集到的信號(hào)光耦合進(jìn)光譜儀。

實(shí)施例八

圖9是實(shí)施例八中光譜探測(cè)方法,對(duì)應(yīng)于實(shí)施例一中消極化偏振拉曼探頭光譜探測(cè)方法包括:

步驟901,在聚集采集裝置3的焦點(diǎn)處放置樣品;

步驟902,使用空間輸出激光器1輸出長(zhǎng)軸方向和短軸方向發(fā)散角不一致的激光光束;所述激光光束為線偏振光;使激光光束經(jīng)由波片6透射到光路轉(zhuǎn)換裝置2處;通過(guò)光路轉(zhuǎn)換裝置2將激光光束反射到聚集采集裝置3,聚集采集裝置3將光路轉(zhuǎn)換裝置2反射后的光束聚集在放置有樣品的焦點(diǎn)處并采集從樣品散射回的光束;光路轉(zhuǎn)換裝置2透射從聚集采集裝置3透射回的光束;

步驟903,耦合濾光裝置4將采集到的光束進(jìn)行光耦合后將形成的條形光斑聚集在光譜儀5的狹縫處。

所述波片6為四分之一波片,所述波片6的快軸方向角θ與所述激光光束的線偏振方向角成正45度角或負(fù)45度角,用于將線偏振光轉(zhuǎn)換成右旋或左旋圓偏振光。

對(duì)應(yīng)于實(shí)施例二和實(shí)施例三中消極化偏振拉曼探頭,步驟2中,使激光光束經(jīng)由波片6透射到光路轉(zhuǎn)換裝置2處包括:使激光光束經(jīng)由波片6和凈化濾光片7或者經(jīng)由凈化濾光片7和波片6透射到光路轉(zhuǎn)換裝置2處。

實(shí)施例九

圖10是實(shí)施例九中光譜探測(cè)方法,對(duì)應(yīng)于實(shí)施例四、六中消極化偏振拉曼探頭,此光譜探測(cè)方法包括:

步驟1001,在聚集采集裝置3的焦點(diǎn)處放置樣品;

步驟1002,使用空間輸出激光器1長(zhǎng)軸方向和短軸方向發(fā)散角不一致的激光光束;所述激光光束為線偏振光;通過(guò)光路轉(zhuǎn)換裝置2將激光光束進(jìn)行反射,經(jīng)由波片6和聚集采集裝置3或者經(jīng)由聚集采集裝置3和波片6使聚集采集裝置將所述光路轉(zhuǎn)換裝置2反射后的光束聚集在放置有樣品的焦點(diǎn)處并透射從樣品散射回的光束;光路轉(zhuǎn)換裝置2透射從樣品散射回的光束;

步驟1003,耦合濾光裝置4將采集到的光束進(jìn)行光耦合后將形成的條形光斑聚集在光譜儀5的狹縫處。

對(duì)應(yīng)于上述實(shí)施例中包括陷波濾光片8的消極化偏振拉曼探頭,上述方法實(shí)施例中的方法還包括:陷波濾光片8接收光路轉(zhuǎn)換裝置2透射的光束并透射輸出至耦合濾光裝置4。

本發(fā)明采用與狹縫方向平行的非軸對(duì)稱空間條形光斑輸出模式的激光器設(shè)計(jì),使激光長(zhǎng)軸方向和短軸方向的發(fā)散角與狹縫匹配,使匯聚后同樣能量的激光能量由圓形區(qū)域分布變?yōu)闂l形區(qū)域分布,并且對(duì)激光光束進(jìn)行消極化處理,可以提高光譜儀耦合效率,提高系統(tǒng)采集效率;降低器件及儀器的成本,提高系統(tǒng)的容差性能;降低匯聚激光光斑的功率密度,防止熱積累和樣品灼燒;采樣范圍更大,更適合對(duì)固體混合物樣品及稀疏樣品的采樣。本發(fā)明的方案可以有效對(duì)激光光束進(jìn)行消極化處理,并且成本低,對(duì)激光光束的尺寸無(wú)要求,損傷閾值高。

上面描述的內(nèi)容可以單獨(dú)地或者以各種方式組合起來(lái)實(shí)施,而這些變型方式都在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

需要說(shuō)明的是,在本文中,術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的物品或者設(shè)備不僅包括那些要素,而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下,由語(yǔ)句“包括……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制,僅僅參照較佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換,而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的精神和范圍,均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。

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