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一種真空設備的旋轉導入器的制作方法

文檔序號:12465050閱讀:190來源:國知局

本發(fā)明涉及真空設備領域,具體涉及一種真空設備的旋轉導入器。



背景技術:

現(xiàn)有技術中,為了實現(xiàn)在真空環(huán)境中的各項研究分析,通常將探測用的電極連接在旋轉導入軸上,其電極引線也直接與旋轉導入軸共同安裝在導入座上,按照該方法進行電極的安裝,在使用過程中,電極會隨導入軸的旋轉而旋轉,從而極易導致電極引線纏繞在導入軸上,不利于檢測,為此,急需解決上述問題。



技術實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的是提供一種真空設備的旋轉導入器,其解決了現(xiàn)有技術中存在的問題,在導入器中引入了電極,并且該電極的引線不會纏繞在導入軸上,便于檢測,同時可實現(xiàn)導入軸的高速、連續(xù)旋轉。

為達到上述目的,本發(fā)明采用的技術方案是:一種真空設備的旋轉導入器,包括真空腔、密封地插設在所述真空腔內的導入座、安裝在所述導入座上且沿自身軸心線方向旋轉地插設在所述真空腔內的導入軸,所述導入器還包括安裝在所述導入軸的徑向方向上的若干電極,所述電極相對所述導入軸固定的安裝在所述真空腔內,所述電極與所述導入軸間相絕緣設置,所述導入器還包括密封地插設在所述真空腔內的引線柱,所述電極通過引線連接在所述引線柱上。

優(yōu)選地,所述電極通過軸承套設在所述導入軸的徑向外側部上,所述軸承包括外環(huán)、能夠相對所述外環(huán)旋轉的內環(huán),所述內環(huán)與外環(huán)間相互導電,所述軸承的內環(huán)緊密地套設在所述導入軸的徑向外側部上且隨所述導入軸的旋轉而旋轉,所述軸承的內環(huán)與所述導入軸相絕緣設置,所述軸承的外環(huán)上安裝有所述電極且所述軸承的外環(huán)相對所述導入軸固定在所述真空腔內。

進一步優(yōu)選地,所述電極或所述軸承的外環(huán)通過固定件固定安裝在所述真空腔內,所述電極與所述固定件間或所述軸承的外環(huán)與所述固定件間相絕緣設置。

當導入軸能夠沿其自身軸向向真空腔內伸入或縮回時,為了防止固定件磨損,這里所述的固定件是由柔性材料制成的。

進一步優(yōu)選地,所述導入軸的輸出端部上還固設有能夠隨所述導入軸的旋轉而旋轉的實驗臺,所述軸承的內環(huán)與所述實驗臺間還連接有引線。

優(yōu)選地,所述導入軸的徑向外側部上套設有絕緣片,用于防止所述導入軸與所述電極間發(fā)生導電。

優(yōu)選地,所述導入座與所述真空腔的腔壁間、所述引線柱與所述真空腔的腔壁間均分別通過密封圈相密封設置。

由于上述技術方案的運用,本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比具有下列優(yōu)點:本發(fā)明的旋轉導入器,通過將電極相對固定地安裝在導入軸上,并將電極通過引線連接在引線柱上從而將電極信號引出真空腔外,這里,通過該設置,使得電極不會隨導入軸的旋轉而旋轉,電極上的引線不會纏繞在導入軸上,不會出現(xiàn)引線斷裂的情況發(fā)生,使得導入軸能夠高速、連續(xù)的進行旋轉,同時降低了電極的維護率,且該結構簡單、操作方便,增加了實驗的可能性及提高了實驗的持續(xù)性。

附圖說明

附圖1為本發(fā)明所述的真空設備的旋轉導入器的結構示意圖;

其中:1、真空腔;2、導入座;21、導入軸;22、實驗臺;3、電極;4、引線;5、引線柱;6、固定件;7、軸承;71、外環(huán);72、內環(huán);8、絕緣片;9、密封圈。

具體實施方式

下面結合附圖來對本發(fā)明的技術方案作進一步的闡述。

參見圖1所述,一種真空設備的旋轉導入器,包括真空腔1、密封地插設在真空腔1內的導入座2、安裝在導入座2上且沿自身軸心線方向旋轉的插設在真空腔1內的導入軸21,該導入器還包括安裝在導入軸21徑向方向上的若干電極3,該電極3相對導入軸21固定的安裝在真空腔1內,該電極3與導入軸21間相絕緣設置,導入器還包括密封地插設在真空腔1內的引線柱5,電極3通過引線4連接在引線柱5上,從而將信號引出真空腔1外進行檢測分析。

這里,該導入座2上與真空腔1的腔壁上均固設有一密封法蘭,通過兩片法蘭及設于該兩片法蘭間的密封圈9使導入座2密封地插設在真空腔1內;同樣的,該引線柱5與也是通過該設置方式密封地插設在真空腔1內的。

本例中,該電極3通過軸承7套設在導入軸21的徑向外側部上,該軸承7包括外環(huán)71、相對外環(huán)71繞自身軸心線方向旋轉的內環(huán)72,該內環(huán)72與外環(huán)71間相互導電,這里,該軸承7可以是滾動軸承也可以是滑動軸承。該軸承的內環(huán)72緊密地套設在導入軸21的徑向外側部上且隨導入軸21的旋轉而旋轉,該軸承的內環(huán)72與導入軸21相絕緣設置,該軸承的外環(huán)71上安裝有電極3且該軸承的外環(huán)71相對導入軸21固定在真空腔1內。通過該設置,使得當導入軸21旋轉時,電極3固定在真空腔1內不隨導入軸21的旋轉而旋轉,從而不會導致連接在電極3上的引線4纏繞在導入軸21上的現(xiàn)象發(fā)生,使得導入軸21能夠高速、連續(xù)的旋轉,提高了實驗的持續(xù)性。當然也可采用如下結構:套設在導入軸21徑向外側的、隨導入軸21旋轉而旋轉的導電環(huán)片及滑動地連接在環(huán)片徑向外側部上的電刷,環(huán)片與導入軸21電絕緣,而后將電極3安裝在電刷上,通過上述設置,也可實現(xiàn)電極3相對導入軸21固定地安裝在真空腔1內。

這里,為了確保電極3能相對導入軸21固定地安裝在真空腔1內,該電極3或軸承的外環(huán)71通過固定件6固定安裝在真空腔1內,該電極3與固定件6間或軸承的外環(huán)71與固定件6間相絕緣設置。若導入軸21為直線旋轉導入軸21時,為了防止固定件6在導入軸21沿其軸向向真空腔1內延伸或縮回過程中發(fā)生斷裂,這里,該固定件6采用了柔性材料制成。

為了防止電極3與導入軸21間發(fā)生導電現(xiàn)象,這里,在導入軸21的徑向外側部上套設有絕緣片8,具體的,絕緣片8位于導入軸21與軸承的內環(huán)72間。

這里,為了在真空腔1內實現(xiàn)檢測,在導入軸21的輸出端部上固設有能夠隨導入軸21的旋轉而旋轉的實驗臺22,該軸承的內環(huán)72與實驗臺22間也連接有引線4,電極3通過外環(huán)、內環(huán)引線4將信號傳輸至實驗臺22上,完成檢測,該設置方式增加了實驗的可能性。

上述實施例只為說明本發(fā)明的技術構思及特點,其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本發(fā)明的內容并據(jù)以實施,并不能以此限制本發(fā)明的保護范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實質所作的等效變化或修飾,都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內。

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