1.一種基于空芯光纖的微納光纖振動(dòng)傳感器,其特征在于:包括:單模光纖(1),空芯光纖(2),實(shí)芯光纖(3);單模光纖(1)、空芯光纖(2)和實(shí)芯光纖(3)順序熔接;所述空芯光纖(2)為中空圓柱體,且在圓柱體側(cè)面中心處開設(shè)槽口;該槽口的軸向長度需小于中空圓柱體的長度;所述槽口是通過用飛秒激光從空芯光纖(2)側(cè)面燒蝕形成的。
2.如權(quán)利要求1所述的一種基于空芯光纖的微納光纖振動(dòng)傳感器,其特征在于:所述空芯光纖(2)的長度為100μm-2000μm,外徑與單模光纖(1)外徑相同或接近,內(nèi)徑為10μm-100μm;所述實(shí)芯光纖(3)長度為100μm-5000μm。
3.如權(quán)利要求1所述的一種基于空芯光纖的微納光纖振動(dòng)傳感器,其特征在于:所述燒蝕垂直深度為空芯光纖(2)直徑的10%-90%。
4.加工如權(quán)利要求1所述的一種基于空芯光纖的微納光纖振動(dòng)傳感器的方法,其特征在于:具體步驟為:
步驟一、單模光纖(1)和空芯光纖(2)熔接;;
步驟二、切除多余的空芯光纖(2);
步驟三、空芯光纖(2)和實(shí)芯光纖(3)熔接;
步驟四、切除多余的實(shí)芯光纖(3);
步驟五、端面粗糙化處理;
步驟六、飛秒激光燒蝕空芯光纖(2)。
5.如權(quán)利要求1至3任意一項(xiàng)所述的一種基于空芯光纖的微納光纖振動(dòng)傳感器,其特征在于:工作過程為:探測光由單模光纖(1)導(dǎo)入,在單模光纖(1)與空芯光纖(2)的熔接面(5)形成第一次菲涅爾反射,在空芯光纖(2)與實(shí)芯光纖(3)熔接面(6)形成第二次菲尼爾反射,兩次反射形成雙光束干涉,反射光通過單模光纖(1)導(dǎo)出至解調(diào)儀;當(dāng)所述傳感器受到垂直于懸臂梁(4)方向的振動(dòng)時(shí),實(shí)芯光纖(3)作為質(zhì)量塊帶動(dòng)懸臂梁(4)產(chǎn)生微彎,從而改變干涉儀的光程差,從而形成干涉型光纖振動(dòng)傳感器。