本發(fā)明涉及一種用于檢測(cè)基板破損的方法。

背景技術(shù)：

基板在投入的過程中，設(shè)備根據(jù)基板的O/F 角(用來識(shí)別基板方向的缺角)，來判斷投入CASSETTE (料盒)的方向。由購(gòu)買來的ALIGNMENT TABLE (對(duì)位平臺(tái))上，只有一個(gè)檢測(cè)O/F 角的傳感器，假設(shè)基板除了O/F角以外，其余三個(gè)角有一定的小破損或者此枚基板在投入前方向已經(jīng)錯(cuò)誤的話，那么根據(jù)由安川機(jī)械手購(gòu)買來的ALINMENT TABLE (對(duì)位平臺(tái))的單一個(gè)O/F 傳感器的話，即識(shí)別不了基板方向錯(cuò)誤，更不能識(shí)別基板有破碎，這枚即方向錯(cuò)又破碎的基板(人眼發(fā)現(xiàn)不了)情況下投入生產(chǎn)，這樣就必定影響生產(chǎn)，破壞設(shè)備。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種能夠在投入基板時(shí)檢測(cè)基板破損的方法。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:

一種基板破損檢測(cè)方法，其特征在于，其在與基板四角對(duì)應(yīng)的位置分別設(shè)有一個(gè)傳感器。

其中，各該傳感器為光傳感器，其在未被遮光時(shí)發(fā)出破損報(bào)警，且各該傳感器設(shè)置在被測(cè)基板的對(duì)角線上。

各該傳感器所設(shè)置的位置與被測(cè)基板的邊的距離最小為7 毫米。

各該傳感器沿被測(cè)基板的對(duì)角線相對(duì)于基板的位移最大為40 毫米。

本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于:能夠檢測(cè)基板四角的破損，避免四角破損的基板進(jìn)入生產(chǎn)線。

附圖說明

圖1 為本發(fā)明實(shí)施例中傳感器設(shè)置位置示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖給出本發(fā)明較佳實(shí)施例，以詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)方案。

一種基板破損檢測(cè)方法，其特征在于，其在與基板2 的四角對(duì)應(yīng)的位置分別設(shè)有一個(gè)傳感器1，其中，各該傳感器為光傳感器。這四個(gè)傳感器與O/F 角檢測(cè)的傳感器3的不同點(diǎn)在與: O/F 角傳感器是在沒有基板遮光的情況下才是正常狀態(tài)，一旦有基板或物體對(duì)此傳感器遮光了就立即報(bào)警:而添加的四個(gè)傳感器是在被基板遮光的情況是正常狀態(tài)，在未被遮光時(shí)發(fā)出報(bào)警，如果傳感器的發(fā)射光沒有被基板擋住，就檢測(cè)此角已經(jīng)破碎。

如圖1 所示，各該傳感器設(shè)置在被測(cè)基板的對(duì)角線上。各該傳感器所設(shè)置的位置與被測(cè)基板的邊的距離Ll 最小為7 毫米。

并且，各該傳感器沿被測(cè)基板的對(duì)角線相對(duì)于基板的位移L2 最大為40毫米，即，各該傳感器可沿被測(cè)基板的對(duì)角線在40 厘米的范圍內(nèi)相對(duì)于被測(cè)基板移動(dòng)。