技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種溫度自補償型光纖EFPI超聲波傳感器的制作方法。該制作方法主要包括傳感器頭單元的制作和傳感器的裝配，先將膜片焊接在毛細管的端部，然后將光纖固定在套頭支架內(nèi)，再將光纖和套頭支架從毛細管的另一端置入毛細管內(nèi)并最后將套頭支架與毛細管焊接固定，使膜片的內(nèi)表面、光纖的前端面以及毛細管的內(nèi)表面共同界定形成一個法布里-帕羅腔；最后將所述制作好的傳感器頭單元裝配至傳感器體單元的內(nèi)部并封裝固定。該制作方法提高了傳感器批量制作的一次成功率和性能一致性，提高傳感器可靠性和使用壽命。也實現(xiàn)F-P腔腔長的精確定位和精確的定點焊接，保證對超聲波信號有很高的靈敏度和測量精度。

技術(shù)研發(fā)人員：楊志強;王偉;郭晨華
受保護的技術(shù)使用者：楊志強
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.08
技術(shù)公布日：2017.07.18