技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
在現(xiàn)有的空氣流量計中，對于粒徑較大的異物利用慣性力來應(yīng)對接觸檢測元件，但是對于粒徑在10μm以下的質(zhì)量非常小的異物，存在在旁通結(jié)構(gòu)內(nèi)部慣性力幾乎不起作用而附著在檢測元件上的可能性。另外，上述粒徑在10μm以下的質(zhì)量非常小的異物主要可列舉美國SAE標(biāo)準(zhǔn)J726C中規(guī)定的AC粉塵等，是對美國亞利桑那的沙漠的沙進(jìn)行精煉而制造的，已知該沙(沙塵)易于帶電，存在帶有靜電的粒徑較小的粉塵附著在檢測元件上時，因其庫侖力而難以脫離的課題。上述課題能夠用以下特征的熱式流量傳感器解決，其包括檢測流量的半導(dǎo)體元件，該半導(dǎo)體元件在硅等半導(dǎo)體基片上形成絕緣層和電阻配線層，存在除去上述基片的一部分而薄膜化的區(qū)域(薄膜)，在該薄膜區(qū)域內(nèi)設(shè)置至少一個以上的加熱電阻體(加熱部)，在其上游和下游配置有檢測溫度差的測溫電阻體，在半導(dǎo)體元件上形成導(dǎo)電性膜，以使上述薄膜內(nèi)的配線電阻周邊區(qū)域中的向空氣流暴露的表面一側(cè)的電位成為任意的固定電位。

技術(shù)研發(fā)人員：土井良介;田代忍;小野瀬保夫;佐久間憲之
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日立汽車系統(tǒng)株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.18
技術(shù)公布日：2017.08.01