技術特征：

技術總結
本發(fā)明涉及一種電容式力傳感器(1)，具有基面體(2)、平面的且可彈性變形的膜片體(3)、布置于基面體和膜片體(3)之間的彼此隔開的兩個隔片(4)，其中膜片體(3)通過隔片(4a、4b)支撐在基面體(2)上并且膜片體(3)至少超出于一個隔片(4a)并形成一自由端(5)，并且在隔片(4a、4b)之間的區(qū)域中于膜片體(3)和基面體(2)之間構成了空腔(8)，使得在隔片(4a、4b)之間的區(qū)域對膜片體(3)施加力F時膜片體(3)能夠彎曲，并且其中在自由端(5)上設置第一電極，在基面體上設置第二電極(7)，其中第一電極和第二電極構成了一個測量電容隨力F的作用而變化的測量電容器(9)，以及還設置了讓第一電極和第二電極產生電接觸的裝置(6)。

技術研發(fā)人員：T·舒爾特海斯;J·丁寧格爾
受保護的技術使用者：普瑞有限公司
技術研發(fā)日：2015.11.09
技術公布日：2017.08.18