1.一種泄漏檢測裝置，用于測量測試腔室(10)和參考腔室之間的壓差，所述參考腔室可以被第一止回閥(24)以氣密的方式與所述測試腔室(10)分隔；其中壓差傳感器(34)被連接到所述參考腔室以及所述測試腔室(10)，以便測量所述參考腔室的內(nèi)部壓力和所述測試腔室(10)的內(nèi)部壓力之間的壓差；其特征在于，所述測試腔室(10)和所述參考腔室都具有至少一個由柔性薄膜形成的腔壁區(qū)域，其中所述測試腔室的體積(20)與所述測試腔室(10)的鄰近于所述測試腔室的體積(20)的所述柔性腔壁區(qū)域的表面積的比值和所述參考腔室的體積與所述參考腔室的鄰近于所述參考腔室的體積的所述柔性腔壁區(qū)域的表面積的比值基本相等。
2.如權(quán)利要求1所述的泄漏檢測裝置，其特征在于，所述測試腔室(10)和所述參考腔室都被形成為薄膜腔室。
3.如權(quán)利要求1或2所述的泄漏檢測裝置，其特征在于，所述參考腔室的體積小于或等于所述測試腔室的體積(20)。
4.如前述的權(quán)利要求中的一項所述的泄漏檢測裝置，其特征在于，所述測試腔室(10)和所述參考腔室具有相似的設(shè)計。
5.如前述的權(quán)利要求中的一項所述的泄漏檢測裝置，其特征在于，所述測試腔室(10)和所述參考腔室的鄰近于對應的內(nèi)部體積(20、28)的所述柔性腔壁區(qū)域的內(nèi)側(cè)都設(shè)有非紡織層。
6.如前述的權(quán)利要求中的一項所述的泄漏檢測裝置，其特征在于，所述測試腔室(10)和所述參考腔室的腔室體積與它們的所述柔性腔壁區(qū)域的表面積的比值相差最多20％，優(yōu)選地相差最多5％。
7.如前述的權(quán)利要求中的一項所述的泄漏檢測裝置，其特征在于，所述第一止回閥(24)和所述參考腔室被通過第二止回閥(30)連接到真空泵(32)，所述真空泵用于抽空所述測試腔室(10)和所述參考腔室。
8.一種使用如前述權(quán)利要求所述的泄漏檢測裝置測量測試腔室(10)和參考腔室之間的壓差的方法，其特征在于：
兩個止回閥(24、30)都被打開，從而利用真空泵(32)抽空所述測試腔室(10)和所述參考腔室；
當在所述第一腔室(10)內(nèi)達到預設(shè)的壓力時，所述第二止回閥(30)被關(guān)閉；以及
在所述壓差測量開始之前，所述第一止回閥(24)被關(guān)閉。