本發(fā)明涉及pH檢測裝置等電化學(xué)檢測裝置中使用的參比電極。

背景技術(shù)：

以pH檢測裝置為代表的使用玻璃電極法的電化學(xué)檢測裝置中具備檢測電極和參比電極。作為參比電極有各種結(jié)構(gòu)，但例如專利文獻(xiàn)1所示，在參比電極的內(nèi)部液體室中，內(nèi)部電極以從下端向上方延伸的方式配置，在該內(nèi)部液體室的上部空間形成檢測液體沿水平流動(dòng)的流路，且在該流路與內(nèi)部液體室之間設(shè)有間隔壁。在該間隔壁設(shè)置上下貫通的圓柱狀的液體聯(lián)絡(luò)部，該液體聯(lián)絡(luò)部的上部開口。該開口配置成與檢測液體的流動(dòng)平行，因此在該情況下，當(dāng)檢測液體中含有氣泡時(shí)，沿流路流來的氣泡有時(shí)被該開口整體掛住而停留在此。如此一來，存在這些氣泡隔斷液體聯(lián)絡(luò)部中檢測液體與內(nèi)部液體之間的導(dǎo)通、導(dǎo)致檢測液體的電位檢測無法進(jìn)行或變得不穩(wěn)定的問題。

此外，在液體聯(lián)絡(luò)部整體設(shè)有布等纖維狀的導(dǎo)通用部件的情況下，有時(shí)氣泡掛在該布上并停留在該布上，在此情況下，由于該氣泡隔斷液體聯(lián)絡(luò)部中檢測液體與內(nèi)部液體之間的導(dǎo)通，有時(shí)也引起上述問題。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1:日本實(shí)用新型申請公開公報(bào)昭59－183655號

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明主要目的在于解決上述問題，即使在檢測液體中混有氣泡的情況下，在液體聯(lián)絡(luò)部也能夠維持內(nèi)部液體與檢測液體的導(dǎo)通，能夠穩(wěn)定地進(jìn)行檢測液體的電位檢測。

即，本發(fā)明涉及的參比電極包括：主體，其具備內(nèi)部液體室和液體聯(lián)絡(luò)部，所述內(nèi)部液體室收容內(nèi)部液體，所述液體聯(lián)絡(luò)部以使所述內(nèi)部液體與作為檢測對象的檢測液體接觸的方式配置于所述內(nèi)部液體室；內(nèi)部電極，其配置于所述內(nèi)部液體室內(nèi)，所述液體聯(lián)絡(luò)部包括導(dǎo)通用部件和與所述導(dǎo)通用部件鄰接的開口，所述導(dǎo)通用部件是由多孔質(zhì)或纖維狀的部件形成。

若為此種結(jié)構(gòu)，則由于液體聯(lián)絡(luò)部包括導(dǎo)通用部件和與該導(dǎo)通用部件鄰接的開口，因此當(dāng)檢測液體流入液體聯(lián)絡(luò)部時(shí)，易向流體阻力比導(dǎo)通用部件小的開口側(cè)流入，在檢測液體含有氣泡的情況下，按照該流動(dòng)，氣泡更易停留在該開口。

因此，導(dǎo)通用部件不會(huì)被氣泡覆蓋，檢測液體浸透導(dǎo)通用部件的多孔質(zhì)或纖維，與內(nèi)部液體接觸并維持檢測液體與內(nèi)部液體的導(dǎo)通，因此能夠穩(wěn)定地進(jìn)行檢測液體的電位檢測。

如果使開口的大小比所述導(dǎo)通用部件具有的微細(xì)孔的大小更大，則能夠可靠地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的效果。

此外，由于檢測液體中含有的氣泡，為了使氣泡更不易停留在與檢測液體接觸的導(dǎo)通用部件的端部，在所述導(dǎo)通用部件中，優(yōu)選與所述檢測液體接觸的端部配置成與所述開口大致在同一平面，或者比所述開口更向所述檢測液體側(cè)突出。尤其是當(dāng)所述開口是在所述檢測液體流動(dòng)的流路開口的情況下，若所述導(dǎo)通用部件比所述開口更向所述檢測液體側(cè)突出，則由于所述導(dǎo)通用部件的端部而縮窄所述流路，從而能夠加快所述檢測液體的流速。由此，氣泡更加難以停留在導(dǎo)通用部件的端部。此時(shí)，期望所述導(dǎo)通用部件突出到所述流路的斷面中心(斷面圓形的流路情況下為圓的中心)。

此外，為了即使在液體聯(lián)絡(luò)部整體貯留有氣泡的情況下，內(nèi)部液體也能夠浸透導(dǎo)通用部件，優(yōu)選所述導(dǎo)通用部件在所述內(nèi)部電極方向上延伸設(shè)置。

此外，作為所述開口配置中的一具體方式可以舉出如下方式，當(dāng)所述檢測液體在收容所述檢測液體的檢測液體收容部中沿一個(gè)方向流動(dòng)時(shí)，所述開口配置在所述檢測液體流動(dòng)的下游側(cè)。

作為導(dǎo)通用部件在內(nèi)部液體室中配置的一具體方式可以舉出如下方式，所述內(nèi)部液體室形成為，所述檢測液體收容部位于所述內(nèi)部液體室的上方，比所述內(nèi)部電極的上端更靠上方，且自所述內(nèi)部液體室的上端部至規(guī)定距離為止的所述內(nèi)部液體室的截面積小于比該規(guī)定距離所在位置更靠下方的截面積，所述導(dǎo)通用部件配置在距所述液體聯(lián)絡(luò)部所述規(guī)定距離之間。

所述參比電極優(yōu)選還包括：檢測液體收容部，其收容所述檢測液體；連接配管，其連接所述內(nèi)部液體室與所述檢測液體收容部，所述連接配管具備：底配管部；第一連通管部，從該底配管部的一端向上方延伸，并與所述檢測液體收容部連通；第二連通管部，從所述底配管部的另一端向上方延伸，并與所述內(nèi)部液體室連通，或者，所述連接配管具備：上配管部；第一連通管部，從該上配管部的一端向下方延伸，并與所述檢測液體收容部連通；第二連通管部，從所述上配管部的另一端向下方延伸，并與所述內(nèi)部液體室連通。

在檢測液體的比重比內(nèi)部液體大的情況下，當(dāng)連接配管設(shè)置在檢測液體收容部的鉛垂方向下側(cè)時(shí)，檢測液體壓下內(nèi)部液體，并從檢測液體收容部流入連接配管。但是，由于連接配管具備底配管部、第一連通管部和第二連通管部，且所述第一連通管部從該底配管部的一端向上方延伸，并與所述檢測液體收容部連通，所述第二連通管部從所述底配管部的另一端向上方延伸，并與所述內(nèi)部液體室連通，因此，檢測液體在該底配管部停止流入，從而能夠防止檢測液體進(jìn)入到內(nèi)部液體室的內(nèi)部，并能夠防止檢測液體腐蝕內(nèi)部液體室中收容的內(nèi)部電極。

此外，在檢測液體的比重比內(nèi)部液體小的情況下，當(dāng)連接配管設(shè)置在檢測液體收容部的鉛垂方向上側(cè)時(shí)，檢測液體頂起內(nèi)部液體，并從檢測液體收容部流入連接配管。但是，由于所述連接配管具備上配管部、第一連通管部和第二連通管部，且所述第一連通管部從該上配管部的一端向下方延伸，并與檢測液體收容部連通，所述第二連通管部從底配管部的另一端向下方延伸，并與內(nèi)部液體室連通，因此，檢測液體在該上配管部停止流入，從而能夠防止檢測液體進(jìn)入內(nèi)部液體室的內(nèi)部，并能夠防止檢測液體腐蝕內(nèi)部液體室中收容的內(nèi)部電極。

由此，按照本發(fā)明的參比電極，無論檢測液體的比重如何，都能夠防止內(nèi)部電極被腐蝕。

優(yōu)選所述連接配管連接于所述檢測液體收容部的鉛垂方向的下側(cè)。

若為這樣的結(jié)構(gòu)，在進(jìn)行校正時(shí)，能夠防止比重比內(nèi)部液體小的校正液體從檢測液體用配管流入連接配管，從而能夠防止校正液體腐蝕內(nèi)部電極。

優(yōu)選包括設(shè)置于所述連接配管內(nèi)部的保液部件，所述保液部件的一端與所述導(dǎo)通用部件接觸地設(shè)置，另一端設(shè)置于所述內(nèi)部液體室。

若為這樣的結(jié)構(gòu)，檢測液體或內(nèi)部液體浸入保液部件，由于保持它們相互接觸的狀態(tài)，從而維持檢測液體與內(nèi)部液體的導(dǎo)通，因此能夠穩(wěn)定地進(jìn)行檢測液體的電位檢測。作為具體的實(shí)施方式，所述保液部件為具有耐藥性的材料(例如)構(gòu)成的中空線。

按照如此構(gòu)成的本發(fā)明，在液體聯(lián)絡(luò)部設(shè)有導(dǎo)通用部件與開口，因此當(dāng)檢測液體流入液體聯(lián)絡(luò)部時(shí)，更易流入流體阻力比導(dǎo)通用部件小的開口側(cè)，在檢測液體含有氣泡的情況下，按照這種流動(dòng)方式，氣泡更易停留于該開口。

因此，導(dǎo)通用部件不會(huì)被氣泡覆蓋，檢測液體浸透導(dǎo)通用部件的多孔質(zhì)或纖維，與內(nèi)部液體接觸，并保持檢測液體與內(nèi)部液體的導(dǎo)通，因此能夠穩(wěn)定地進(jìn)行檢測液體的電位檢測。

附圖說明

圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式中的檢測系統(tǒng)的整體示意圖。

圖2是同一實(shí)施方式中的電極裝置的示意圖。

圖3是同一實(shí)施方式中的參比電極的局部放大圖。

圖4是同一實(shí)施方式中的參比電極的開口的俯視狀態(tài)下的示意圖。

圖5是表示同一實(shí)施方式中的pH檢測序列的示意圖。

圖6是另一實(shí)施方式中的電極裝置的示意圖。

圖7是再一實(shí)施方式中的電極裝置的局部放大圖。

圖8是又一另外實(shí)施方式中電極裝置的示意圖。

圖9是第二實(shí)施方式中的參比電極的立體圖。

圖10是第二實(shí)施方式中的參比電極的俯視圖。

圖11是第三實(shí)施方式中的參比電極的簡略圖。

圖12第四實(shí)施方式中的參比電極的簡略圖。

圖13第五實(shí)施方式中的參比電極的簡略圖。

附圖標(biāo)記說明

100…檢測系統(tǒng)

4、304、404、504…檢測電極

6、306、406、506…參比電極

7、307、407、507…電極裝置

10…流通泵

17…補(bǔ)充口

18…補(bǔ)充泵

36…第二內(nèi)部液體室

40…液體聯(lián)絡(luò)部

41…導(dǎo)通用部件

42…第二主體

45…開口

52…第一內(nèi)部液體室

54…第一主體

具體實(shí)施方式

＜第一實(shí)施方式＞

下面，參照附圖對本發(fā)明的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。

圖1表示本實(shí)施方式的檢測系統(tǒng)100。

該檢測系統(tǒng)100是用于連續(xù)監(jiān)測半導(dǎo)體制造過程、例如用于配線工序的清洗、Cu鍍敷液、CMP(化學(xué)機(jī)械研磨)等藥液等(以下也稱為“檢測液體”)的氫離子濃度等的檢測系統(tǒng)，包括：電極裝置7，檢測檢測液體9的pH值；檢測液體流通機(jī)構(gòu)3，使檢測液體9在電極裝置7中流通；內(nèi)部液體補(bǔ)充機(jī)構(gòu)5，向電極裝置7補(bǔ)充KCl溶液等內(nèi)部液體(權(quán)利要求1中記載的參比電極的內(nèi)部液體，以下稱為第二內(nèi)部液體。)；信息處理/控制機(jī)構(gòu)19，與電極裝置7、檢測液體流通機(jī)構(gòu)3及內(nèi)部液體補(bǔ)充機(jī)構(gòu)5連接、且在他們之間收發(fā)檢測數(shù)據(jù)和/或指令信號。需要說明的是，檢測系統(tǒng)100除了氫離子以外還能夠檢測例如鈉、鉀等離子濃度、或者二氧化碳和/或氧等氣體濃度(pCO₂、pO₂等)。

如圖2所示，電極裝置7包括：檢測電極4及參比電極6、和收容他們的框體23。

上述檢測電極4包括：具有第一內(nèi)部液體室52的第一主體54、及以從該第一主體54的下部在第一內(nèi)部液體室52中朝向上方延伸的方式安裝的內(nèi)部電極M，該第一內(nèi)部液體室52收容pH緩沖液等規(guī)定的內(nèi)部液體(以下稱為“第一內(nèi)部液體”)。

上述第一主體54由PVC(聚氯乙烯)、PP(聚丙烯)、PVDF(聚偏氟乙稀)等材質(zhì)形成，包括主部件54a和蓋體54b，主部件54a為上下延伸且上表面封閉、下表面開口的四棱柱狀，蓋體54b封閉該主部件的下表面開口。在該第一主體54的內(nèi)部形成的上述第一內(nèi)部液體室52形成為例如從下端至規(guī)定高度為恒定剖面形狀(例如圓柱形狀)，僅其上端部為越靠近上方截面形狀越縮小的錐狀。

上述內(nèi)部電極M例如由銀/氯化銀電極構(gòu)成，并安裝成其下端部貫通于蓋體54b，且該內(nèi)部電極M以從該蓋體54b在上述第一內(nèi)部液體室52中向上方延伸的方式立起。此外，內(nèi)部電極M的下端設(shè)置有接點(diǎn)而將其電流(電壓)信號向外部輸出。需要說明的是，對于內(nèi)部電極M，其下端部并不限于從蓋體54b延伸，也能以從主部件54a的側(cè)面在第一內(nèi)部液體室52向上方延伸的方式傾斜，或者例如構(gòu)成L狀。

進(jìn)而，在該實(shí)施方式中，該電極裝置7包括上述檢測液體9流動(dòng)的管體58。

對于該管體58，其整體由對氫離子響應(yīng)的響應(yīng)玻璃形成，并形成檢測液體流動(dòng)的第一流路62。該響應(yīng)玻璃含有規(guī)定量的鈧。管體58的形狀為毛細(xì)管狀，即，其長度相對于內(nèi)徑足夠長，例如，其內(nèi)徑為0.1mm至2mm左右，優(yōu)選0.5mm至1mm左右非常細(xì)的內(nèi)徑。此外，管體58的壁厚為0.1mm至1mm左右，優(yōu)選0.2mm左右，當(dāng)為此種壁厚時(shí)，成為響應(yīng)性優(yōu)良的響應(yīng)玻璃。此外，其外徑為0.3mm至4mm左右，優(yōu)選1mm至2mm左右的外徑。

上述管體58配置成水平地貫通第一主體54的上端部，并浸漬于第一內(nèi)部液體室52的第一內(nèi)部液體50。更具體地說，管體58配置成通過比內(nèi)部電極M的上端部更靠上方且第一內(nèi)部液體室52的恒定截面形狀部分。

需要說明的是，對于管體58，也可在浸漬于第一內(nèi)部液體50的局部使用響應(yīng)玻璃。

接下來，根據(jù)圖2對參比電極6進(jìn)行說明。

參比電極6包括：第二主體42(權(quán)利要求1中記載的參比電極的主體。)、內(nèi)部電極R和補(bǔ)充口17。第二主體42具有收容上述第二內(nèi)部液體15的內(nèi)部液體室(權(quán)利要求1中記載的參比電極的內(nèi)部液體室，以下稱為“第二內(nèi)部液體室”)。內(nèi)部電極R以從該第二主體42的下部在第二內(nèi)部液體室36中朝向上方延伸的方式安裝。補(bǔ)充口17形成于該第二主體42，與該第二內(nèi)部液體室36連通并補(bǔ)充第二內(nèi)部液體15。

該第二主體42還包括供上述檢測液體9在該第二主體42的上方水平流動(dòng)的流路(權(quán)利要求5中記載的參比電極的檢測液體收容部，以下稱為“第二流路”)和液體聯(lián)絡(luò)部40，液體聯(lián)絡(luò)部40以使上述第二內(nèi)部液體15與上述檢測液體9接觸的方式配置于上述第二內(nèi)部液體室36。該液體聯(lián)絡(luò)部40包括由多孔質(zhì)或纖維狀的部件形成的導(dǎo)通用部件41、和與該導(dǎo)通用部件41鄰接的開口45。

上述第二主體42與檢測電極4的第一主體54同樣由PVC等材質(zhì)形成，包括主部件42a和蓋體42b。主部件42a為上下延伸、上表面封閉且下表面開口的四棱柱狀，蓋體42b封閉該主部件的下表面開口。

形成于上述第二主體42的第二內(nèi)部液體室36，具有以從第二主體42的下部朝向上方延伸的方式形成的筒狀體，在比內(nèi)部電極R的上端部更靠上方、且從第二內(nèi)部液體室36的上端部43向下方的規(guī)定距離L1為止的截面積，小于比該規(guī)定距離L1所在位置更靠下方的截面積。進(jìn)而，從第二內(nèi)部液體室36的上端部43至規(guī)定距離L1為止的第二內(nèi)部液體室36的容量設(shè)定為比從補(bǔ)充口17補(bǔ)充的第二內(nèi)部液體15的量更少。該第二內(nèi)部液體室36的上端部43與上述第二流路64連接。需要說明的是，在該實(shí)施方式中，第二內(nèi)部液體室的上端部43為越向上方截面形狀越縮小的錐狀，但并不限定于此，也可為截面形狀恒定，只要檢測液體9與第二內(nèi)部液體15接觸即可。

需要說明的是，從第二內(nèi)部液體室36的上端部43至規(guī)定距離L1之間的截面積既可是恒定的，也可發(fā)生變化，只要形成為比該規(guī)定距離L1所在位置更靠下方部分的截面積更小即可。比規(guī)定距離L1所在位置更靠下方部分的截面積同樣即可是恒定，也可是發(fā)生變化。

此外，在上述第二主體42的上方形成有上述檢測液體9流動(dòng)的第二流路64。第二流路64水平地形成在上述第二主體42的上端部。

以使流經(jīng)該第二流路64的檢測液體9與第二內(nèi)部液體15接觸的方式形成后述的液體聯(lián)絡(luò)部40。在該實(shí)施方式中，在該第二流路64的內(nèi)側(cè)周面下方形成的連接孔49與上述第二內(nèi)部液體室36的上端部43相連接。本實(shí)施方式中，該連接孔49形成為具有大致圓形，但并不限定于此，也可是橢圓形或矩形。

需要說明的是，第二流路64形成于第二主體42的上方，但并不限定于此，也可形成在第二主體42的下方。此時(shí)，第二流路64借由連接孔49與第二內(nèi)部液體室36的下端部連接。

進(jìn)而，在該實(shí)施方式中，將檢測液體收容部設(shè)為檢測液體9流動(dòng)的流路，但檢測液體收容部并不限于流路，也可是貯存檢測液體9的容器，只要使第二內(nèi)部液體15與該容器內(nèi)的檢測液體9接觸即可。

接下來，根據(jù)圖3及圖4對液體聯(lián)絡(luò)部40進(jìn)行說明。該液體聯(lián)絡(luò)部40包括導(dǎo)通用部件41和與該導(dǎo)通用部件41鄰接的開口45。需要說明的是，開口45與導(dǎo)通用部件41鄰接是指，導(dǎo)通用部件41與開口45接觸配置的情況，或者還包括例如即使導(dǎo)通用部件41與開口45之間存在導(dǎo)通用部件41以外的部件時(shí)，開口45配置在如下程度靠近的位置處，即，接近液體聯(lián)絡(luò)部40的氣泡47不覆蓋導(dǎo)通用部件41而能夠停留在開口45。該靠近的位置更優(yōu)選是指，以比檢測液體9中包含的氣泡47更小的間隔配置的情況。

上述導(dǎo)通用部件41例如由陶瓷、聚乙烯、特氟隆(注冊商標(biāo))膜片等具有微細(xì)多個(gè)孔的多孔質(zhì)部件形成，并配置成與流經(jīng)上述第二流路的檢測液體9接觸。該導(dǎo)通用部件41為在上述內(nèi)部電極R方向延伸設(shè)置的棒狀或繩狀，配置在比上述內(nèi)部電極R的上端更靠上方、且從上述第二內(nèi)部液體室36的上端部43至上述第二內(nèi)部液體室36的上述規(guī)定距離L1之間。也就是說，導(dǎo)通用部件41的下端部在從上述上端部43至上述第二內(nèi)部液體室36的上述規(guī)定距離L1之間的任意位置均可，只要比上述內(nèi)部電極R的上端部更靠上方即可。

需要說明的是，當(dāng)導(dǎo)通用部件41為棒狀部件時(shí)，其下端部可利用粘接劑等粘接固定在第二內(nèi)部液體室36的內(nèi)壁面，或其上端部粘接在上述第二內(nèi)部液體室36的上端部43也可，或者其中間部粘接在第二內(nèi)部液體室36的內(nèi)壁面也可。此外當(dāng)導(dǎo)通用部件41為繩狀部件時(shí)，也可使其上端部利用粘接劑等粘接固定在上述第二內(nèi)部液體室36的上端部43，進(jìn)而其中間部粘接在第二內(nèi)部液體室36的內(nèi)壁面。

需要說明的是，上述導(dǎo)通用部件41為纖維狀部件時(shí)，例如是由化學(xué)纖維等形成的部件，且纖維與纖維之間具有微細(xì)的多個(gè)孔。

此外，在該實(shí)施方式中，上述導(dǎo)通用部件41配置成位于檢測液體9流動(dòng)的上游側(cè)，但并不限定于此，也可配置成位于檢測液體9流動(dòng)的下游側(cè)，或者，開口45以環(huán)狀圍繞導(dǎo)通用部件41周圍的方式配置也可。

進(jìn)而，如圖3的(a)所示，導(dǎo)通用部件41配置成其上端部比上述開口45更向上述第二流路64突出。在該實(shí)施方式中，導(dǎo)通用部件41的上端部具有朝向其上方變細(xì)的形狀，且配置成在第二流路64的徑向上突出到中心附近。需要說明的是，上端部的形狀并不限定于此，也可是帶圓的形狀，還可是大致平面狀的上端部。

此外，如圖3的(b)所示，對于導(dǎo)通用部件41，其上端部也可是配置成與開口45大致同一平面，此時(shí)，導(dǎo)通用部件41的上端部具有大致平面狀。需要說明的是，導(dǎo)通用部件41的上端部的形狀并不限定于此，其上端部可以是如圖3的(a)那樣尖細(xì)的形狀，或者也可是帶圓的形狀，只要其上端部位于與開口45大致同一平面的位置即可。

此外，并不限定于此，導(dǎo)通用部件41的上端部以在其上端部不滯留氣泡的程度配置在比開口45低的位置也可。

需要說明的是，作為導(dǎo)通用部件41的上端部的位置，與上述的配置在與開口45大致同一平面相比，優(yōu)選更容易進(jìn)行配置的比開口45更突出的狀態(tài)。

此外，構(gòu)成上述液體聯(lián)絡(luò)部40的開口45與上述第二內(nèi)部液體室36和上述第二流路64連接，且配置成具有尺寸a的寬度。該尺寸a是指在開口45中從導(dǎo)通用部件41至開口45邊緣為止的長度。此外，在開口45圍繞導(dǎo)通用部件41形成為環(huán)狀的情況下，尺寸a為該環(huán)狀的寬度方向的長度。

該尺寸a設(shè)定為比上述導(dǎo)通用部件41所具有的微細(xì)孔的大小更大。該微細(xì)孔具有多個(gè)大致圓形或大致矩形等各種形狀的孔。一般來說，由于氣泡上作用有表面張力而保持為球狀，因此作為容易使氣泡停留的孔的形狀例舉大致圓形或與其近似的形狀或橢圓形的孔。此外，較小的孔更難以使氣泡停留。因此，尺寸a設(shè)定為比導(dǎo)通用部件41的微細(xì)孔中、此種形狀的孔中最大的孔的直徑或長徑更大，若為此種狀態(tài)，則氣泡47停留在具有尺寸a的間隙側(cè)，從而能夠避免氣泡覆蓋導(dǎo)通用部件41。

需要說明的是，尺寸a并不限定于如此設(shè)定的尺寸，當(dāng)導(dǎo)通用部件41的微細(xì)孔的形狀為組合有圓形或矩形等形狀時(shí)，只要設(shè)定為比其圓形的孔的直徑或矩形的孔的對角線的長度之中最大的長度更大即可。也就是說，開口45的尺寸a只要設(shè)定為比導(dǎo)通用部件41所具有的微細(xì)孔更大即可。當(dāng)如此設(shè)定時(shí)，氣泡47停留在具有尺寸a的間隙側(cè)。

檢測液體9中包含的氣泡47是指例如檢測液體9在流路中流動(dòng)時(shí)由于壓力變動(dòng)而產(chǎn)生的氣泡、或檢測液體9中含有過氧化氫等易產(chǎn)生氣泡的物質(zhì)時(shí)，由該物質(zhì)導(dǎo)致產(chǎn)生的氣泡。

上述內(nèi)部電極R例如由銀/氯化銀電極構(gòu)成，其下端部貫通安裝在蓋體42b，且內(nèi)部電極R以從該蓋體42b在上述第二內(nèi)部液體室36向上方延伸的方式立起。此外，在內(nèi)部電極R的下端設(shè)有接點(diǎn)而將其電流(電壓)信號向外部輸出。需要說明的是，內(nèi)部電極R并不限于其下端部從蓋體42b延伸的結(jié)構(gòu)，也能以從主部件42a的側(cè)面在第二內(nèi)部液體室15中向上方延伸的方式傾斜，或者構(gòu)成為例如L狀。

在本實(shí)施方式中，上述補(bǔ)充口17設(shè)置在比該內(nèi)部電極R的上端部稍靠下方的位置，但可適當(dāng)變更，也可配置在更下方的例如能夠從第二內(nèi)部液體室36的底部補(bǔ)充第二內(nèi)部液體15的位置，或者也可配置成位于內(nèi)部電極R的中央或上方。

接下來，根據(jù)圖2對框體23進(jìn)行說明?？蝮w23例如是上方開口的呈四角箱狀的由樹脂、金屬等形成的框體，在該框體中從上方無晃動(dòng)地嵌入檢測電極4及參比電極6。

在該框體23的底板配置有內(nèi)部電極M及內(nèi)部電極R的各下端部分別接觸的接點(diǎn)部88、89。

此外，框體23的與檢測電極4相接一側(cè)的側(cè)板上形成有流入孔63，該流入孔63用于使檢測液體9流經(jīng)第一流路62并流入管體58，在與參比電極6相接的另一側(cè)的側(cè)板上形成有流出孔65，該流出孔65使流經(jīng)第二流路64的檢測液體9流出。進(jìn)而，在該另一側(cè)的側(cè)板還形成有使第二內(nèi)部液體15向補(bǔ)充口17流入的流入孔67。

如上所述，電極裝置7包括檢測電極4、參比電極6和框體23，檢測電極4及參比電極6以如下方式收容于框體23，即，流入孔63、第一流路62、第二流路64及流出孔65連通，進(jìn)而，補(bǔ)充口17及流入孔67連通。在此，檢測電極4及參比電極6例如通過未圖示的螺釘?shù)认嗷グ磯汗潭?，由此，第一流?2與第二流路64緊密接觸，檢測液體4不會(huì)從其之間泄漏。為了在第一流路62與第二流路64之間提高密合性，也可設(shè)置O形環(huán)等。此外，檢測電極4的管體58貫通第一主體54的部分以如下方式密封，即，利用粘接劑等來固定管體58，且第一內(nèi)部液體50不會(huì)從第一內(nèi)部液體室52泄漏。

接下來，根據(jù)圖1及圖2對檢測液體流通機(jī)構(gòu)3進(jìn)行說明。

檢測液體流通機(jī)構(gòu)3包括流入管12a、流出管12b及流通泵10。流入管12a使檢測液體9流入電極裝置7，流出管12b中流通通過電極裝置7流出的檢測液體9。流通泵10配置在流入管12a或流出管12b的規(guī)定位置，使檢測液體9流入及流出。

流入管12a的前端部插入框體23的流入孔63，與檢測電極4的管體58連接，并從其基端部注入檢測液體9。流入管12a的前端部與檢測電極4的管體58例如利用粘接劑等密合連接，以使檢測液體4不會(huì)泄漏地流入檢測電極4。

流出管12b的基端部插入框體23的流出孔65，與參比電極6的第二流路64連接，并從其前端部排出檢測液體9。流出管12b的基端部與參比電極6的第二流路64例如利用粘接劑等密合連接，以使檢測液體4不會(huì)泄漏地從第二流路64排出。

此外，流通泵10配置在流入管12a或流出管12b的規(guī)定位置，例如流出管12b的基端部與前端部之間。利用所述流通泵10的運(yùn)行使檢測液體9依次流經(jīng)流入管12a、檢測電極4、參比電極6，并流過流出管12b向檢測系統(tǒng)100外部排出。

接下來，根據(jù)圖1及圖2對內(nèi)部液體補(bǔ)充機(jī)構(gòu)5進(jìn)行說明。內(nèi)部液體補(bǔ)充機(jī)構(gòu)5包括：容器16，貯存第二內(nèi)部液體15；補(bǔ)充管20，連接該容器16與參比電極6，并向參比電極6補(bǔ)充第二內(nèi)部液體15；補(bǔ)充泵18，配置在補(bǔ)充管20的規(guī)定位置，使第二內(nèi)部液體15流通。補(bǔ)充管20的基端部與容器16連接，其前端部插入框體23的流入孔67，并與補(bǔ)充口17連接。補(bǔ)充管20的前端部與參比電極6的補(bǔ)充口17例如利用粘接劑等密合連接，以使第二內(nèi)部液體15不會(huì)泄漏地流入第二內(nèi)部液體室36。需要說明的是，補(bǔ)充管20與補(bǔ)充口17之間為了提高密合性也可設(shè)置O型環(huán)等。

補(bǔ)充泵18配置在補(bǔ)充管20的基端部與前端部之間，利用該補(bǔ)充泵18的運(yùn)行使第二內(nèi)部液體15從容器16流經(jīng)補(bǔ)充管20并經(jīng)由補(bǔ)充口17補(bǔ)充至參比電極6。

接下來，根據(jù)圖1及圖2，對信息處理/控制機(jī)構(gòu)19進(jìn)行說明。信息處理/控制機(jī)構(gòu)19例如包括：電位差計(jì)26，對由電極裝置7檢測到的檢測液體9的pH值進(jìn)行計(jì)算；驅(qū)動(dòng)電路34，具有使流通泵10及補(bǔ)充泵18運(yùn)行的電路；控制裝置29，具有對從電位差計(jì)26得到的信息進(jìn)行處理并將運(yùn)行信號等向驅(qū)動(dòng)電路34輸出的計(jì)算機(jī)及顯示器等。在本實(shí)施方式中，控制裝置29配置在殼體2的外部。需要說明的是，信息處理/控制機(jī)構(gòu)19自身也可配置在殼體2的外部。

電位差計(jì)26借由上述接點(diǎn)部88、89并利用內(nèi)部電極M配線22及內(nèi)部電極R配線24與電極裝置7中的檢測電極4的內(nèi)部電極M及參比電極6的內(nèi)部電極R電連接。由此，根據(jù)由內(nèi)部電極M及內(nèi)部電極R檢測到的各電位，由電位差計(jì)26檢測電極間的電位差。電位差計(jì)26借由外部連接端子28與控制裝置29電連接，控制裝置29利用其計(jì)算機(jī)根據(jù)電位差計(jì)26的輸出值計(jì)算出檢測液體9的pH值，并將該值顯示在顯示器上。計(jì)算出的pH值存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)的存儲(chǔ)介質(zhì)中，在必要時(shí)能夠進(jìn)行顯示。

驅(qū)動(dòng)電路34借由配線30、32與流通泵10及補(bǔ)充泵18電連接，驅(qū)動(dòng)電路34借由外部連接端子28與控制裝置29電連接。驅(qū)動(dòng)電路34根據(jù)來自控制裝置29的計(jì)算機(jī)的信號，控制流通泵10及補(bǔ)充泵18的運(yùn)行、停止，調(diào)節(jié)檢測液體9流經(jīng)電極裝置7的時(shí)機(jī)、量等。此外，控制第二內(nèi)部液體15的補(bǔ)充量或補(bǔ)充的時(shí)機(jī)等，以使檢測系統(tǒng)100能夠持續(xù)數(shù)個(gè)月、例如4個(gè)月至8個(gè)月左右連續(xù)工作。

接下來，根據(jù)圖5，對使用了該檢測系統(tǒng)100的檢測液體9的pH檢測的檢測序列進(jìn)行說明。P1線表示流通泵10的運(yùn)行開啟、停止，凸部表示開啟、凹部表示停止。P2同樣表示補(bǔ)充泵18的運(yùn)行開啟、停止。pH中，凸部表示進(jìn)行pH檢測的狀態(tài)，凸部表示未進(jìn)行的狀態(tài)。

起初，在進(jìn)行檢測電極4及參比電極6的校正之后(未圖示)，開始檢測。首先對檢測1進(jìn)行說明。在檢測1中，利用信息處理/控制機(jī)構(gòu)19，使內(nèi)部液體補(bǔ)充機(jī)構(gòu)5的流通泵10(P1)運(yùn)行規(guī)定時(shí)間，在流入管12a及流出管12b中流過檢測液體9，并使檢測液體9流入檢測電極4及參比電極6。此時(shí)的檢測液體9的導(dǎo)入量例如為數(shù)百μL左右。使檢測液體9流入檢測電極4及參比電極6后，暫時(shí)停止流通泵10。此時(shí)進(jìn)行pH檢測。

如此將檢測1中的流通泵10的運(yùn)行、停止、pH檢測這樣的工序作為1次檢測，重復(fù)n次檢測例如連續(xù)50～200次左右進(jìn)行pH檢測。pH檢測后，由信息處理/控制機(jī)構(gòu)19停止流通泵10，使補(bǔ)充泵18(P2)運(yùn)行規(guī)定時(shí)間，從容器16將KCl溶液等第二內(nèi)部液體15向參比電極6的第二內(nèi)部液體室36補(bǔ)充規(guī)定量。此時(shí)的補(bǔ)充量是補(bǔ)充如下的量，即，能夠替換在參比電極6中檢測液體9從液體聯(lián)絡(luò)部40流入而使第二內(nèi)部液體15的濃度稀釋的部分，例如，補(bǔ)充數(shù)十μL左右的內(nèi)部液體。

將這樣的n次檢測及第二內(nèi)部液體15的補(bǔ)充作為1次檢測程序，并重復(fù)該檢測程序，由此周期性地進(jìn)行第二內(nèi)部液體15的補(bǔ)充，完成期望次數(shù)的檢測程序后，結(jié)束pH檢測。

由于如上述那樣構(gòu)成檢測電極4，因此能夠使檢測液體9流經(jīng)毛細(xì)管狀的管體58而進(jìn)行電位檢測，并能夠減少檢測所使用的檢測液體9的使用量。由此，能夠減少檢測后廢棄的藥液量。尤其是停止流通泵10而停止檢測液體9的流通進(jìn)行電位檢測的情況下，能夠進(jìn)一步減少使用的藥液量。

此外，檢測液體9的溫度即使在例如50℃左右的高溫情況下，由于在管體58內(nèi)流動(dòng)期間檢測液體9的溫度下降，因此即使停止流通泵10，也不會(huì)引起管體內(nèi)的對流，因此能夠防止對流引起的檢測電位的不均，能夠提高電位檢測的精度。此外，因?yàn)橥Ｖ沽魍ū?0，所以在檢測液體的流動(dòng)停止的狀態(tài)下，在檢測電極4及參比電極6中進(jìn)行pH檢測，由此能夠消除檢測液體的流動(dòng)導(dǎo)致的對pH值的影響。

此外，在本實(shí)施方式中，管體58配置成比內(nèi)部電極M的上端部更靠上方，且穿過第一內(nèi)部液體室52的恒定截面形狀部分，因此由pH檢測而在管體58的周圍產(chǎn)生的氣泡不會(huì)附著于管體58，而是貯留在第一內(nèi)部液體室52的上方部分。由此，能夠防止氣泡導(dǎo)致的檢測精度降低。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，第一內(nèi)部液體室52的上端部形成為越向上方截面形狀越縮小的錐狀，但并不限定于此，第一內(nèi)部液體室52的上表面也可是平面狀、半球狀等，只要在管體58上方形成貯留氣泡的空間即可。

此外，管體58的響應(yīng)玻璃含有規(guī)定量的鈧，因此具有耐氟酸性，即使檢測的藥液是含有氟酸的強(qiáng)酸性的藥液，也難以被侵蝕，能夠長時(shí)期使用。

由于如上述那樣構(gòu)成參比電極6，所以檢測液體9中含有的氣泡47停留在開口45。因此，導(dǎo)通用部件41不會(huì)被氣泡覆蓋，檢測液體9浸透導(dǎo)通用部件41的多孔質(zhì)或纖維，與第二內(nèi)部液體15接觸，并維持檢測液體9與第二內(nèi)部液體15的導(dǎo)通，因此能夠穩(wěn)定地進(jìn)行檢測液體9的電位檢測。

該導(dǎo)通用部件41更優(yōu)選具有耐藥性的部件。若為具有耐藥性的部件，則即使檢測液體9為具有強(qiáng)酸性或強(qiáng)堿性的藥液，導(dǎo)通用部件41也不會(huì)發(fā)生腐蝕等，能夠長時(shí)期使用。

此外，導(dǎo)通用部件41的上端部配置在與開口45大致同一平面，或比開口45更向第二流路64側(cè)突出，或者以導(dǎo)通用部件41的上端部不停留氣泡的程度配置在比開口45更低的位置，從而能夠避免檢測液體9中含有的氣泡覆蓋導(dǎo)通用部件41。因此，導(dǎo)通用部件41的上端部能夠與檢測液體9接觸，所以檢測液體9與第二內(nèi)部液體15導(dǎo)通，能夠進(jìn)行電位檢測。

此外，導(dǎo)通用部件41朝向內(nèi)部電極R方向延伸設(shè)置，因此即使在液體聯(lián)絡(luò)部40整體貯留氣泡的情況下，導(dǎo)通用部件41的下端部與第二內(nèi)部液體15接觸，也能夠維持檢測液體9與第二內(nèi)部液體15的導(dǎo)通。

此外，在導(dǎo)通用部件41的下端部配置在比內(nèi)部電極R的上端部更靠下方的情況下，當(dāng)參比電極6組裝時(shí)從第二內(nèi)部液體室36的底部填充第二內(nèi)部液體15之際，順著內(nèi)部電極R填充到其上端部的第二內(nèi)部液體15到達(dá)導(dǎo)通用部件41的下端部，之后，順著導(dǎo)通用部件41到達(dá)第二內(nèi)部液體室36的內(nèi)壁面，有可能在內(nèi)部電極R、導(dǎo)通用部件41和上述內(nèi)壁面之間出現(xiàn)第二內(nèi)部液體15的障壁。如此，在該障壁的內(nèi)部貯留空氣，有時(shí)出現(xiàn)不能在該部分填充第二內(nèi)部液體15的不良狀況。

但是，若導(dǎo)通用部件41配置在比內(nèi)部電極R的上端部更靠上方，且距第二內(nèi)部液體室36的上端部43規(guī)定距離L之間，則不會(huì)形成這樣的第二內(nèi)部液體15的障壁，能夠向第二內(nèi)部液體室36無縫隙地填充第二內(nèi)部液體15。

需要說明的是，也能夠使導(dǎo)通用部件41的下端部位于比內(nèi)部電極R的上端部更靠下方，例如將導(dǎo)通用部件41形成為沿第二內(nèi)部液體室36的內(nèi)壁面的形狀，且導(dǎo)通用部件41位于離開內(nèi)部電極R的上端部的位置即可。若為這樣的結(jié)構(gòu)，則內(nèi)部電極R、導(dǎo)通用部件41與上述內(nèi)壁面之間不存在產(chǎn)生第二內(nèi)部液體15的障壁之虞，能夠可靠地向第二內(nèi)部液體室36進(jìn)行第二內(nèi)部液體15的填充。

此外，由于如上述那樣構(gòu)成參比電極6，因此從位于比內(nèi)部電極R的上端部更靠下方的補(bǔ)充口17補(bǔ)充第二內(nèi)部液體15，能夠?qū)?nèi)部電極R周圍的液體替換為第二內(nèi)部液體15，從而能夠維持檢測精度。此時(shí)，以對從液體聯(lián)絡(luò)部40流入檢測液體9而使第二內(nèi)部液體15稀釋的部分進(jìn)行抬升的方式進(jìn)行替換，因此只要補(bǔ)充與該稀釋的部分相當(dāng)?shù)牧康牡诙?nèi)部液體15即可，能夠節(jié)約并減少補(bǔ)充的量。

補(bǔ)充口17的位置可以適當(dāng)變更，補(bǔ)充口17也可位于更下方，即位于第二內(nèi)部液體室36的下端部，此時(shí)，即使在第二內(nèi)部液體15的比重小于檢測液體9的情況下，由于位于距液體聯(lián)絡(luò)部40最遠(yuǎn)的位置，因此補(bǔ)充的第二內(nèi)部液體15也不會(huì)從液體聯(lián)絡(luò)部40流出，能夠以與檢測液體9的流入而導(dǎo)致稀釋的部分相當(dāng)?shù)牧縼砜煽康靥鎿Q內(nèi)部電極R周圍的液體，從而能夠節(jié)約補(bǔ)充的第二內(nèi)部液體15的量。

此外，在第二內(nèi)部液體15的比重大于檢測液體9的情況下，補(bǔ)充口17也可位于比內(nèi)部電極R的上端部更靠上方。此時(shí)，由于第二內(nèi)部液體15的比重大于檢測液體9，因此在補(bǔ)充第二內(nèi)部液體15之后，從液體聯(lián)絡(luò)部40向檢測液體9側(cè)流出的情況較少，而因其自重停留在內(nèi)部電極R周圍，從而能夠維持內(nèi)部電極R周圍的第二內(nèi)部液體15的濃度。進(jìn)而由于補(bǔ)充比重比檢測液體9更大的第二內(nèi)部液體15，能夠更可靠地對從液體聯(lián)絡(luò)部40流入檢測液體9而使第二內(nèi)部液體15稀釋的部分進(jìn)行抬升，能夠?qū)?nèi)部電極R周圍的液體替換為第二內(nèi)部液體15。補(bǔ)充的第二內(nèi)部液體15的量是與檢測液體9流入而稀釋的部分相當(dāng)?shù)牧?，因此能夠?jié)約并減少第二內(nèi)部液體15的補(bǔ)充量。

此外，內(nèi)部電極R配置成從第二內(nèi)部液體室36的下端部向上方延伸，因此如上述的檢測序列那樣，即使利用內(nèi)部液體補(bǔ)充機(jī)構(gòu)5的補(bǔ)充泵18間歇性地補(bǔ)充第二內(nèi)部液體15，在第二內(nèi)部液體室36的上方的稀釋部分到達(dá)內(nèi)部電極R之前對第二內(nèi)部液體15進(jìn)行替換也來得及，從而能夠維持內(nèi)部電極R周圍的濃度。如此，能夠間隙性地補(bǔ)充第二內(nèi)部液體15，因此與pH檢測中連續(xù)進(jìn)行補(bǔ)充的情況相比，能夠減少補(bǔ)充的第二內(nèi)部液體15的量，從而能夠長時(shí)期例如4個(gè)月至8個(gè)月左右不用補(bǔ)充第二內(nèi)部液體15，而連續(xù)使該檢測系統(tǒng)100工作。

需要說明的是，也可以不完全停止補(bǔ)充泵18，而以如下方式運(yùn)行補(bǔ)充泵18，即，以使第二內(nèi)部液體15極微量流動(dòng)的方式運(yùn)行補(bǔ)充泵18，并隔開規(guī)定的間隔，補(bǔ)充與檢測液體9流入而稀釋的部分相當(dāng)?shù)牧康牡诙?nèi)部液體15，但如上所述，更優(yōu)選在pH檢測中停止補(bǔ)充泵18。

進(jìn)而，由于距第二內(nèi)部液體室36的上端部43規(guī)定距離L1處的截面積小于比該規(guī)定距離L1所在位置更靠下方的截面積，因此該部分比內(nèi)部電極R所在的部分更細(xì)，能夠進(jìn)一步減少從液體聯(lián)絡(luò)部40流入檢測液體9而使第二內(nèi)部液體15稀釋部分的量。因此，應(yīng)當(dāng)對第二內(nèi)部液體15進(jìn)行替換的部分的量變少，由此能夠進(jìn)一步減少補(bǔ)充的第二內(nèi)部液體15的量。

此外，規(guī)定距離L1根據(jù)檢測條件可以進(jìn)行各種改變。例如，在進(jìn)行規(guī)定時(shí)間pH檢測之后，對于檢測液體9從液體聯(lián)絡(luò)部40流入而使第二內(nèi)部液體15稀釋的部分，將其容量設(shè)為V2、距第二內(nèi)部液體室36的上端部43的距離設(shè)為L2。并且，當(dāng)至第二內(nèi)部液體室36的規(guī)定距離L1為止的容量設(shè)為V1時(shí)，V1及L1滿足V2＜V1及L2＜L1的關(guān)系。

根據(jù)如此確定的規(guī)定距離L1及其容量V1，確定補(bǔ)充的第二內(nèi)部液體15的補(bǔ)充量，此時(shí)，當(dāng)將補(bǔ)充量設(shè)為V3、距第二內(nèi)部液體室36的上端部43的距離設(shè)為L3時(shí)，若為滿足V2＜V3＜V1的量，則要滿足L2＜L3＜L1，才能夠?qū)z測液體9稀釋的部分替換為第二內(nèi)部液體15。

進(jìn)而，若將補(bǔ)充量V3設(shè)為滿足V2＜V1＜V3的量，則L2＜L1＜L3成立，能夠充分地將由檢測液體9稀釋的部分替換為第二內(nèi)部液體15。即，自第二內(nèi)部液體室36的上端部43至規(guī)定距離L1之間，檢測液體9擴(kuò)散而使第二內(nèi)部液體15稀釋的情況下，由于能補(bǔ)充比與其相當(dāng)?shù)牧扛嗔康牡诙?nèi)部液體15，因此能夠可靠地將該稀釋的部分從液體聯(lián)絡(luò)部40壓出，并替換為第二內(nèi)部液體15。

需要說明的是，稀釋部分的容量V2與第二內(nèi)部液體15的補(bǔ)充量V3至少滿足V2＜V3的關(guān)系即可。

接下來，根據(jù)圖6，對作為上述電極裝置7的其他實(shí)施方式的電極裝置307進(jìn)行說明。需要說明的是，對圖6標(biāo)注的與圖2相同的附圖標(biāo)記表示與上述實(shí)施方式相同或相應(yīng)的結(jié)構(gòu)。

如圖6所示，電極裝置307包括檢測電極304及參比電極306。

上述檢測電極304包括：第一主體354a，具有收容第一內(nèi)部液體350的第一內(nèi)部液體室352；副主體354b，與第一主體354a間隔配置；連結(jié)主體354c，連結(jié)第一主體354a與副主體354b。進(jìn)而，檢測電極304包括從該第一主體354a的下部在第一內(nèi)部液體室352向上方延伸安裝的內(nèi)部電極M。由上述第一主體354a、副主體354b及連結(jié)主體354c形成檢測電極304的主體354。上述主體的材質(zhì)由與上述第一主體54同樣的材質(zhì)形成。此外，第一主體354a與上述第一主體54同樣，包括主部件354d和蓋體354e，并在主部件354d的內(nèi)部形成有第一內(nèi)部液體室352。

上述副主體354b為大致長方體狀的塊體，上述第一主體354a的一個(gè)側(cè)面的上端部與上述副主體354b的一個(gè)側(cè)面的上端部通過大致長方體狀的連結(jié)主體354c連結(jié)成一體，由此距上述第一主體354a規(guī)定的距離間隔配置。在該間隔的第一主體354a與副主體354b之間形成有空間S1，該空間S1的下方敞開。在本實(shí)施方式中，在上述第一主體354a的另一側(cè)面，同樣地副主體354b連結(jié)于連結(jié)主體354c，與第一主體354a間隔配置。由于各主體如此連結(jié)構(gòu)成，因此檢測電極304以第一主體354a為中心在兩側(cè)借由連結(jié)主體354c具有副主體354b，正面看形成為大致T狀。

進(jìn)而，在上述副主體354b上，作為與上述參比電極306連接的連接端口形成有陰螺紋孔388，在該陰螺紋孔388配置能夠進(jìn)退地螺合嵌合的嵌合部件亦即陽螺紋部件386。進(jìn)而，該陰螺紋孔388與空間S1通過連通孔380連通。

進(jìn)而在該實(shí)施方式中，該檢測電極304包括上述檢測液體9流動(dòng)的管體358。

該管體358的整體由響應(yīng)氫離子的響應(yīng)玻璃形成，并形成檢測液體9流動(dòng)的第一流路362。第一流路362的下游側(cè)為管體358的輸出端側(cè)，第一流路362的上游側(cè)為管體358的輸入端側(cè)。管體358的材質(zhì)、形狀與上述管體58相同。此外，與上述管體58配置于上述第一主體54的情況相同，管體358配置于第一主體354a。

進(jìn)而，上述管體358的輸出端側(cè)從該第一主體354a突出，并插入上述副主體354b的連通孔380。由此，在第一主體354a與副主體354b之間設(shè)置的空間S1中，形成管體358的一部分橫跨的狀態(tài)，管體358的這一部分暴露于空間S1。

此外，在本實(shí)施方式中，上述管體358的上述輸入端側(cè)也從第一主體354a突出，該輸入端側(cè)插入到與上述第一主體354a的另一側(cè)面間隔配置的副主體354b上形成的上述連通孔380。

需要說明的是，上述管體358也可在浸漬于上述第一內(nèi)部液體350的局部使用響應(yīng)玻璃。

上述參比電極306的結(jié)構(gòu)與上述實(shí)施方式中的參比電極6相同。

接下來，對電極裝置307的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。該電極裝置307的上述管體358、參比電極306的第二流路64通過連接管382連接，檢測液體9從檢測電極304向參比電極306供給。

具體來說，連接管382的另一端側(cè)外嵌于管體358的輸出端側(cè)，連接管382的一端側(cè)通過粘接劑等密合連接于第二流路64，形成檢測液體9流動(dòng)的流路。進(jìn)而，在連接管382的外嵌部分設(shè)有用于對其周圍進(jìn)行按壓的環(huán)狀部件390。更具體地說，該環(huán)狀部件390為如具有錐形面的套圈那樣的環(huán)狀部件，通過將陽螺紋部件386螺合于陰螺紋孔388，該陽螺紋部件386與該錐形面抵接，由此連接管382的外嵌部分被套圈按壓，將連接管382固定成不會(huì)從管體358脫離。

管體358的輸入端側(cè)連接上述流入管12a的前端部，檢測液體9從流入管12a流入管體358。例如，流入管12a的前端部外嵌于管體358的輸入端側(cè)，且與上述同樣在該部分設(shè)有緊固部件，將流入管12a固定成不會(huì)從管體358脫離。

此外，對于上述管體358貫通上述第一主體354a的部分，利用粘接劑等固定管體358，并且密封成第一內(nèi)部液體350不會(huì)從第一內(nèi)部液體室352泄漏。

由于電極裝置307如上述構(gòu)成，因此即使由于長年老化等導(dǎo)致第一內(nèi)部液體350從管體358貫通第一主體354a的部分泄漏，在管體358的輸出端側(cè)設(shè)置的空間露出區(qū)域中，也能隔斷第一內(nèi)部液體350向參比電極306的傳遞，從而能夠可靠地防止參比電極306中檢測液體9流動(dòng)的第二流路64中混入檢測電極304的第一內(nèi)部液體350。該空間露出區(qū)域越大，越能夠可靠地防止第一內(nèi)部液體350向參比電極306的傳遞，因此突出部分的規(guī)定長度優(yōu)選較長的長度。

此外，檢測電極304中，第一主體354a上還具備副主體354b，因此能夠由副主體354b保持管體358的突出部分。

進(jìn)而，在副主體354b通過連結(jié)主體354c連結(jié)于第一主體354a的情況下，第一主體354a、副主體354b及連結(jié)主體354c成為一體。因此，能夠由副主體354b更穩(wěn)定地保持管體358的突出部分，能夠防止管體358作用有意外的彎折力而導(dǎo)致折彎或斷裂。

此外，第一主體354a與副主體354b之間的距離由連結(jié)它們的連結(jié)主體354c的寬度確定，通過加大連結(jié)主體354c的寬度，能夠加長該距離，由此，能夠更可靠地切斷第一內(nèi)部液體350向參比電極306的泄漏。例如，在假設(shè)存在較多第一內(nèi)部液體350泄漏的情況下，優(yōu)選這樣設(shè)置。

此外，在副主體354b與參比電極306接觸的一側(cè)設(shè)置有陰螺紋孔388，該陰螺紋孔388作為與參比電極306的第二流路64連接的連接端口，因此利用上述結(jié)構(gòu)，牢固地連接管體358與連接管382，能夠可靠地向第二流路64供給檢測液體9。

此外，也能夠以參比電極306具備第二副主體及第二連結(jié)主體的方式來保持管體358的突出部分。具體來說，在參比電極306的檢測電極304側(cè)的側(cè)面，借由第二連結(jié)主體形成塊體的第二副主體。如此一來，第二副主體與上述第二主體42間隔配置，由此形成與上述空間同樣的空間。利用該第二副主體保持從第一主體354a突出的管體358，管體358的一部分橫跨該空間。

當(dāng)是這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，由于在參比電極306的第二主體42借由第二連結(jié)主體形成第二副主體，因此能夠無破損地保持管體358。此外，管體358的一部分橫跨由第二主體42與第二連結(jié)主體形成的空間，因此管體358設(shè)有空間露出區(qū)域，能夠隔斷第一內(nèi)部液體350向參比電極306的傳遞。

接下來，根據(jù)圖7，對作為上述電極裝置7的再一實(shí)施方式的電極裝置407進(jìn)行說明。

如圖7所示，電極裝置407包括檢測電極404及參比電極406。

對于上述電極裝置307的管體358，其全部由響應(yīng)玻璃形成，但本電極裝置407的管體458是將多個(gè)管體組件連接而形成的管體，作為管體組件有全部由響應(yīng)玻璃形成的響應(yīng)玻璃管458a和樹脂制的彈性軟管458b。即，管體458的一部分由響應(yīng)玻璃構(gòu)成。該管體458的輸出端側(cè)(彈性軟管458b的一端側(cè))與參比電極406的第二流路464連接，將檢測液體9從檢測電極404向參比電極406供給。此外，該參比電極406在其第二主體442形成收容第二內(nèi)部液體415的第二內(nèi)部液體室415，且該第二內(nèi)部液體415借由液體聯(lián)絡(luò)部440與流經(jīng)第二流路464的上述檢測液體9接觸。

具體來說，上述彈性軟管458b的另一端部外嵌于上述響應(yīng)玻璃管458a的一端部，并在該外嵌部分設(shè)有從其周圍按壓的環(huán)狀的緊固部件490。更具體地說，該緊固部件490例如為具有錐形面的圓錐狀的套圈，以與該錐形面抵接的方式，陽螺紋部件486螺合于在第一主體454a上形成的陰螺紋孔488。由此陽螺紋部件488按壓套圈成為嵌合的狀態(tài)，彈性軟管458b的外嵌部分被套圈按壓，響應(yīng)玻璃管458a與彈性軟管458b連接起來。

由于該彈性軟管458b具有彈力，因此當(dāng)被上述套圈按壓時(shí)，密合于由硬響應(yīng)玻璃形成的響應(yīng)玻璃管458a，由此，響應(yīng)玻璃管458a與彈性軟管458b液密連接。

此外，管體458的輸出端側(cè)(彈性軟管458b的一端側(cè))也使用上述緊固部件490等同樣地連接于第二流路464。

此外，檢測電極404與參比電極406間隔而形成空間S2，但由于彈性軟管458b柔軟，因此在將檢測電極404與參比電極406設(shè)置于檢測系統(tǒng)300時(shí)，即使它們的位置偏移，彈性軟管458b也能夠吸收該偏移，因此電極裝置407的組裝容易。

由于如此這樣構(gòu)成電極裝置407，所以與電極裝置307同樣，能夠防止第一內(nèi)部液體室452中收容的第一內(nèi)部液體450混入檢測液體9的流路亦即第一流路462，從而能夠維持電位檢測的精度。

需要說明的是，即使不使用上述緊固部件490，例如也可將從第一主體454a突出的響應(yīng)玻璃管458a的一端部與彈性軟管458b的另一端部利用粘接劑等密合連接。進(jìn)而，管體458的輸出端側(cè)也可利用粘接劑等與第二流路464密合連接。

需要說明的是，代替彈性軟管458b，也可將硬管道狀的管件與響應(yīng)玻璃管458a連接而構(gòu)成管體458，并形成空間S2。

進(jìn)而，也可在檢測電極404或參比電極406具備與上述檢測電極304同樣的副主體及連結(jié)主體，形成空間S2，并保持管體458。

接下來，根據(jù)圖8，對作為上述電極裝置7的又一實(shí)施方式的電極裝置507進(jìn)行說明。需要說明的是，對圖8標(biāo)注的與圖6及圖7相同的附圖標(biāo)記表示與上述實(shí)施方式相同或相應(yīng)的結(jié)構(gòu)。

如圖8所示，電極裝置507包括檢測電極504及參比電極506。

該檢測電極504具有與上述檢測電極304相同的結(jié)構(gòu)，是將該檢測電極304的上下顛倒配置。因此，省略檢測電極504的結(jié)構(gòu)的具體說明。

參比電極506具有與上述參比電極406相同的結(jié)構(gòu)。因此，也省略參比電極506的結(jié)構(gòu)的具體說明。

接下來，對電極裝置507進(jìn)行說明。該電極裝置507的檢測電極504與參比電極506間隔配置，但與上述電極裝置307同樣地，管體358與參比電極506的第二流路64由連接管382連接，檢測液體9從檢測電極504向參比電極506供給。連接管382中檢測電極504與參比電極506的連接結(jié)構(gòu)與上述檢測電極404和上述參比電極406中的結(jié)構(gòu)相同，因此省略具體的說明。

由于如此這樣構(gòu)成電極裝置507，因此由pH檢測而在檢測電極504的第一內(nèi)部液體室352的下方配置的管體358周圍所產(chǎn)生的氣泡去往第一內(nèi)部液體室352的上方(蓋體354e的方向)。由此，該氣泡不會(huì)附著于管體358，從而能夠防止氣泡導(dǎo)致檢測精度降低。

＜第二實(shí)施方式＞

接下來，對組裝有上述第一實(shí)施方式的參比電極的參比電極系統(tǒng)進(jìn)行說明，但使用與第一實(shí)施方式不同的標(biāo)記進(jìn)行說明。

如圖9及圖10所示，第二實(shí)施方式中的參比電極系統(tǒng)1z包括：檢測液體用配管2z，作為檢測液體9z流動(dòng)的檢測液體收容部；參比電極收容部3z，收容內(nèi)部液體，且具備在該內(nèi)部液體中浸漬的內(nèi)部電極3za；連接配管4z，連接檢測液體用配管2z與參比電極收容部3z。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，檢測液體用配管2z、參比電極收容部3z、連接配管4z的一部分收容在透明的塊體6z的內(nèi)部。

檢測液體用配管2z為檢測液體流動(dòng)的流路，且以從塊體6z的一側(cè)面至另一側(cè)面水平橫斷的方式延伸。在本實(shí)施方式中，在其兩端部設(shè)有連接接頭7z，該連接接頭7z例如用于與連接有檢測液體的罐或玻璃電極等進(jìn)行連接。

檢測液體是例如含有較多半導(dǎo)體用清洗液等溶劑的液體等，其比重為約1.19g/cm³。需要說明的是，檢測液體并不限定于這樣的液體，只要是進(jìn)行電化學(xué)檢測的樣本均可。

參比電極收容部3z包括：呈大致筒狀的收容容器(內(nèi)部液體室)3zb；在收容容器3zb的內(nèi)部立起配置的例如由AgCl等構(gòu)成的內(nèi)部電極3za；貯留于收容容器3b并浸漬該內(nèi)部電極3za的內(nèi)部液體；收容內(nèi)部液體的罐3zc；連結(jié)收容容器3zb與罐3zc、并向收容容器3zb供給內(nèi)部液體的供給配管3zd；進(jìn)行供給配管3zd開閉的閥3ze。該收容容器3zb配置成貫穿塊體6z的上表面至下表面。

內(nèi)部液體是例如3.3摩爾的KCl溶液等，其比重為1.17g/cm³，其比重小于檢測液體的比重。需要說明的是，上述的電極3za或內(nèi)部液體并不限定于此，按照進(jìn)行電化學(xué)檢測的樣本可以適當(dāng)改變。

如圖10所示，連接配管4z連接檢測液體用配管2z與參比電極收容部3z，且在本實(shí)施方式中，其包括：底配管部4za；上配管部4zd；第一連通管部4zb，從底配管部4za的一端向上方延伸，并與檢測液體用配管2z連通；第二連通管部4zc，從底配管部4za的另一端向上方延伸，并與上配管部4zd連通(也可是從上配管部4zd的一端向下方延伸，并與底配管部4za連通)；第三連通管4ze，從上配管部4zd的另一端向下方延伸，并與收容容器(內(nèi)部液體室)3zb連通。

底配管部4za、第一連通配管部4zb的一部分、第二連通管部4zc、上配管部4zd、第三連通管4ze配置在塊體6z的外部，且由軟管(tube)構(gòu)成。需要說明的是，第一連通配管部4zb的其他部分收容于塊體6z的內(nèi)部。

上述第一連通配管部4zb的其他的部分(即，第一連通配管部4zb的上側(cè)部分)與檢測液體用配管2z連接，該連接部分成為構(gòu)造上的液體聯(lián)絡(luò)部45z。此外，第一連通配管部4zb的上側(cè)部分與上述第一實(shí)施方式同樣設(shè)有導(dǎo)通用部件41z。

以下，對如上所述構(gòu)成的參比電極系統(tǒng)1z的動(dòng)作進(jìn)行說明。

首先，設(shè)置于參比電極收容部3z的閥3ze打開，向收容容器3zb供給內(nèi)部液體，則該被供給的內(nèi)部液體充滿收容容器3zb內(nèi)，并且通過連接配管4z到達(dá)檢測液體用配管2z與連接配管4z連結(jié)的連接部分。然后，關(guān)閉閥3ze，停止內(nèi)部液體的供給。以下為了說明的方便，將該工序稱為檢測開始工序。

并且，使檢測液體流向檢測液體用配管2z。在該檢測液體的比重比內(nèi)部液體重的情況下，檢測液體從上述構(gòu)造上的液體聯(lián)絡(luò)部45z流入，壓下內(nèi)部液體，并從檢測液體用配管2z向第一連通配管部4zb及底配管部4za流出，但由于底配管部4za的兩端連通有向上方延伸的第一連通管部4zb及第二連通管部4zc，因此，在底配管部4za停止流出。并且，在該停止的位置，產(chǎn)生檢測液體與內(nèi)部液體接觸的實(shí)際上的液體聯(lián)絡(luò)部。由于產(chǎn)生該液體聯(lián)絡(luò)部，內(nèi)部電極3za與檢測液體電連接而發(fā)揮作為參比電極的功能。以下為了說明方便，將該工序稱為檢測工序。

接下來，進(jìn)行參比電極系統(tǒng)1z的校正。

在停止了檢測液體流入的狀態(tài)下，打開閥3ze，使內(nèi)部液體從收容容器(內(nèi)部液體室)3zb借由連接配管4z流向檢測液體用配管2z，壓回連接配管4z或檢測液體用配管2z中殘留的檢測液體。以下為了說明方便，將該工序稱為校正準(zhǔn)備工序。在該校正準(zhǔn)備工序中，能夠去除連接配管4z中殘留的檢測液體，從而能夠防止檢測精度降低。

并且，當(dāng)經(jīng)過規(guī)定時(shí)間時(shí)，關(guān)閉閥3ze，停止內(nèi)部液體的供給，在該狀態(tài)下，使校正液體流向檢測液體用配管2z。以下為了說明方便，將該工序稱為校正工序。此時(shí)，連接配管4z連接在檢測液體用配管2z的鉛垂方向的下側(cè)，因此，比重比內(nèi)部液體輕的校正液體不會(huì)流入連接配管4z，能夠防止校正液體腐蝕內(nèi)部電極3za。

最后，在停止流入校正液體之后，打開閥3ze，流入內(nèi)部液體，返回到檢測開始工序。在上述一系列動(dòng)作中，閥3ze在檢測開始工序及校正準(zhǔn)備工序呈開啟狀態(tài)。

按照如上構(gòu)成的第二實(shí)施方式的參比電極系統(tǒng)1z，具有如下的效果。

即，在檢測液體的比重比內(nèi)部液體大的情況下，檢測液體壓下內(nèi)部液體，流入到連接在檢測液體用配管2z的鉛垂方向下側(cè)的連接配管4z內(nèi)。但是，由于連接配管4z包括底配管部4za、從該底配管部4za的兩端向上方延伸的第一連通管部4zb及第二連通管部4zc，因此檢測液體在該底配管部4za停止流入。由此，能夠防止檢測液體進(jìn)入到收容容器(內(nèi)部液體室)3zb的內(nèi)部，并能夠防止檢測液體腐蝕收容容器(內(nèi)部液體室)3zb中收容的內(nèi)部電極3za。

此外，為了不使檢測液體進(jìn)入收容容器(內(nèi)部液體室)3zb，考慮持續(xù)流入內(nèi)部液體，從而依靠內(nèi)部液體的壓力來防止檢測液體的進(jìn)入，但由于如上述那樣構(gòu)成連接配管4z，即使不持續(xù)流入內(nèi)部液體，也能夠防止檢測液體向收容容器(內(nèi)部液體室)3zb進(jìn)入。因此，能夠使閥3ze間歇?jiǎng)幼鳎瑴p少內(nèi)部液體的使用量，從而能夠使收容內(nèi)部液體的罐的大小變得小型化，并且減少向罐供給內(nèi)部液體的次數(shù)，減少用戶的勞動(dòng)消耗。此外，由于使用的內(nèi)部液體量減少，因而還能夠降低成本。

進(jìn)而，由于以塊體6z和軟管構(gòu)成參比電極系統(tǒng)1z，因此與在塊體6z的內(nèi)部設(shè)置全部結(jié)構(gòu)的情況相比，制造簡便，并能夠降低制造成本。此外，與在塊體6z的內(nèi)部設(shè)置全部結(jié)構(gòu)的情況相比，能夠使塊體6z小型化，因此，檢測液體用配管、參比電極收容部、連接配管等也小型化，即使在減少檢測液體及內(nèi)部液體的使用量的狀態(tài)下也能夠進(jìn)行檢測。

＜第三實(shí)施方式＞

接下來對本發(fā)明的第三實(shí)施方式進(jìn)行說明，與第二實(shí)施方式相同的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。

如圖11所示，第三實(shí)施方式的參比電極系統(tǒng)10z中，連接配管14z的構(gòu)造與第一實(shí)施方式不同，第二實(shí)施方式的連接配管14z包括：底配管部14za；上配管部14zd；第一連通管部14zb，從該底配管部14za的一端向上方延伸，并與檢測液體用配管2z連通；第二連通管部14zc，從底配管部14za的另一端向上方延伸，并與上配管部14zd連通(也可是從上配管部14zd的一端向下方延伸，并與底配管部14za連通)；第三連通管部14ze，從上配管部14zd的另一端向下方延伸，并與收容容器(內(nèi)部液體室)3zb連通。

底配管部14za、第一連通管部14zb及第二連通管部14zc呈向下方突出的大致U形，上配管部14zd、第二連通管部14zc及第三連通管部14ze呈向上方突出的大致U形。上述底配管部14za、第一連通管部14zb、第二連通管部14zc、上配管部14zd、第三連通管部14ze全部由軟管構(gòu)成。

第一連通管部14zb的上側(cè)部分與檢測液體用配管2z連接的連接部分成為構(gòu)造上的液體聯(lián)絡(luò)部45z。此外，第一連通配管部14zb的上側(cè)部分與上述第一實(shí)施方式同樣設(shè)有導(dǎo)通用部件41z。

在內(nèi)部液體的比重比檢測液體小的情況下，檢測液體從上述構(gòu)造上的液體聯(lián)絡(luò)部45z流入，壓下上述內(nèi)部液體，流入到連接在檢測液體用配管2z的鉛垂方向下側(cè)的連接配管4z內(nèi)。但是，由于在底配管部14za的兩端分別連通的第一連通管部14zb及第二連通管部14zc向上方延伸，因此檢測液體在底配管部14za停止進(jìn)入。并且，在該位置形成檢測液體與內(nèi)部液體接觸的實(shí)際上的液體聯(lián)絡(luò)部。

在如此設(shè)置的第二實(shí)施方式的參比電極系統(tǒng)10z中，由于包括底配管部14za、和從底配管部14za的兩端向上方延伸的第一連通管部14zb及第二連通管部14zc，因此檢測液體的流入在底配管部14za停止，從而能夠防止檢測液體進(jìn)入到收容容器(內(nèi)部液體室)3zb的內(nèi)部，并能夠防止檢測液體腐蝕收容容器(內(nèi)部液體室)3zb中收容的內(nèi)部電極。

＜第四實(shí)施方式＞

接下來對本發(fā)明的第四實(shí)施方式進(jìn)行說明，對與第一實(shí)施方式及第二實(shí)施方式相同的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。

如圖12所示，第四實(shí)施方式的參比電極系統(tǒng)20z與第二實(shí)施方式及第三實(shí)施方式相比，連接配管24z的結(jié)構(gòu)、及連接配管24z與檢測液體用配管2z連接的連接部分不同。

即，該連接配管24z包括：上配管部24za；底配管部24zd；第一連通管部24zb，從該上配管部24za的一端向下方延伸，并與檢測液體用配管2z連通；第二連通管部24zc，從上配管部24za的另一端向下方延伸，并與底配管部24zd連通(也可是從底配管部24zd的一端向上方延伸，并與上配管部24za連通)；第三連通管部24ze，從底配管部24zd的另一端向上方延伸，并與收容容器(內(nèi)部液體室)3zb連通。

上配管部24za、第一連通管部24zb及第二連通管部24zc呈向上方突出的大致U形，底配管部24zd、第二連通管部24zc及第三連通管部24ze呈向下方突出的大致U形。

并且，該連接配管24z連接在檢測液體用配管2z的鉛垂方向上側(cè)。

第一連通管部24zb的下側(cè)部分與檢測液體用配管2z連接的連接部分成為構(gòu)造上的液體聯(lián)絡(luò)部45z。此外，第一連通配管部24zb的下側(cè)部分與上述第一實(shí)施方式同樣設(shè)有導(dǎo)通用部件41z。

在內(nèi)部液體的比重比檢測液體大的情況下，檢測液體從上述構(gòu)造上的液體聯(lián)絡(luò)部45z流入，抬起內(nèi)部液體，流入到連接在檢測液體用配管2z的鉛垂方向上側(cè)的連接配管4z內(nèi)。但是，由于上配管部24za的兩端分別連通的第一連通管部24zb及第二連通管部24zc向下方延伸，因此檢測液體在上配管部24za停止流入。并且，在該位置形成檢測液體與內(nèi)部液體接觸的實(shí)際上的液體聯(lián)絡(luò)部。

在如此設(shè)置的第四實(shí)施方式的參比電極系統(tǒng)20z中，由于包括上配管部24za和從上配管部24za的兩端向下方延伸的第一連通管部24zb及第二連通管部24zc，因此檢測液體在上配管部24za停止流入，能夠防止檢測液體進(jìn)入收容容器(內(nèi)部液體室)3zb的內(nèi)部，并能夠防止收容容器(內(nèi)部液體室)3zb中收容的內(nèi)部電極3za被檢測液體腐蝕。

另外需要說明的是，當(dāng)連接配管4z設(shè)置在檢測液體用配管2z的鉛垂方向上側(cè)時(shí)，在進(jìn)行校正的情況下，比內(nèi)部液體的比重小的校正液體從檢測液體用配管2z流入連接配管4z，但根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，校正液體在上配管部24za停止流入，因此能夠防止校正液體腐蝕內(nèi)部電極3za。

需要說明的是，本發(fā)明并不限定于上述第一至第四實(shí)施方式。

例如，在上述第二～第四實(shí)施方式中，也可在連接配管4z的內(nèi)部設(shè)置保液部件8z。具體如圖13所示，保液部件8z的一端8za與導(dǎo)通用部件41z接觸地設(shè)置于導(dǎo)通用部件41z，另一端8zb設(shè)置于內(nèi)部液體室3zb。保液部件8z的一端8za既可是纏繞在上述導(dǎo)通用部件41z的下端部外周的構(gòu)造，也可是穿過上述導(dǎo)通用部件41z上形成的貫通孔而結(jié)合的構(gòu)造。此外，作為保液部件8z，只要是對檢測液體具有耐受性(耐藥性)的材料、且為能夠浸含檢測液體或內(nèi)部液體的材料(例如中空線)即可。

此外，在第二實(shí)施方式及第三實(shí)施方式中，也可將檢測液體用流路、參比電極收容部、連接配管等設(shè)置在塊體的內(nèi)部。

進(jìn)而，例如，不僅檢測氫離子濃度，例如在欲同時(shí)檢測鈉離子、鉀離子等濃度的情況下，將上述的檢測電極根據(jù)欲檢測的離子等的種類并列設(shè)置多個(gè)，使從檢測電極流出的檢測液體匯合，并共用參比電極。或者，以依次檢測氫離子、鈉離子、鉀離子等的方式串聯(lián)設(shè)置多個(gè)檢測電極，進(jìn)而參比電極也與它們接續(xù)串聯(lián)設(shè)置，并共用參比電極也可。若這樣設(shè)置，則檢測系統(tǒng)緊湊化，并能夠同時(shí)檢測多個(gè)離子等濃度。

工業(yè)實(shí)用性

根據(jù)本發(fā)明，即使在檢測液體中混有氣泡的情況下，也能在液體聯(lián)絡(luò)部保持內(nèi)部液體與檢測液體的導(dǎo)通，從而能夠穩(wěn)定地進(jìn)行檢測液體的電位檢測。