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固態(tài)LIDAR電路的制作方法

文檔序號(hào):12287107閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種電路設(shè)備,包括:

耦合到分束器的襯底中的波導(dǎo)陣列,分束器將源光分束到波導(dǎo)陣列中;

襯底上的絕緣層,絕緣層具有開口以暴露波導(dǎo)陣列的路徑的部分;以及

液晶層,處于絕緣層上且處于通過(guò)絕緣層中的開口暴露的波導(dǎo)陣列的路徑的部分上,其中電壓向液晶的施加改變通過(guò)絕緣層中的開口暴露的波導(dǎo)陣列中的所有波導(dǎo)的相對(duì)相位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路設(shè)備,其中襯底包括硅襯底;并且其中絕緣層包括氧化物層。

3.一種集成光子芯片,包括:

集成在襯底中的波導(dǎo)陣列;

集成在襯底中的分束器,從激光器接收源光并且將源光分束到波導(dǎo)陣列中;

襯底上的絕緣層,絕緣層具有開口以暴露波導(dǎo)陣列的路徑的部分;

液晶層,處于絕緣層上且處于通過(guò)絕緣層中的開口暴露的波導(dǎo)陣列的路徑的部分上,其中電壓向液晶的施加改變通過(guò)絕緣層中的開口暴露的波導(dǎo)陣列中的所有波導(dǎo)的相對(duì)相位;以及

集成在襯底中的光電檢測(cè)器,從波導(dǎo)接收光作為參考信號(hào)來(lái)對(duì)照所檢測(cè)的遠(yuǎn)場(chǎng)散射光進(jìn)行比較。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的集成光子芯片,其中襯底包括硅襯底。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或權(quán)利要求4所述的集成光子芯片,其中絕緣層包括氧化物層。

6.一種方法,包括:

在集成于襯底中的分束器處接收源光;

利用分束器將源光分束到集成在襯底中的波導(dǎo)陣列中,以使源光經(jīng)過(guò)包括集成在襯底上的絕緣層中的開口的波導(dǎo)路徑并且使波導(dǎo)陣列暴露于集成在絕緣層上的液晶層;

通過(guò)向液晶層施加電壓來(lái)動(dòng)態(tài)地調(diào)節(jié)陣列的波導(dǎo)中的光的相位;以及

將經(jīng)相位調(diào)節(jié)的光從波導(dǎo)傳送到目標(biāo)對(duì)象。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其中動(dòng)態(tài)地調(diào)節(jié)相位包括向液晶層施加電壓以生成跨波導(dǎo)的相位斜坡。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其中液晶層包括硅上液晶(LCOS)層。

9.根據(jù)權(quán)利要求6-8中任一項(xiàng)所述的方法,其中動(dòng)態(tài)地調(diào)節(jié)相位包括跨成像場(chǎng)對(duì)源光進(jìn)行波束操控。

10.根據(jù)權(quán)利要求6-9中任一項(xiàng)所述的方法,其中襯底包括硅襯底。

11.根據(jù)權(quán)利要求6-10中任一項(xiàng)所述的方法,其中絕緣層包括氧化物層。

12.根據(jù)權(quán)利要求6-11中任一項(xiàng)所述的方法,其中開口包括跨波導(dǎo)陣列的三角形形狀的開口,其中三角形形狀的開口具有其最靠近一個(gè)波導(dǎo)的頂點(diǎn),并且三角形形狀暴露每一個(gè)隨后相鄰波導(dǎo)的更多部分以提供跨陣列的波導(dǎo)的增大相移。

13.根據(jù)權(quán)利要求6-12中任一項(xiàng)所述的方法,還包括:

利用分束器之前的光電檢測(cè)器分接出源光作為參考信號(hào)。

14.根據(jù)權(quán)利要求6-13中任一項(xiàng)所述的方法,還包括:

利用集成在襯底中的耦合器從波導(dǎo)陣列接收光以從波導(dǎo)陣列接收光并且通過(guò)液晶層來(lái)耦合光。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,還包括:

利用耦合器處的光電檢測(cè)器分接出光作為參考信號(hào)。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,其中耦合器包括光柵耦合器。

17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,其中耦合器包括鏡耦合器。

18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,還包括:

利用耦合器之上的一個(gè)或多個(gè)成角度的端面擴(kuò)散光。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法,其中一個(gè)或多個(gè)成角度的端面包括氧化物層中的一個(gè)或多個(gè)成角度的端面。

20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法,其中一個(gè)或多個(gè)成角度的端面包括液晶層中的一個(gè)或多個(gè)成角度的端面。

21.根據(jù)權(quán)利要求6-20中任一項(xiàng)所述的方法,還包括:

調(diào)制從激光源接收的源光。

22.根據(jù)權(quán)利要求6-21中任一項(xiàng)所述的方法,還包括:

利用集成在襯底中的激光器設(shè)備生成源光。

23.一種包括具有存儲(chǔ)在其上的內(nèi)容的計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)的制造品,所述內(nèi)容在被執(zhí)行時(shí)執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求6-22中任一項(xiàng)所述的用于光檢測(cè)和測(cè)距的方法。

24.一種用于光檢測(cè)和測(cè)距的裝置,包括用于執(zhí)行操作以執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求6-22中任一項(xiàng)所述的方法的構(gòu)件。

25.一種用于光檢測(cè)和測(cè)距的裝置,包括:

用于將源光分束到集成在襯底中的波導(dǎo)陣列中以使源光經(jīng)過(guò)波導(dǎo)路徑的構(gòu)件;

用于通過(guò)向集成在襯底的波導(dǎo)上的液晶層施加電壓來(lái)動(dòng)態(tài)地調(diào)節(jié)陣列的波導(dǎo)中的光的相位的構(gòu)件;以及

用于將經(jīng)相位調(diào)節(jié)的光從波導(dǎo)傳送到目標(biāo)對(duì)象的構(gòu)件。

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