技術(shù)特征：

1.一種相位誤差補(bǔ)償方法，其特征在于，包括：

通過相移輪廓術(shù)測(cè)量系統(tǒng)獲取條紋序列圖；

基于希爾伯特變換將所述條紋序列圖由空域變換到希爾伯特變換域；

基于最小二乘相移法，分別對(duì)空域和希爾伯特變換域的所述條紋序列圖求解相位，得到空域的相位圖和希爾伯特變換域的相位圖；

對(duì)所述空域的相位圖和所述希爾伯特變換域的相位圖進(jìn)行平均，得到平均相位，利用所述平均相位進(jìn)行相位誤差補(bǔ)償。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，獲取到的所述條紋序列圖如下：

$I_n^C={\[A+Bcos(\mathrm{\φ}+{\mathrm{\δ}}_n)\]}^{\mathrm{\γ}}=B_0+\underset{k=1}{\overset{\mathrm{\∞}}{\Σ}}\[B_{k}cos\left({\mathrm{k\φ}}_n\right)\]$

其中，是相移輪廓術(shù)測(cè)量系統(tǒng)輸出的條紋序列中第n幅相移圖的強(qiáng)度，A是條紋背景強(qiáng)度，B是條紋調(diào)制強(qiáng)度，φ是經(jīng)待測(cè)表面調(diào)制的真實(shí)相位，B₀是直流分量，B_k是k階諧波的強(qiáng)度大小，δ_n＝2π(n-1)/N是第n幅相移圖的相移量，N是相移輪廓術(shù)測(cè)量系統(tǒng)所使用的相移輪廓術(shù)的相移步數(shù)，φ_n＝φ+δ_n是調(diào)制的相移相位，γ是系統(tǒng)的gamma系數(shù)，表征系統(tǒng)的非線性效應(yīng)。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于希爾伯特變換將所述相移條紋序列圖由空域變換到希爾伯特變換域包括：

通過將所述相移條紋序列圖由空域變換到希爾伯特變換域，其中，H(g)表示希爾伯特變換，是相移輪廓術(shù)測(cè)量系統(tǒng)輸出的條紋序列中第n幅相移圖在所述變換后的強(qiáng)度。

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于最小二乘相移法，分別對(duì)空域和希爾伯特變換域的所述條紋序列圖求解相位，得到空域的相位圖和希爾伯特變換域的相位圖包括：

利用對(duì)空域的所述條紋序列圖求解相位；

利用對(duì)希爾伯特變換域的所述條紋序列圖求解相位，其中，φ^C為在空域中對(duì)所述條紋序列圖求解得到的相位，φ^HC為在希爾伯特變換域中對(duì)所述條紋序列圖求解得到的相位。

5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述對(duì)所述空域的相位圖和所述希爾伯特變換域的相位圖進(jìn)行平均包括：

通過對(duì)所述空域的相位圖和所述希爾伯特變換域的相位圖進(jìn)行平均，其中，φ^M是所述平均之后得到的平均相位。

6.一種相位誤差補(bǔ)償裝置，其特征在于，包括：

獲取單元，用于通過相移輪廓術(shù)測(cè)量系統(tǒng)獲取條紋序列圖；

變換單元，用于基于希爾伯特變換將所述條紋序列圖由空域變換到希爾伯特變換域；

求解單元，用于基于最小二乘相移法，分別對(duì)空域和希爾伯特變換域的所述條紋序列圖求解相位，得到空域的相位圖和希爾伯特變換域的相位圖；

相位誤差補(bǔ)償單元，用于對(duì)所述空域的相位圖和所述希爾伯特變換域的相位圖進(jìn)行平均，得到平均相位，利用所述平均相位進(jìn)行相位誤差補(bǔ)償。

7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述獲取單元獲取到的所述條紋序列圖如下：

$I_n^C={\[A+Bcos(\mathrm{\φ}+{\mathrm{\δ}}_n)\]}^{\mathrm{\γ}}=B_0+\underset{k=1}{\overset{\mathrm{\∞}}{\Σ}}\[B_{k}cos\left({\mathrm{k\φ}}_n\right)\]$

其中，是相移輪廓術(shù)測(cè)量系統(tǒng)輸出的條紋序列中第n幅相移圖的強(qiáng)度，A是條紋背景強(qiáng)度，B是條紋調(diào)制強(qiáng)度，φ是經(jīng)待測(cè)表面調(diào)制的真實(shí)相位，B₀是直流分量，B_k是k階諧波的強(qiáng)度大小，δ_n＝2π(n-1)/N是第n幅相移圖的相移量，N是相移輪廓術(shù)測(cè)量系統(tǒng)所使用的相移輪廓術(shù)的相移步數(shù)，φ_n＝φ+δ_n是調(diào)制的相移相位，γ是系統(tǒng)的gamma系數(shù)，表征系統(tǒng)的非線性效應(yīng)。

8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述變換單元具體用于：

通過將所述相移條紋序列圖由空域變換到希爾伯特變換域，其中，H(g)表示希爾伯特變換，是相移輪廓術(shù)測(cè)量系統(tǒng)輸出的條紋序列中第n幅相移圖在所述變換后的強(qiáng)度。

9.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述求解單元具體用于：

利用對(duì)空域的所述條紋序列圖求解相位；

利用對(duì)希爾伯特變換域的所述條紋序列圖求解相位，其中，φ^C為在空域中對(duì)所述條紋序列圖求解得到的相位，φ^HC為在希爾伯特變換域中對(duì)所述條紋序列圖求解得到的相位。

10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述相位誤差補(bǔ)償單元具體用于：

通過對(duì)所述空域的相位圖和所述希爾伯特變換域的相位圖進(jìn)行平均，其中，φ^M是所述平均之后得到的平均相位。