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一種雙相機(jī)芯片檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):12562023閱讀:463來(lái)源:國(guó)知局

本實(shí)用新型涉及利用圖像來(lái)進(jìn)行芯片檢測(cè)的技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種雙相機(jī)芯片檢測(cè)系統(tǒng)。



背景技術(shù):

制約我國(guó)計(jì)算機(jī)發(fā)展和普及的關(guān)鍵技術(shù)之一是芯片,芯片的發(fā)展瓶頸是制造設(shè)備和生產(chǎn)工藝。龍芯能否普及在我國(guó)計(jì)算機(jī)上的重要因素之一就是我國(guó)芯片制造業(yè)必須掌握芯片的生產(chǎn)工藝。生產(chǎn)工藝涉及的技術(shù)很多,其中芯片制造過(guò)程中的外觀檢測(cè)是重要內(nèi)容之一。目前芯片制造過(guò)程的外觀檢測(cè)系統(tǒng)基本上是美國(guó)INTEL和AMD公司的標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)。我國(guó)目前還沒(méi)有一套此類芯片外觀檢測(cè)系統(tǒng)。因此我國(guó)自行開(kāi)發(fā)芯片外觀檢測(cè)系統(tǒng)是對(duì)我國(guó)芯片制造是一項(xiàng)極其重要的項(xiàng)目和工程。

在現(xiàn)有的生產(chǎn)過(guò)程中,還是主要采用人工檢測(cè)的方式來(lái)對(duì)芯片的質(zhì)量進(jìn)行檢測(cè),如何提供一種有效的圖像檢測(cè)輔助裝置來(lái)進(jìn)行圖像檢測(cè),就成了本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的問(wèn)題。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本實(shí)用新型的目的在于提供一種雙相機(jī)芯片檢測(cè)系統(tǒng),適于解決現(xiàn)有技術(shù)中依靠人工來(lái)對(duì)芯片進(jìn)行檢測(cè)而導(dǎo)致檢測(cè)效率不高的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案:

一種雙相機(jī)芯片檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,包括:導(dǎo)軌,適于提供移動(dòng)路徑;阻擋器,按照預(yù)設(shè)位置安裝在導(dǎo)軌提供的移動(dòng)路徑上;芯片框架,包括兩列相互平行的供放置芯片的安裝位,適于將放置在安裝位上的芯片沿導(dǎo)軌提供的移動(dòng)路徑移動(dòng)以將放置在安裝位上的芯片運(yùn)送至預(yù)設(shè)位置;圖像獲取裝置,包括第一像機(jī)和第二像機(jī),所述第一像機(jī)和第二像機(jī)與所述兩列安裝位平行的安裝在導(dǎo)軌上方,適于在芯片框架沿所述導(dǎo)軌移動(dòng)至所述預(yù)設(shè)位置時(shí)對(duì)放置在安裝位上的芯片進(jìn)行拍照,并將所獲取得到的芯片圖像予以輸出;圖像檢測(cè)系統(tǒng),連接圖像獲取裝置,適于將所述芯片圖像輸入檢測(cè)模型中進(jìn)行識(shí)別,以確定芯片圖像所對(duì)應(yīng)的芯片是否合格。

優(yōu)選地,每列安裝位上具有5-7個(gè)間距相等的安裝位。

優(yōu)選地,在所述阻擋器處還設(shè)置有一到位傳感器,連接于圖像檢測(cè)系統(tǒng),適于在檢測(cè)到芯片框架移動(dòng)至阻擋器時(shí)通知圖像檢測(cè)系統(tǒng)控制圖像獲取裝置對(duì)芯片進(jìn)行拍照。

優(yōu)選地,在與芯片框架上的安裝位正對(duì)的導(dǎo)軌下方還設(shè)置有光源。

優(yōu)選地,所述圖像檢測(cè)系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)。

如上所述,本實(shí)用新型至少具有以下有益效果:本實(shí)用新型利用上述芯片視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)可以對(duì)芯片進(jìn)行機(jī)器自動(dòng)檢測(cè),克服了現(xiàn)有檢測(cè)技術(shù)中個(gè),采用人為判斷芯片合格與否的不足,而且相比人工檢測(cè)的方式,更加高效。

附圖說(shuō)明

圖1為一種雙相機(jī)芯片檢測(cè)系統(tǒng)的原理圖。

附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明

1 導(dǎo)軌

2 芯片框架

21 安裝位

3 阻擋器

4 圖像獲取裝置

41 第一像機(jī)

42 第二像機(jī)

5 圖像檢測(cè)系統(tǒng)

6 芯片

7 到位傳感器

8 光源

具體實(shí)施方式

以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式,熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。

須知,本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件,故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下,均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí),本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ),亦僅為便于敘述的明了,而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍,其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整,在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下,當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。

請(qǐng)參閱圖1,為一種雙相機(jī)芯片檢測(cè)系統(tǒng)的原理圖,如圖所示,該雙相機(jī)芯片檢測(cè)系統(tǒng)包括:導(dǎo)軌1,適于提供移動(dòng)路徑;阻擋器3,按照預(yù)設(shè)位置安裝在導(dǎo)軌1提供的移動(dòng)路徑上;芯片框架2,包括兩列相互平行的供放置芯片6的安裝位21,適于將放置在安裝位21上的芯片6沿導(dǎo)軌1提供的移動(dòng)路徑移動(dòng)以將放置在安裝位21上的芯片6運(yùn)送至預(yù)設(shè)位置;圖像獲取裝置4,包括第一像機(jī)41和第二像機(jī)42,所述第一像機(jī)41和第二像機(jī)42與所述兩列安裝位21平行的安裝在導(dǎo)軌1上方,適于在芯片框架2沿所述導(dǎo)軌1移動(dòng)至所述預(yù)設(shè)位置時(shí)對(duì)放置在安裝位21上的芯片6進(jìn)行拍照,并將所獲取得到的芯片圖像予以輸出;圖像檢測(cè)系統(tǒng)5,連接圖像獲取裝置4,適于將所述芯片圖像輸入檢測(cè)模型中進(jìn)行識(shí)別,以確定芯片圖像所對(duì)應(yīng)的芯片是否合格。

在具體實(shí)施中,每列安裝位21上具有5-7個(gè)間距相等的安裝位21。

在具體實(shí)施中,在所述阻擋器3處還設(shè)置有一到位傳感器7,連接于圖像檢測(cè)系統(tǒng)5,適于在檢測(cè)到芯片框架2移動(dòng)至阻擋器3時(shí)通知圖像檢測(cè)系統(tǒng)5控制圖像獲取裝置4對(duì)芯片進(jìn)行拍照。

在具體實(shí)施中,在與芯片框架2上的安裝位21正對(duì)的導(dǎo)軌1下方還設(shè)置有光源8。

在具體實(shí)施中,所述圖像檢測(cè)系統(tǒng)5為計(jì)算機(jī),可以在計(jì)算機(jī)中安裝檢測(cè)軟件對(duì)芯片圖像進(jìn)行處理,從而實(shí)現(xiàn)檢測(cè)目的。其中,圖像檢測(cè)系統(tǒng)的原理在于,對(duì)獲取的圖片進(jìn)行處理,通過(guò)現(xiàn)有的圖片處理技術(shù),來(lái)判斷圖片中的某些條件是否與預(yù)設(shè)的條件相同,或者在預(yù)設(shè)條件的范圍內(nèi),如果是則判定其合格,若不是則判定其不合格。具體地,在不合格時(shí),可以在圖像檢測(cè)系統(tǒng)中做出報(bào)警提示。

本實(shí)用新型利用上述芯片視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)可以對(duì)芯片進(jìn)行機(jī)器自動(dòng)檢測(cè),克服了現(xiàn)有檢測(cè)技術(shù)中個(gè),采用人為判斷芯片合格與否的不足,而且相比人工檢測(cè)的方式,更加高效。所以,本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。

上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效,而非適于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下,對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此,舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。

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