技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供的紅外探測器及其制備方法中，包括：提供一基板，基板表面具有反射層；形成犧牲層、接觸線、熱敏電阻層以及紅外吸收層，犧牲層分別位于反射層與接觸線之間、接觸線與熱敏電阻層之間以及熱敏電阻層與紅外吸收層之間，且接觸線中形成有多個孔；去除犧牲層，在接觸線與反射層之間、熱敏電阻層與接觸線之間以及紅外吸收層與熱敏電阻層之間分別形成空腔。本發(fā)明中，分別在紅外探測器中形成多個空腔，增加了熱敏電阻層的面積，使得紅外探測器中的電阻可調(diào)，增加了紅外吸收層的面積，減小紅外探測器的熱容損失，提高了器件的整體性能。并且，在接觸線中形成多個孔，使得紅外探測器的結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)固可靠，設(shè)計和制作過程中更加方便。

技術(shù)研發(fā)人員：楊天倫;毛劍宏
受保護的技術(shù)使用者：上海麗恒光微電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.31
技術(shù)公布日：2017.07.07