本發(fā)明涉及一種測(cè)溫工裝,尤其是一種用于PECVD設(shè)備中加熱盤(pán)的測(cè)溫工裝,屬于半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
傳統(tǒng)PECVD設(shè)備中加熱盤(pán)的測(cè)溫方法通常只能測(cè)試固定的幾個(gè)點(diǎn),測(cè)試點(diǎn)的數(shù)量有限導(dǎo)致無(wú)法準(zhǔn)確判斷加熱盤(pán)中各個(gè)點(diǎn)的溫度數(shù)值,且傳統(tǒng)測(cè)溫方法易受溫度影響,發(fā)生翹曲致使測(cè)試數(shù)值不能準(zhǔn)確體現(xiàn)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了一種用于PECVD設(shè)備中加熱盤(pán)的測(cè)溫工裝。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種用于PECVD設(shè)備中加熱盤(pán)的測(cè)溫工裝,包括測(cè)溫頭,基板和固定件?;迤叫兄糜诔练e加熱盤(pán)的上表面上,測(cè)溫頭通過(guò)固定件固定在基板的圓孔內(nèi)。測(cè)溫頭通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)與測(cè)溫儀器連接。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)如下:
1、本發(fā)明不會(huì)引起對(duì)加熱盤(pán)及設(shè)備的表層及亞表層損傷;
2、本發(fā)明采用表面多點(diǎn)測(cè)量的方式,可按需求對(duì)加熱盤(pán)中各點(diǎn)的溫度選擇性測(cè)試,增加了測(cè)試的數(shù)據(jù)全面性和靈活性。
3、本發(fā)明采用較厚的基板,避免了傳統(tǒng)較薄基板在高溫下易發(fā)生翹曲導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確的影響。
4、本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,容易加工,且易于在加熱盤(pán)中測(cè)試使用。
附圖說(shuō)明
圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清晰、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
如圖1所示:一種用于PECVD設(shè)備中加熱盤(pán)的測(cè)溫工裝,包括測(cè)溫頭1,基板3和固定件2?;?平行置于沉積加熱盤(pán)的上表面上,測(cè)溫頭1通過(guò)固定件2固定在基板3的圓孔內(nèi)。測(cè)溫頭1通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)與測(cè)溫儀器連接。