本發(fā)明涉及一種對通過原子力顯微鏡(afm：atomicforcemicroscope)等掃描型探針顯微鏡(spm：scanningprobemicroscope)取得的測定數(shù)據(jù)、更詳細(xì)地說表示各種物理量的分布的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并進(jìn)行圖像顯示的掃描型探針顯微鏡用數(shù)據(jù)顯示處理裝置等。

背景技術(shù)：

以afm為代表的spm一般通過設(shè)置于能夠在垂直(z軸)方向上振動的懸臂的自由端的探針(probe)，對放置于在水平(x－y平面)以及垂直方向上可動的臺上的樣品表面進(jìn)行掃描，從而觀察該樣品表面的狀態(tài)(例如專利文獻(xiàn)1)。

作為與通過通常的spm能夠觀察的樣品表面相關(guān)的信息，除形狀(凹凸)之外，還能夠舉出各種物理性能(粘彈性、吸附力、導(dǎo)電率以及磁化率等)，通過數(shù)據(jù)解析用軟件(以下稱為“解析軟件”)，分別對于它們生成單獨(dú)的測定數(shù)據(jù)(例如非專利文獻(xiàn)1)。另外，針對每個往返的掃描方向而生成這些測定數(shù)據(jù)，因此通過一次測定，關(guān)于1個樣品得到大量的測定數(shù)據(jù)。這些測定數(shù)據(jù)在上述解析軟件上作為1個群組來管理。圖10表示spm數(shù)據(jù)用解析軟件的畫面顯示的一個例子。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開平5-157554號公報(bào)

非專利文獻(xiàn)

非專利文獻(xiàn)1：「spm-9700カタログ」、株式會社島津製作所、2010年12月1日、p.8－15(“spm-9700目錄”，株式會社島津制作所，2010年12月1日，p.8－15)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

在這樣的解析軟件中，在關(guān)于屬于1個群組的測定數(shù)據(jù)群而用戶想要在畫面上作為圖像而顯示的測定數(shù)據(jù)存在多個的情況下，該用戶需要明確地指定多個測定數(shù)據(jù)。在這里，“明確地指定”包括單獨(dú)地選擇想要顯示的多個測定數(shù)據(jù)中的各個測定數(shù)據(jù)以及一并選擇該多個測定數(shù)據(jù)這兩者。

參照圖10的(a)示出具體例。在該圖中，在作為“數(shù)據(jù)選擇畫面”的窗口內(nèi)，以與樣品對應(yīng)的形式顯示有多個群組，分別對于它們以縮略圖顯示有一個或者多個測定數(shù)據(jù)。此時(shí)，在想要從如“樣品4”那樣包括大量的測定數(shù)據(jù)的群組中詳細(xì)閱覽2個以上的測定數(shù)據(jù)的情況下，用戶大致進(jìn)行如下2種操作中的某一種。首先一種是對于期望的測定數(shù)據(jù)分別單獨(dú)地進(jìn)行在測定數(shù)據(jù)的縮略圖上的雙擊等操作。另一種是在以劃定與期望的多個測定數(shù)據(jù)的縮略圖重疊的矩形區(qū)域的方式，保持按下鼠標(biāo)的左鍵的狀態(tài)移動光標(biāo)后松開該左鍵(或者伴隨著規(guī)定的快捷鍵操作)而將多個縮略圖設(shè)為臨時(shí)選擇狀態(tài)的基礎(chǔ)上，通過右點(diǎn)擊等來指示顯示。通過這樣指定了的多個測定數(shù)據(jù)在圖10的(b)所示的作為“數(shù)據(jù)顯示畫面”的窗口內(nèi)，作為具有規(guī)定的分辨率(例如512像素×512像素)的圖像而單獨(dú)地(例如該圖所示作為獨(dú)立的窗口)顯示。

然而，在上述2種中的前一種操作中，用戶需要交替地觀察數(shù)據(jù)選擇畫面與數(shù)據(jù)顯示畫面，或者根據(jù)顯示器的分辨率而頻繁地進(jìn)行顯示窗口的切換，視點(diǎn)、光標(biāo)的移動多且煩雜。另外，關(guān)于后一種操作，在通過一并指定而在數(shù)據(jù)顯示畫面內(nèi)顯示有多個測定數(shù)據(jù)之后想要追加顯示群組內(nèi)的其他測定數(shù)據(jù)的情況下，用戶需要重新指定該其他測定數(shù)據(jù)，也面臨與上述前一種操作相同的問題。

另外，上述以往的構(gòu)成以在指定時(shí)用戶正確地掌握了測定數(shù)據(jù)的內(nèi)容作為前提。然而，在群組內(nèi)，不僅逐漸累積有通過測定而得到的原樣狀態(tài)的“原始”測定數(shù)據(jù)，還逐漸累積有針對該原始測定數(shù)據(jù)實(shí)施了修正等各種編輯的測定數(shù)據(jù)。因此，根據(jù)用戶的目的，1個群組中包括的測定數(shù)據(jù)的數(shù)量有時(shí)變得龐大。而且，在編輯前與編輯后的測定數(shù)據(jù)的外觀類似的情況下，難以從數(shù)據(jù)選擇畫面中顯示的縮略圖中識別所期望的測定數(shù)據(jù)。此時(shí)，如果用戶未掌握目標(biāo)測定數(shù)據(jù)的文件名等，則為了找到該目標(biāo)測定數(shù)據(jù)，需要從縮略圖中依次或者一并指定外觀類似的測定數(shù)據(jù)并使其顯示。前一種操作當(dāng)然很煩雜，但即使在后一種操作的情況下，從在數(shù)據(jù)顯示畫面內(nèi)顯示的大量的窗口找出目標(biāo)測定數(shù)據(jù)的作業(yè)也伴隨著頻繁的窗口的切換，讓用戶厭煩。

本發(fā)明是鑒于上述情形而完成的，其目的在于，提供一種在將通過spm取得的表示各種物理量的測定數(shù)據(jù)作為圖像而顯示在顯示部的畫面上時(shí)，不強(qiáng)迫使用者進(jìn)行煩雜的操作而能夠簡便地閱覽多個測定數(shù)據(jù)的掃描型探針顯微鏡用數(shù)據(jù)顯示處理裝置等。

解決技術(shù)問題的技術(shù)手段

為了解決上述問題而完成的第1發(fā)明涉及一種掃描型探針顯微鏡用數(shù)據(jù)顯示處理裝置，其根據(jù)分別表示使用掃描型探針顯微鏡取得的規(guī)定的物理量的分布的多個測定數(shù)據(jù)，制成表示該物理量的分布的多個圖像并顯示在顯示部的畫面上，

所述掃描型探針顯微鏡用數(shù)據(jù)顯示處理裝置具備：

a)群組信息存儲部，其針對每個群組，對多個測定數(shù)據(jù)進(jìn)行管理、存儲；

b)指定數(shù)據(jù)取得單元，其從所述群組信息存儲部取得使用者指定了的測定數(shù)據(jù)即指定數(shù)據(jù)；

c)顯示控制單元，其將所述指定數(shù)據(jù)取得單元取得的所述指定數(shù)據(jù)作為圖像而顯示在所述畫面上；

d)預(yù)備圖像生成單元，其以所述指定數(shù)據(jù)的決定作為觸發(fā)，從所述群組信息存儲部取得屬于包含所述指定數(shù)據(jù)取得單元所取得的所述指定數(shù)據(jù)的群組的其他測定數(shù)據(jù)，并生成將該其他測定數(shù)據(jù)顯示在所述畫面上時(shí)的圖像即預(yù)備圖像；以及

e)第1顯示切換單元，其依照在所述畫面上顯示有所述指定數(shù)據(jù)時(shí)進(jìn)行的、所述使用者的第1規(guī)定輸入操作，使所述預(yù)備圖像生成單元生成的所述預(yù)備圖像在所述畫面上的規(guī)定區(qū)域內(nèi)切換地顯示。

在這里，作為“由使用者實(shí)施的第1規(guī)定輸入操作”，例如可列舉鼠標(biāo)滾輪的旋轉(zhuǎn)以及方向鍵、回車鍵的按下等。另外，為了防止不期望的切換顯示，也可以構(gòu)成為在通常時(shí)候即使檢測到上述輸入操作，也不進(jìn)行顯示的切換，而是通過規(guī)定的觸發(fā)事件，依照上述輸入操作而轉(zhuǎn)移到對顯示進(jìn)行切換的預(yù)備圖像的切換模式。作為上述觸發(fā)事件，例如可列舉指定數(shù)據(jù)的顯示區(qū)域內(nèi)的雙擊、多個鍵的同時(shí)按下等。

作為其他例子，在指定數(shù)據(jù)的顯示區(qū)域內(nèi)(例如左右的邊緣部附近)顯示有箭頭等標(biāo)記，在檢測到該標(biāo)記上的點(diǎn)擊操作(第1規(guī)定輸入操作)的情況下，也可以進(jìn)行圖像的切換。

根據(jù)上述構(gòu)成，當(dāng)使用者指定了屬于某個群組的多個測定數(shù)據(jù)中的特定的測定數(shù)據(jù)時(shí)，指定數(shù)據(jù)取得單元從群組信息存儲部取得該測定數(shù)據(jù)(指定數(shù)據(jù))。指定數(shù)據(jù)取得單元取得的指定數(shù)據(jù)通過顯示控制單元而如通常那樣顯示在顯示部的畫面上。另外，預(yù)備圖像生成單元取得該指定數(shù)據(jù)所屬于的群組內(nèi)的其他測定數(shù)據(jù)，生成將該取得的測定數(shù)據(jù)作為圖像顯示在顯示部的畫面上時(shí)的圖像作為預(yù)備圖像。然后，當(dāng)在畫面上顯示有上述指定數(shù)據(jù)時(shí)，若使用者進(jìn)行第1規(guī)定輸入操作，則通過第1顯示切換單元，在畫面上的規(guī)定區(qū)域內(nèi)切換地顯示通過預(yù)備圖像生成單元生成的預(yù)備圖像。

由此，使用者能夠如轉(zhuǎn)換(zapping)電視頻道那樣在畫面上切換地閱覽作為顯示對象而指定了的測定數(shù)據(jù)以及屬于與該指定了的測定數(shù)據(jù)相同的群組的其他測定數(shù)據(jù)，不需要使視點(diǎn)大幅移動，所以能夠抑制操作的煩雜性(以下，將這樣的切換閱覽稱為轉(zhuǎn)換)。另外，預(yù)先制作上述其他測定數(shù)據(jù)的顯示圖像作為預(yù)備圖像，從而能夠迅速地進(jìn)行切換。進(jìn)一步地，例如如果將切換顯示的預(yù)備圖像設(shè)為在畫面上顯示各測定數(shù)據(jù)時(shí)的初始形式，則還存在容易從該預(yù)備圖像(通過參照例如圖10的(a)所示的數(shù)據(jù)選擇畫面中的縮略圖)確定期望的測定數(shù)據(jù)這樣的優(yōu)點(diǎn)。

此外，使用者指定的測定數(shù)據(jù)(即指定數(shù)據(jù))不限于1個，也可以是多個。另外，無需對屬于與指定數(shù)據(jù)相同的群組的全部其他測定數(shù)據(jù)生成預(yù)備圖像，例如，在存在針對指定數(shù)據(jù)的編輯前以及/或者編輯后的數(shù)據(jù)的情況下，也可以僅對由同一原始數(shù)據(jù)制成的測定數(shù)據(jù)(以及該原始數(shù)據(jù))生成預(yù)備圖像。

所述預(yù)備圖像生成單元還能夠構(gòu)成為取得屬于包含所述指定數(shù)據(jù)的群組的全部其他測定數(shù)據(jù)。

由此，使用者在指定某個測定數(shù)據(jù)之后，通過上述第1規(guī)定輸入操作，能夠通過切換顯示來閱覽屬于相同的群組的全部測定數(shù)據(jù)。因此，例如當(dāng)在群組內(nèi)包括使用者未認(rèn)識的測定數(shù)據(jù)的情況下，如果是以往的結(jié)構(gòu)，則當(dāng)群組內(nèi)的測定數(shù)據(jù)數(shù)量多時(shí)，在圖10的(a)所示的數(shù)據(jù)選擇畫面(即縮略圖圖像的一覽)中使用者忽略該測定數(shù)據(jù)的可能性高，但如上所述通過轉(zhuǎn)換預(yù)備圖像，不易忽略該測定數(shù)據(jù)的存在。因此，有助于防止、糾正使用者對測定數(shù)據(jù)的種類、數(shù)量的誤認(rèn)。

所述規(guī)定區(qū)域優(yōu)選所述顯示控制單元將所述指定數(shù)據(jù)作為圖像而顯示的區(qū)域。

由此，進(jìn)一步地抑制用戶的視點(diǎn)移動量。

所述顯示控制單元優(yōu)選進(jìn)一步地依照在所述預(yù)備圖像的顯示過程中進(jìn)行的由所述使用者實(shí)施的確定操作，將與該預(yù)備圖像聯(lián)系起來的所述其他測定數(shù)據(jù)在與所述指定數(shù)據(jù)的顯示區(qū)域不同的區(qū)域中作為圖像而顯示。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，使用者通過進(jìn)行確定操作，將期望的測定數(shù)據(jù)顯示在與指定數(shù)據(jù)不同的區(qū)域中，能夠在畫面上對它們進(jìn)行比較。作為本構(gòu)成優(yōu)選的具體例，可列舉在不同的窗口中顯示指定數(shù)據(jù)以及進(jìn)行上述確定操作之后的測定數(shù)據(jù)的形式(類似于圖10的(b))。

優(yōu)選地，所述第1顯示切換單元進(jìn)一步地將隨附于各測定數(shù)據(jù)的信息附加到所述預(yù)備圖像而顯示。

隨附于測定數(shù)據(jù)的信息是指例如文件名、種類、掃描方向以及編輯處理的種類和次數(shù)等。

由此，使用者能夠在轉(zhuǎn)換群組內(nèi)的測定數(shù)據(jù)的同時(shí)，詳細(xì)掌握各測定數(shù)據(jù)的內(nèi)容，進(jìn)一步地有助于確定期望的測定數(shù)據(jù)。

所述掃描型探針顯微鏡用數(shù)據(jù)顯示處理裝置優(yōu)選地還具備：

f)顯示形式存儲部，其對于所述多個測定數(shù)據(jù)的各個測定數(shù)據(jù)，將由該測定數(shù)據(jù)能夠顯示的一個或者多個顯示形式聯(lián)系起來并存儲；

g)另外形式預(yù)備圖像生成單元，其參照所述顯示形式存儲部，確定與該指定數(shù)據(jù)聯(lián)系起來的顯示形式中的、當(dāng)前未顯示在所述畫面上或者未被指示顯示的顯示形式，并生成以該確定了的顯示形式顯示所述指定數(shù)據(jù)時(shí)的圖像即另外形式預(yù)備圖像；以及

h)第2顯示切換單元，其依照在所述畫面上顯示有所述指定數(shù)據(jù)時(shí)進(jìn)行的、所述使用者的第2規(guī)定輸入操作，使所述另外形式預(yù)備圖像生成單元生成的所述另外形式預(yù)備圖像在所述畫面上的規(guī)定區(qū)域內(nèi)切換地顯示。

在這里，作為“由使用者實(shí)施的第2規(guī)定輸入操作”，既可以與上述第1規(guī)定輸入操作相同，也可以從作為該第1規(guī)定輸入操作所舉出的操作中分配不同的操作。當(dāng)在本構(gòu)成中也構(gòu)成為能夠通過規(guī)定的觸發(fā)事件而轉(zhuǎn)移到顯示形式的切換模式的情況下，為了避免與上述預(yù)備圖像的切換模式的混淆，將不同的操作(例如應(yīng)該按下的鍵不同)設(shè)為觸發(fā)事件即可。

另外，關(guān)于在指定數(shù)據(jù)的顯示區(qū)域內(nèi)顯示受理點(diǎn)擊操作的標(biāo)記的情況，也可以通過使該標(biāo)記相對于切換測定數(shù)據(jù)時(shí)而變更，從而能夠知道切換對象的類別(測定數(shù)據(jù)/顯示形式)。

根據(jù)上述構(gòu)成，另外形式預(yù)備圖像生成單元根據(jù)保存于顯示形式存儲部的信息，生成指定數(shù)據(jù)所涉及的另外形式預(yù)備圖像。然后，當(dāng)在畫面上顯示有該指定數(shù)據(jù)時(shí)，如果使用者進(jìn)行第2規(guī)定輸入操作，則通過第2顯示切換單元，在畫面上的規(guī)定區(qū)域內(nèi)切換地顯示上述另外形式預(yù)備圖像。由此，使用者能夠關(guān)于指定數(shù)據(jù)而轉(zhuǎn)換多個顯示形式的圖像，所以即使是例如不習(xí)慣解析軟件的操作的使用者，也容易通過目視而確定符合目的的形式，有助于提高可用性。

為了解決上述問題而完成的第2發(fā)明涉及一種掃描型探針顯微鏡用數(shù)據(jù)顯示處理方法，其根據(jù)分別表示使用掃描型探針顯微鏡取得的規(guī)定的物理量的分布的多個測定數(shù)據(jù)，制成表示該物理量的分布的多個圖像并顯示在顯示部的畫面上，

所述掃描型探針顯微鏡用數(shù)據(jù)顯示處理方法包括：

a)指定數(shù)據(jù)取得步驟，從針對每個群組而對多個測定數(shù)據(jù)進(jìn)行管理、存儲的群組信息存儲部取得使用者指定了的測定數(shù)據(jù)即指定數(shù)據(jù)；

b)預(yù)備圖像生成步驟，以所述指定數(shù)據(jù)的決定作為觸發(fā)，從所述群組信息存儲部取得屬于包含在所述指定數(shù)據(jù)取得步驟中取得的所述指定數(shù)據(jù)的群組的其他測定數(shù)據(jù)，并生成在所述畫面上顯示該其他測定數(shù)據(jù)時(shí)的圖像即預(yù)備圖像；

c)顯示控制步驟，將在所述指定數(shù)據(jù)取得步驟中取得的所述指定數(shù)據(jù)作為圖像而顯示在所述畫面上；以及

d)顯示切換步驟，依照在所述畫面上顯示有所述指定數(shù)據(jù)時(shí)進(jìn)行的、所述使用者的第1規(guī)定輸入操作，使在所述預(yù)備圖像生成步驟中生成的所述預(yù)備圖像在所述畫面上的規(guī)定區(qū)域內(nèi)切換地顯示。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，在將通過spm取得的表示各種物理量的測定數(shù)據(jù)作為圖像而在顯示部的畫面上顯示時(shí)，能夠不強(qiáng)迫使用者進(jìn)行煩雜的操作而簡便地閱覽多個測定數(shù)據(jù)。

附圖說明

圖1為包括本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置的測定系統(tǒng)的概略構(gòu)成圖。

圖2為表示該實(shí)施方式所涉及的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置執(zhí)行的數(shù)據(jù)切換處理的流程的一個例子的流程圖。

圖3為該實(shí)施方式所涉及的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置的測定數(shù)據(jù)的選擇畫面的顯示例。

圖4為該實(shí)施方式所涉及的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置的指定數(shù)據(jù)的顯示畫面的顯示例。

圖5為該實(shí)施方式所涉及的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置的數(shù)據(jù)切換模式中的畫面顯示例。

圖6為在圖5所示的數(shù)據(jù)切換模式中由用戶進(jìn)行確定操作的情況下的畫面顯示例(a)以及其后進(jìn)行數(shù)據(jù)切換模式的結(jié)束操作的情況下的畫面顯示例(b)。

圖7為包括本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置的測定系統(tǒng)的概略構(gòu)成圖。

圖8為表示該實(shí)施方式所涉及的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置執(zhí)行的顯示形式切換處理的流程的一個例子的流程圖。

圖9為該實(shí)施方式所涉及的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置的顯示形式切換模式中的畫面顯示例。

圖10為以往的spm數(shù)據(jù)解析軟件的測定數(shù)據(jù)的選擇畫面的顯示例(a)以及指定數(shù)據(jù)的顯示畫面的顯示例(b)。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖，詳細(xì)說明用于實(shí)施本發(fā)明的方式。在以下的記載中，對具有與先說明的附圖相同功能的部件，附加相同編號，省略其說明。

〔第1實(shí)施方式〕

圖1為表示包括本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置的測定系統(tǒng)的概略構(gòu)成的框圖。本測定系統(tǒng)具備spm100以及用于管理spm100進(jìn)行的測定或者對由spm100進(jìn)行測定的測定結(jié)果進(jìn)行解析、編輯的、與spm100連接的工作站1(相當(dāng)于本發(fā)明的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置)。

spm100用于測定樣品表面的形狀、各種物理性能。

作為觀察對象的樣品111在設(shè)置于具有大致圓筒形狀的掃描儀113上的樣品臺112上保持。在樣品111的上方，配置有頂端具有探針115的懸臂114，未圖示的包括壓電元件的激勵部使該懸臂114振動。掃描儀113是具備壓電元件的微動機(jī)構(gòu)，根據(jù)來自掃描儀驅(qū)動部116的施加電壓，使樣品臺112在相互正交的3軸(x、y、z)的各方向上微動。掃描儀驅(qū)動部116的施加電壓通過從工作站1發(fā)出的控制信號來控制。

為了檢測懸臂114的z軸(垂直)方向的位移，在懸臂114的上方設(shè)置有包括激光源117、透鏡118、分束器119、反射鏡120以及光檢測器121的位移檢測機(jī)構(gòu)。激光源117射出的激光(由單點(diǎn)劃線圖示)經(jīng)過透鏡118的會聚以及分束器119的反射，到達(dá)懸臂114的頂端附近。用金、鋁等涂覆懸臂114的上表面(與設(shè)置有探針115的表面相反的一側(cè)的表面)，在該懸臂114上表面反射的激光在反射鏡120處反射，到達(dá)具有在z軸方向上分割成多個的受光面的光檢測器121。

在進(jìn)行基于dfm(dynamicforcemicroscope，動態(tài)力顯微鏡)模式的通常觀察時(shí)，懸臂114以其共振點(diǎn)附近的頻率f在z軸方向上振動。此時(shí)，當(dāng)在探針115與樣品111的表面之間基于原子力等的引力(或者斥力)發(fā)揮作用時(shí)，懸臂114的振動振幅變化。當(dāng)懸臂114上下地位移時(shí)，入射到光檢測器121具有的多個受光面的光量的比例變化。位移量計(jì)算部122通過對與這些多個受光面各自的受光量相應(yīng)的檢測信號進(jìn)行運(yùn)算處理，計(jì)算懸臂114的位移量，并發(fā)送到工作站1。

工作站1接受來自位移量計(jì)算部122的反饋，計(jì)算以使懸臂114的位移量變成零的方式、即以使探針115與樣品111表面之間的距離變恒定的方式使掃描儀113在z軸方向上位移的電壓值，并控制掃描儀驅(qū)動部116使掃描儀113在z軸方向上微動。另外，工作站1依照預(yù)先確定的掃描模式，以使樣品111在x－y平面內(nèi)相對于探針115相對移動的方式，計(jì)算x軸、y軸方向的電壓值，并經(jīng)由掃描儀驅(qū)動部116使掃描儀113在x軸以及y軸方向上微動。將向掃描儀驅(qū)動部116的控制信號以及來自位移量計(jì)算部122的反饋信號的各值逐次保存到工作站1。在工作站1中，這些信號值與時(shí)序信息一起被參照，根據(jù)樣品111上的x－y平面內(nèi)的各坐標(biāo)處的懸臂114的z軸方向的位移量，制成對應(yīng)于每個測定位置的高度、即樣品111表面的凹凸的測定數(shù)據(jù)。

除上述的樣品111表面的凹凸之外，通過包括spm100和工作站1的測定系統(tǒng)，還能夠測定各種物理量。作為一個例子，根據(jù)針對用于使懸臂114振動的上述激勵部的控制信號的相位與來自位移量計(jì)算部122的反饋信號的相位之間的時(shí)間上的偏移，能夠求出該樣品111表面的各部位的粘彈性、吸附力，或者，通過對懸臂114施加交流電信號，檢測作用于樣品111表面與懸臂114之間的靜電力，從而能夠求出樣品111表面的各部位的電位。此外，還存在偏差(縱向)、偏差(橫向)、振幅、sinδ、cosδ以及電流等物理量，在工作站1側(cè)制成基于各物理量的測定數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，對于它們的每一個，針對探針115對樣品111表面的每個掃描方向(去路以及歸路)，制成掃描(trace)和回掃(retrace)這2種測定數(shù)據(jù)，并作為1個群組來管理。

對工作站1的構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)說明。

工作站1的實(shí)際形式是計(jì)算機(jī)，在中央運(yùn)算處理裝置即cpu(centralprocessingunit)10上相互連接有存儲器12、由lcd(liquidcrystaldisplay，液晶顯示器)等構(gòu)成的顯示器顯示器14(相當(dāng)于本發(fā)明的顯示部)、由鍵盤、鼠標(biāo)等構(gòu)成的輸入部16以及存儲部20。其中，上述存儲器12是ram(randomaccessmemory，隨機(jī)存取存儲器)等易失性存儲裝置，存儲部20由rom(readonlymemory，只讀存儲器)、閃存存儲器、eprom(erasableprogrammablerom，可擦除可編程只讀存儲器)、eeprom(注冊商標(biāo))(electricallyeprom，電可擦寫可編程只讀存儲器)、hdd(harddiscdrive，硬盤驅(qū)動器)、ssd(solidstatedrive，固態(tài)驅(qū)動器)等非易失性存儲裝置構(gòu)成。在存儲部20中，設(shè)置有測定控制程序21、解析顯示程序22。解析顯示程序22具備的后述各要素是通過cpu10將該程序讀出到存儲器12并執(zhí)行來實(shí)現(xiàn)的功能單元。在存儲部20中，還存儲有os(operatingsystem，操作系統(tǒng))29。

工作站1具備用于掌管與外部裝置的直接連接、經(jīng)由lan(localareanetwork，局域網(wǎng))等網(wǎng)絡(luò)與外部裝置等的連接的接口(i/f)18，從該i/f18經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)纜線nw(或者無線lan)連接到spm100。此外，與工作站1連接的spm也可以是多臺。

測定控制程序21是用于控制由spm100實(shí)施的測定的應(yīng)用軟件。具體來說，在上述工作站1的功能中，向激勵部、掃描儀驅(qū)動部116送出控制信號、從位移量計(jì)算部122取得反饋信號以及將這些控制信號和反饋信號的各值保存到存儲部20等是通過執(zhí)行測定控制程序21而實(shí)現(xiàn)的動作。根據(jù)經(jīng)由輸入部16進(jìn)行的用戶輸入來對諸如所測定的物理量、測定對象區(qū)域等各種參數(shù)進(jìn)行設(shè)定這樣的功能也由測定控制程序21負(fù)責(zé)。

解析顯示程序22是用于根據(jù)測定控制程序21保存于存儲部20的各種信號值來解析由spm100進(jìn)行測定的測定結(jié)果并將該解析結(jié)果顯示器作為圖像而顯示在顯示器14的畫面上的應(yīng)用軟件。

在圖1中，如解析顯示程序22所涉及的那樣，示出了操作取得判定部31、指定數(shù)據(jù)取得部32、初始顯示圖像生成部33(相當(dāng)于本發(fā)明的預(yù)備圖像生成單元)、顯示控制部34、測定數(shù)據(jù)編輯部35、數(shù)據(jù)切換部36(相當(dāng)于本發(fā)明的第1顯示切換單元)以及群組信息數(shù)據(jù)庫(db)37(相當(dāng)于本發(fā)明的群組信息存儲部)。此外，解析顯示程序22不一定必須是與測定控制程序21分開的程序，也可以作為將兩者一體地套裝而成的應(yīng)用軟件來提供。

操作取得判定部31取得經(jīng)由輸入部16進(jìn)行的由用戶實(shí)施的輸入操作，判定其指示內(nèi)容。例如，參照輸入部16探測到的點(diǎn)擊操作、按鍵輸入以及在顯示器14的畫面上當(dāng)前顯示的gui(graphicaluserinterface，圖形用戶界面)等的信息來確定指示的內(nèi)容，根據(jù)確定結(jié)果，進(jìn)行向指定數(shù)據(jù)取得部32、測定數(shù)據(jù)編輯部35以及數(shù)據(jù)切換部36等的通知。

指定數(shù)據(jù)取得部32從后述的群組信息db37取得用戶指定的測定數(shù)據(jù)。在這里，“指定”意味著通過點(diǎn)擊、文件名輸入等操作而手動選擇應(yīng)該顯示器作為圖像而顯示在顯示器14的畫面上的測定數(shù)據(jù)。以下，將由用戶指定了的測定數(shù)據(jù)稱為“指定數(shù)據(jù)”。

初始顯示圖像生成部33從群組信息db37取得屬于包含指定數(shù)據(jù)的群組的全部其他測定數(shù)據(jù)，并且針對該取得的其他測定數(shù)據(jù)中的各測定數(shù)據(jù)而生成初始顯示圖像。本實(shí)施方式中的初始顯示圖像是指在將某個測定數(shù)據(jù)在通常的模式中選擇為顯示對象的情況下，顯示在顯示器14的畫面上時(shí)的初始形式的圖像，典型地，是512像素×512像素的俯視圖圖像。該顯示形式在大多數(shù)一般的解析軟件中是縮略圖的原始圖像，所以也可以說是適當(dāng)?shù)摹?/p>

顯示控制部34對顯示器14輸出通過解析顯示程序22處理而獲得的各種信息的影像信號。在本實(shí)施方式中，特別是如圖3所示，使群組310中所包含的8個測定數(shù)據(jù)的縮略圖311～318在數(shù)據(jù)選擇畫面300內(nèi)顯示，或者如圖4所示，使指定數(shù)據(jù)取得部32取得的指定數(shù)據(jù)圖像413在數(shù)據(jù)顯示畫面400中顯示。

測定數(shù)據(jù)編輯部35根據(jù)用戶的指示，對測定數(shù)據(jù)實(shí)施各種編輯處理。例如，對作為圖像而顯示在顯示器14的畫面上的指定數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，或者提取連接規(guī)定的2點(diǎn)的線段上的凹凸形狀的線，或者生成組合了多個顯示形式的圖像。

數(shù)據(jù)切換部36對顯示在顯示器14的畫面上的測定數(shù)據(jù)的圖像進(jìn)行切換。具體來說，向顯示控制部34輸出指示信號，以便在后述的指定數(shù)據(jù)圖像的顯示區(qū)域中，依照由用戶進(jìn)行的切換操作(相當(dāng)于本發(fā)明中的第1規(guī)定輸入操作)顯示初始顯示圖像生成部33生成的初始顯示圖像。

群組信息db37針對每個群組而保存多個測定數(shù)據(jù)的信息。將制作日期時(shí)間、對應(yīng)的文件名以及所實(shí)施的編輯處理的種類和次數(shù)等與各測定數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)起來，根據(jù)用戶的指示，對各群組進(jìn)行測定數(shù)據(jù)的追加、刪除、變更等。

＜數(shù)據(jù)切換處理的流程＞

在這里，參照作為流程圖的圖2，并且根據(jù)需要參照圖3～圖6，對本實(shí)施方式的由解析顯示程序22實(shí)施的數(shù)據(jù)切換處理的流程進(jìn)行說明。

首先，操作取得判定部31判定有沒有由用戶進(jìn)行的測定數(shù)據(jù)的指定(步驟s101)。具體來說，判定是否檢測到顯示在圖3所示的數(shù)據(jù)選擇畫面300上的多個測定數(shù)據(jù)的縮略圖(例如311～318)的顯示區(qū)域上的雙擊操作。

在這里，設(shè)為用戶使光標(biāo)c移動到屬于“樣品1”的群組310的測定數(shù)據(jù)“高度掃描掃描_傾斜度修正修正2”的縮略圖313上并進(jìn)行雙擊。由此，操作取得判定部31判定為指定了該測定數(shù)據(jù)(步驟s101中的“是”)，將該判定結(jié)果通知給指定數(shù)據(jù)取得部32以及初始顯示圖像生成部33。

于是，指定數(shù)據(jù)取得部32取得指定數(shù)據(jù)(步驟s102)。具體來說，根據(jù)從操作取得判定部31通知的判定結(jié)果，在群組信息db37中查詢測定數(shù)據(jù)“高度掃描掃描_傾斜度修正修正2”，并將它作為指定數(shù)據(jù)而取得。

進(jìn)一步地，初始顯示圖像生成部33取得屬于與上述指定數(shù)據(jù)相同的群組310的全部其他測定數(shù)據(jù)(步驟s103)。具體來說，根據(jù)來自操作取得判定部31通知的判定結(jié)果，在群組信息db37中查詢作為指定數(shù)據(jù)的測定數(shù)據(jù)“高度掃描掃描_傾斜度修正修正2”，取得該指定數(shù)據(jù)以外的全部7個測定數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，初始顯示圖像生成部33分別對于這7個測定數(shù)據(jù)，生成上述初始顯示圖像(步驟s104)。

此外，也可以同時(shí)執(zhí)行步驟s102和s103。作為其他例子，也可以構(gòu)成為在步驟s101中操作取得判定部31僅對指定數(shù)據(jù)取得部32進(jìn)行通知，在該情況下，指定數(shù)據(jù)取得部32在取得指定數(shù)據(jù)后，將對應(yīng)于該指定數(shù)據(jù)的測定數(shù)據(jù)的標(biāo)識符通知給初始顯示圖像生成部33即可。

接下來，顯示控制部34在畫面上對指定數(shù)據(jù)進(jìn)行窗口顯示(步驟s105)。具體來說，顯示控制部34在圖4所示的數(shù)據(jù)顯示畫面400中新制成窗口410，在該窗口410內(nèi)顯示對應(yīng)于測定數(shù)據(jù)“高度掃描_傾斜度修正2”的指定數(shù)據(jù)圖像413。此外，如果在本步驟之前的階段中數(shù)據(jù)顯示畫面400未顯示在顯示器14的畫面上，則在本步驟中還顯示數(shù)據(jù)顯示畫面400即可。

接下來，操作取得判定部31對針對指定數(shù)據(jù)的編輯操作的有無進(jìn)行判定(步驟s106)。具體來說，例如在能夠從數(shù)據(jù)顯示畫面400的菜單欄401的“編輯”菜單進(jìn)行各種數(shù)據(jù)編輯處理的情況下，判定是否檢測到分配給該編輯處理的gui的顯示區(qū)域中的點(diǎn)擊等操作。

在檢測到上述編輯操作的情況下(步驟s106中為“是”)，操作取得判定部31將該編輯操作內(nèi)容通知給測定數(shù)據(jù)編輯部35，測定數(shù)據(jù)編輯部35對指定數(shù)據(jù)實(shí)施與該通知內(nèi)容相應(yīng)的編輯處理(步驟s107)。

此外，圖4所示的指定數(shù)據(jù)圖像413是通過對包含在相同的“樣品1”的群組310中的測定數(shù)據(jù)“高度掃描”(對應(yīng)于圖3中的縮略圖311)進(jìn)行2次z軸方向的傾斜度修正而得到的圖像。即，在得到指定數(shù)據(jù)圖像413之前，進(jìn)行了將作為原始數(shù)據(jù)的“高度掃描”設(shè)為指定數(shù)據(jù)的一系列的編輯、保存處理。

其后，如果操作取得判定部31檢測到由用戶進(jìn)行的保存指示操作(步驟s108中為“是”)，則接受來自測定數(shù)據(jù)編輯部35的輸入，在群組信息db37中，將被實(shí)施了步驟s107中的編輯處理的指定數(shù)據(jù)追加到“樣品1”的群組310中(步驟s109)。

另一方面，如果沒有保存指示(步驟s108中為“否”)，則返回到步驟s106。

如果在步驟s106中未檢測到編輯操作(步驟s106中為“否”)，則接下來操作取得判定部31對向數(shù)據(jù)切換模式的轉(zhuǎn)移操作的有無進(jìn)行判定(步驟s110)。作為向數(shù)據(jù)切換模式的轉(zhuǎn)移操作的具體例，可列舉指定數(shù)據(jù)圖像413的顯示區(qū)域內(nèi)的雙擊、將窗口410設(shè)為最前面的狀態(tài)下的多個按鍵的按下以及規(guī)定鍵的按下與上述顯示區(qū)域內(nèi)的點(diǎn)擊的組合等。轉(zhuǎn)移操作優(yōu)選在開發(fā)程序時(shí)預(yù)先設(shè)定，也可以能夠由用戶進(jìn)行變更。如果未檢測到這樣的轉(zhuǎn)移操作(步驟s110中為“否”)，則返回到步驟s106。

另一方面，如果檢測到轉(zhuǎn)移操作(步驟s110中為“是”)，則解析顯示程序22轉(zhuǎn)移到數(shù)據(jù)切換模式(步驟s111)。

圖5的(a)表示此時(shí)的顯示器14的畫面顯示例。與圖4相比，在指定數(shù)據(jù)圖像413的左右的邊緣部附近顯示有切換標(biāo)記500。切換標(biāo)記500由前標(biāo)記501和后標(biāo)記502構(gòu)成。作為其他例子，切換標(biāo)記500的顯示位置既可以是指定數(shù)據(jù)圖像413的上下的邊緣部附近，另外也可以是指定數(shù)據(jù)圖像413的外側(cè)。

此外，為了理解處于數(shù)據(jù)切換模式，并且為了避免用戶弄錯后述的切換后的圖像的信息，優(yōu)選對提示有指定數(shù)據(jù)所固有的信息(例如窗口410右下的直方圖等)的區(qū)域的像素值進(jìn)行變更，使它們的辨識性降低。

首先，操作取得判定部31對數(shù)據(jù)切換模式的結(jié)束操作的有無進(jìn)行判定(步驟s112)。數(shù)據(jù)切換模式的結(jié)束操作既可以是與向數(shù)據(jù)切換模式的轉(zhuǎn)移操作相同的操作，也可以是不同的操作。但是，需要是不與后述的切換操作、確定操作混淆的操作。該結(jié)束操作也可以能夠由用戶任意地變更。如果檢測到結(jié)束操作(步驟s112中為“是”)，則解析顯示程序22結(jié)束數(shù)據(jù)切換模式(步驟s117)，返回到步驟s106。

如果未檢測到結(jié)束操作(步驟s112中為“否”)，則接下來操作取得判定部31對切換操作的有無進(jìn)行判定(步驟s113)。具體來說，在圖5的(a)所示的例子中，判定是否檢測到前標(biāo)記501以及后標(biāo)記502中的某一個的顯示區(qū)域(及其附近)的點(diǎn)擊操作。作為其他例子，切換操作既可以是左右或者上下的方向鍵的按下，也可以是鼠標(biāo)滾輪的滾動。如果未檢測到這樣的切換操作(步驟s113中為“否”)，則返回到步驟s112。

如果檢測到切換操作(步驟s113中為“是”)，則數(shù)據(jù)切換部36在窗口410中切換顯示測定數(shù)據(jù)的圖像(步驟s114)。在這里，“測定數(shù)據(jù)的圖像”是指關(guān)于指定數(shù)據(jù)以外的數(shù)據(jù)而在步驟s104中生成的初始顯示圖像。因此，例如當(dāng)在圖5的(a)所示的狀態(tài)下檢測到后標(biāo)記502上的點(diǎn)擊操作時(shí)，數(shù)據(jù)切換部36對顯示控制部34發(fā)出指示，以從指定數(shù)據(jù)圖像413切換為顯示在群組310中在“高度掃描_傾斜度修正2”之后相應(yīng)的測定數(shù)據(jù)“高度回掃”(對應(yīng)于圖3中的縮略圖314)的初始顯示圖像514。圖5的(b)示出了由此得到的畫面顯示例(為了簡化，僅圖示窗口410內(nèi))。如果在該狀態(tài)下進(jìn)一步地檢測到后標(biāo)記502上的點(diǎn)擊操作，則進(jìn)一步地從初始顯示圖像514切換為顯示接下來的測定數(shù)據(jù)“電位追蹤”(對應(yīng)于圖3中的縮略圖315)的初始顯示圖像515(圖5的(c))。同樣地，如果在圖5的(a)所示的狀態(tài)下檢測到前標(biāo)記501上的點(diǎn)擊操作，則從指定數(shù)據(jù)圖像413切換為顯示在群組310中在“高度掃描_傾斜度修正2”之前相應(yīng)的測定數(shù)據(jù)“高度掃描_傾斜度修正1”(對應(yīng)于圖3中的縮略圖312)的初始顯示圖像(省略圖示)。

此外，在通過向一個方向重復(fù)切換顯示而達(dá)到群組310內(nèi)的最先/最后的測定數(shù)據(jù)的情況下，既可以將切換標(biāo)記500中的前標(biāo)記501/后標(biāo)記502設(shè)為非顯示而變成無法切換，也可以能夠以環(huán)路方式切換為群組310內(nèi)的最后/最先的測定數(shù)據(jù)。

在這里，為了向用戶通知切換顯示了的初始顯示圖像分別是對應(yīng)于哪個測定數(shù)據(jù)的圖像，如圖5的(b)以及(c)所示，優(yōu)選在初始顯示圖像514、515中分別附加并顯示表示測定數(shù)據(jù)的種類等的附加信息514i、515i(相當(dāng)于本發(fā)明的隨附于各測定數(shù)據(jù)的信息)。這樣的信息基于在步驟s103中從群組信息db37取得的測定數(shù)據(jù)而制成即可。作為附加信息514i、515i的例子，除測定數(shù)據(jù)的種類以及掃描方向之外，還可列舉制作測定數(shù)據(jù)的日期時(shí)間、對應(yīng)的文件名以及群組310內(nèi)的總測定數(shù)據(jù)數(shù)量和該測定數(shù)據(jù)是其中第幾個等。進(jìn)一步地，也可以附加直至制成該測定數(shù)據(jù)為止實(shí)施了的編輯處理的種類及其次數(shù)(即編輯歷史)等。編輯歷史例如在由同一原始數(shù)據(jù)制作的編輯后的測定數(shù)據(jù)存在多個的情況下，在用戶對該編輯后的測定數(shù)據(jù)進(jìn)行切換顯示并比較時(shí)，能夠成為根據(jù)噪聲少、辨識性高這樣的觀點(diǎn)來確定優(yōu)選的測定數(shù)據(jù)(及其制成方法)時(shí)的識別信息。此外，在該圖中，附加信息514i、515i以重疊于初始顯示圖像514、515的方式顯示，但顯示形式不限定于此，例如，既可以在窗口410的空白區(qū)域中顯示，也可以將附加信息514i、515i作為圖像而嵌入到初始顯示圖像514、515。

接下來，操作取得判定部31對確定操作的有無進(jìn)行判定(步驟s115)。這里的“確定”意味著對于為了簡便地閱覽測定數(shù)據(jù)而顯示的初始顯示圖像，將與該初始顯示圖像對應(yīng)的測定數(shù)據(jù)設(shè)為新的指定數(shù)據(jù)。作為確定操作的例子，例如可列舉初始顯示圖像的顯示區(qū)域中的、切換標(biāo)記及其附近以外的區(qū)域中的點(diǎn)擊操作、回車鍵的按下等。如果未檢測到這樣的確定操作(步驟s115中為“否”)，則返回到步驟s112。

如果檢測到確定操作(步驟s115中為“是”)，則顯示控制部34在顯示器14的畫面上在新窗口中顯示所確定的測定數(shù)據(jù)(步驟s116)。具體來說，指定數(shù)據(jù)取得部32針對與在步驟s115中判定為“是”的時(shí)刻在窗口410內(nèi)顯示的初始顯示圖像相對應(yīng)的測定數(shù)據(jù)，執(zhí)行步驟s102以及s105的處理。當(dāng)在同一群組310內(nèi)指定新的測定數(shù)據(jù)的情況下，能夠省略步驟s103以及s104。先前的指定數(shù)據(jù)的初始顯示圖像使用上次的在步驟s105中顯示的圖像即可。然后，與窗口410相關(guān)的處理返回到步驟s112。

圖6的(a)示出了此時(shí)的顯示器14的畫面顯示例。在這里，設(shè)為在圖5的(b)所示的初始顯示圖像514的顯示過程中進(jìn)行了確定操作。由此，將測定數(shù)據(jù)“高度回掃”確定為新的指定數(shù)據(jù)，并在新窗口420內(nèi)顯示該測定數(shù)據(jù)的指定數(shù)據(jù)圖像414。在這里，在期望比較該指定數(shù)據(jù)圖像414與先前的指定數(shù)據(jù)即“高度掃描_傾斜度修正2”的指定數(shù)據(jù)圖像413的情況下，用戶選擇窗口410，進(jìn)行數(shù)據(jù)切換模式的結(jié)束操作即可。圖6的(b)示出了由此得到的畫面顯示例。作為其他例子，也可以將步驟s115中的確定操作替換成步驟s112中的結(jié)束操作，使窗口410的數(shù)據(jù)切換模式結(jié)束。

此外，如上所述，在步驟s115中確定了的測定數(shù)據(jù)成為新的指定數(shù)據(jù)，顯示該指定數(shù)據(jù)的圖像的新的窗口也是步驟s106～s117的適用對象。即，在圖6所示的窗口420中也能夠切換地顯示測定數(shù)據(jù)的圖像。

另外，在圖2中步驟s106～s109與步驟s110～s117的順序也可以相反。

根據(jù)以上說明的處理，當(dāng)用戶將期望的測定數(shù)據(jù)指定為顯示對象時(shí)，從群組信息db37取得屬于包含該指定了的測定數(shù)據(jù)(指定數(shù)據(jù))的群組310的全部測定數(shù)據(jù)，對于指定數(shù)據(jù)，在數(shù)據(jù)顯示畫面400內(nèi)的窗口410中顯示指定數(shù)據(jù)圖像413，對于指定數(shù)據(jù)以外的測定數(shù)據(jù)，生成在將該測定數(shù)據(jù)選擇為顯示對象(即變成指定數(shù)據(jù))的情況下最先顯示的圖像即初始顯示圖像。然后，通過在指定數(shù)據(jù)圖像413的顯示過程中用戶進(jìn)行規(guī)定的轉(zhuǎn)移操作，窗口410轉(zhuǎn)移到數(shù)據(jù)切換模式，用戶通過點(diǎn)擊在指定數(shù)據(jù)圖像413的顯示區(qū)域內(nèi)(或者附近)顯示的切換標(biāo)記500等簡便的操作，能夠在窗口410內(nèi)切換地顯示指定數(shù)據(jù)圖像413以及7個初始顯示圖像。換而言之，能夠進(jìn)行群組310內(nèi)的全部測定數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)換(切換閱覽)，能夠簡便地目視確認(rèn)各測定數(shù)據(jù)。另外，如上所述，通過將切換操作設(shè)為視點(diǎn)移動少的簡便的操作，能夠大幅降低閱覽多個測定數(shù)據(jù)時(shí)的煩雜。

進(jìn)一步地，當(dāng)在轉(zhuǎn)換中發(fā)現(xiàn)期望的測定數(shù)據(jù)的情況下，通過在該測定數(shù)據(jù)的初始顯示圖像的顯示過程中進(jìn)行規(guī)定的確定操作，將該測定數(shù)據(jù)作為新的指定數(shù)據(jù)而在另外的窗口420顯示。由此，容易在2個不同的窗口410、420中顯示不同的測定數(shù)據(jù)并進(jìn)行比較，對于用戶而言提高了便利性。

另外，如本實(shí)施方式那樣，能夠閱覽與指定數(shù)據(jù)屬于同一群組310的全部測定數(shù)據(jù)，由此能夠降低用戶自身也未認(rèn)識到的測定數(shù)據(jù)的存在被忽略的風(fēng)險(xiǎn)。

〔第2實(shí)施方式〕

在上述第1實(shí)施方式中，說明了針對每個測定數(shù)據(jù)生成1個初始顯示圖像并對它進(jìn)行切換顯示的構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，進(jìn)一步地說明能夠簡便地轉(zhuǎn)換基于多個顯示形式的指定數(shù)據(jù)的圖像的構(gòu)成。

通常，在spm用的解析軟件中，1個測定數(shù)據(jù)對應(yīng)有多個顯示形式。例如，存在俯視圖、高低(2d)、線(2d)、網(wǎng)格(2d)、等高線、陰影、混合、高低(3d)、線(3d)、網(wǎng)格(3d)等顯示形式，根據(jù)測定數(shù)據(jù)的種類，能夠?qū)?yīng)的顯示形式也有時(shí)不同。以往，在關(guān)于顯示中的測定數(shù)據(jù)想要變更顯示形式的情況下，例如在圖4所示的數(shù)據(jù)顯示畫面400中，用戶需要從菜單欄401的“顯示”菜單設(shè)定顯示形式。但是，在所設(shè)定的顯示形式與期望的顯示形式不同的情況下，需要進(jìn)行再次的設(shè)定，目標(biāo)顯示形式對于用戶而言不明確的情況下的探索作業(yè)是煩雜的。如上所述，本實(shí)施方式通過轉(zhuǎn)換來解決該問題。

圖7為表示包括本發(fā)明第2實(shí)施方式所涉及的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置的測定系統(tǒng)的概略構(gòu)成的框圖。本測定系統(tǒng)具備spm100和工作站1a。關(guān)于spm100的內(nèi)部構(gòu)成，與上述第1實(shí)施方式相同，所以省略圖示。

工作站1a是在上述第1實(shí)施方式所涉及的工作站1中代替解析顯示程序22而具備解析顯示程序22a的結(jié)構(gòu)。解析顯示程序22a除解析顯示程序22具備的各要素之外，還具備對應(yīng)形式圖像生成部71(相當(dāng)于本發(fā)明的另外形式預(yù)備圖像生成單元)和顯示形式切換部72(相當(dāng)于本發(fā)明的第2顯示切換單元)。另外，本實(shí)施方式中的群組信息db37也相當(dāng)于本發(fā)明的顯示形式存儲部。

對應(yīng)形式圖像生成部71根據(jù)指定數(shù)據(jù)取得部32取得的指定數(shù)據(jù)的信息，確定該指定數(shù)據(jù)對應(yīng)的全部其他顯示形式，并且對于該確定了的顯示形式中的各顯示形式，生成在顯示器14的畫面上顯示時(shí)的初始形式的圖像即另外形式初始顯示圖像。這里的初始形式，具體來說，意味著對于例如顏色、亮度以及3d而在針對俯瞰、旋轉(zhuǎn)角度等各種參數(shù)選擇各顯示形式的情況下反映了最先應(yīng)用的值的形式。另外，“其他顯示形式”意味著從與指定數(shù)據(jù)能夠?qū)?yīng)的全部顯示形式除去當(dāng)前畫面上顯示(或者指示了顯示)的顯示形式。

顯示形式切換部72對在顯示器14的畫面上顯示的指定數(shù)據(jù)的顯示形式進(jìn)行切換。具體來說，向顯示控制部34輸出指示信號，以在上述第1實(shí)施方式中示出的指定數(shù)據(jù)圖像的顯示區(qū)域中，依照由用戶進(jìn)行的切換操作(相當(dāng)于本發(fā)明中的第2規(guī)定輸入操作)顯示對應(yīng)形式圖像生成部71生成的另外形式初始顯示圖像。

＜顯示形式切換處理的流程＞

在這里，參照作為流程圖的圖8，并且根據(jù)需要參照圖9，對本實(shí)施方式的解析顯示程序22a的顯示形式切換處理的流程進(jìn)行說明。此外，在本實(shí)施方式中，與上述第1實(shí)施方式中的數(shù)據(jù)切換模式同樣地，通過在顯示指定數(shù)據(jù)圖像后進(jìn)行規(guī)定的轉(zhuǎn)移操作，開始顯示形式切換模式。向顯示形式切換模式的轉(zhuǎn)移操作設(shè)為與上述第1實(shí)施方式中的向數(shù)據(jù)切換模式的轉(zhuǎn)移操作、該模式的結(jié)束操作不重復(fù)的操作。

為了簡化說明，在圖8中，僅示出了本實(shí)施方式中的特征性的處理。在本實(shí)施方式中，也設(shè)為從與上述第1實(shí)施方式相同的群組310(參照圖3)將測定數(shù)據(jù)“高度掃描_傾斜度修正2”選擇為指定數(shù)據(jù)，至少執(zhí)行步驟s101～s105(參照圖2)?？梢栽陲@示形式切換模式開始之前或者結(jié)束后，執(zhí)行步驟s106之后的步驟。

圖9示出了(僅圖示窗口410內(nèi))顯示形式切換模式中的顯示器14的畫面顯示例。在本模式中，優(yōu)選顯示與圖5的(a)所示的數(shù)據(jù)切換模式中的切換標(biāo)記500不同的切換標(biāo)記900(前標(biāo)記901以及后標(biāo)記902)。關(guān)于切換標(biāo)記900的顯示位置，與切換標(biāo)記500相同。

首先，對應(yīng)形式圖像生成部71確定與指定數(shù)據(jù)能夠?qū)?yīng)的全部其他顯示形式(步驟s203)。具體來說，在群組信息db37中查詢在圖2所示的步驟s102中取得的指定數(shù)據(jù)“高度掃描_傾斜度修正2”，確定與該指定數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)起來的、當(dāng)前顯示中的形式以外的顯示形式。對應(yīng)形式圖像生成部71進(jìn)一步地對該確定的顯示形式中的各顯示形式，生成上述另外形式初始顯示圖像(步驟s204)。

接下來，操作取得判定部31對顯示形式切換模式的結(jié)束操作的有無進(jìn)行判定(步驟s212)。該結(jié)束操作也可以是與數(shù)據(jù)切換模式的結(jié)束操作相同的操作，優(yōu)選的是，用戶能夠任意地變更。但是，與上述第1實(shí)施方式相同，需要是與后述的切換操作、確定操作不混淆的操作。如果檢測到結(jié)束操作(步驟s212中為“是”)，則解析顯示程序22結(jié)束顯示形式切換模式。

如果未檢測到結(jié)束操作(步驟s212中為“否”)，則接下來操作取得判定部31對切換操作的有無進(jìn)行判定(步驟s213)。本步驟中的處理與上述第1實(shí)施方式中的步驟s113相同，切換操作也可以相同。如果未檢測到這樣的切換操作(步驟s213中為“否”)，則返回到步驟s212。

如果檢測到切換操作(步驟s213中為“是”)，則顯示形式切換部72在窗口410中切換顯示不同形式的圖像(步驟s214)。在這里，“不同形式的圖像”是指關(guān)于圖9所示的俯視圖形式以外而在步驟s204中生成的另外形式初始顯示圖像。因此，例如當(dāng)在圖9所示的狀態(tài)下檢測到后標(biāo)記902上的點(diǎn)擊操作時(shí)，顯示形式切換部72對顯示控制部34發(fā)出指示，以從指定數(shù)據(jù)圖像413(俯視圖形式)切換為顯示在群組310中在“俯視圖”之后相應(yīng)的顯示形式“高低2d”的初始形式的圖像(省略圖示)。關(guān)于切換顯示的形式，與上述第1實(shí)施方式相同，代替測定數(shù)據(jù)的初始顯示圖像而切換地顯示指定數(shù)據(jù)的另外形式初始顯示圖像。

接下來，操作取得判定部31對確定操作的有無進(jìn)行判定(步驟s215)。本步驟中的處理與上述第1實(shí)施方式中的步驟s115相同，確定動作也可以相同。如果未檢測到這樣的確定操作(步驟s215中為“否”)，則返回到步驟s212。

如果檢測到確定操作(步驟s215中為“是”)，則顯示控制部34在顯示器14的畫面上在新窗口中顯示所確定的顯示形式的指定數(shù)據(jù)圖像(步驟s216)。具體來說，顯示控制部34以與在步驟s215中判定為“是”的時(shí)刻在窗口410內(nèi)顯示的另外形式初始顯示圖像相對應(yīng)的顯示形式，顯示指定數(shù)據(jù)圖像。然后，與窗口410相關(guān)的處理返回到步驟s212。

在想要將所確定的顯示形式與俯視圖圖像進(jìn)行比較的情況下，與上述第1實(shí)施方式相同，在窗口410中進(jìn)行上述結(jié)束操作即可。另外，如果在該新窗口中進(jìn)行了向顯示形式切換模式的轉(zhuǎn)移操作，則在該新窗口中執(zhí)行步驟s212～s216。與俯視圖相關(guān)的另外形式初始顯示圖像利用在圖2所示的步驟s105中顯示的圖像即可。

此外，在本實(shí)施方式中，執(zhí)行步驟s203以及s204的時(shí)機(jī)也可以不限定于圖8所示的顯示形式切換模式的開始之后。例如，也可以在圖2所示的步驟s102與s105之間執(zhí)行步驟s203以及s204。

根據(jù)以上說明的處理，除上述第1實(shí)施方式之外，用戶還通過在指定數(shù)據(jù)圖像413的顯示過程中進(jìn)行用于向顯示形式切換模式轉(zhuǎn)移的規(guī)定操作，來確定對于該指定數(shù)據(jù)能夠?qū)?yīng)的全部其他顯示形式，并且分別對于它們生成另外形式初始顯示圖像。該另外形式初始顯示圖像具有與上述第1實(shí)施方式中的初始顯示圖像類似的概念，即，為在選擇了該顯示形式的情況下最先顯示的圖像。然后，通過與該第1實(shí)施方式相同的簡便的切換操作，能夠?qū)⒅付〝?shù)據(jù)作為圖像而顯示時(shí)的各種顯示形式進(jìn)行轉(zhuǎn)換。

另外，通過將所確定的顯示形式顯示在其他窗口中，容易進(jìn)行多個顯示形式之間的比較。進(jìn)一步地，能夠?qū)?yīng)的全部顯示形式進(jìn)行轉(zhuǎn)換，從而即使是例如不習(xí)慣解析軟件的操作的用戶，也容易通過目視確定最符合自身的目的的顯示形式，有助于提高可用性。

〔變更例〕

本發(fā)明不限定于上述各實(shí)施方式，允許在本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)適當(dāng)變更。以下，記載本發(fā)明的變更例的一小部分。

在上述各實(shí)施方式中，將輸入部16作為鼠標(biāo)、鍵盤來進(jìn)行了說明，但輸入部16也可以是觸摸面板。在通過觸摸面板來實(shí)現(xiàn)輸入部16的情況下，也可以將向數(shù)據(jù)切換模式或者顯示形式切換模式的轉(zhuǎn)移觸發(fā)設(shè)為指定數(shù)據(jù)圖像413上的多點(diǎn)觸摸(例如3點(diǎn)以上)。

另外，在上述各實(shí)施方式中，構(gòu)成為當(dāng)在數(shù)據(jù)/顯示形式切換模式中進(jìn)行確定操作之后，在新窗口中顯示所確定的測定數(shù)據(jù)/顯示形式來進(jìn)行了說明。作為其他例子，還能夠構(gòu)成為在向數(shù)據(jù)/顯示形式切換模式轉(zhuǎn)移時(shí)顯示新窗口，在該新窗口內(nèi)切換顯示其他測定數(shù)據(jù)，通過確定操作在該新窗口中顯示該確定了的測定數(shù)據(jù)的指定數(shù)據(jù)圖像。進(jìn)一步地，作為其他例子，也可以不劃分窗口，即僅在窗口410中進(jìn)行切換顯示以及新的指定數(shù)據(jù)圖像的顯示。在切換顯示的目的是探索測定數(shù)據(jù)而不需要進(jìn)行比較的情況下，通過應(yīng)用本構(gòu)成，能夠使顯示區(qū)域省空間化。

在上述第1實(shí)施方式中，在步驟s103中初始顯示圖像生成部33取得屬于群組310的全部其他測定數(shù)據(jù)，從而能夠轉(zhuǎn)換該群組310內(nèi)的全部測定數(shù)據(jù)。但是，取得屬于與指定數(shù)據(jù)相同的群組的全部其他測定數(shù)據(jù)在本發(fā)明中不是必需的功能。具體來說，例如在指定數(shù)據(jù)是由群組內(nèi)的其他測定數(shù)據(jù)的編輯后的數(shù)據(jù)的情況下，初始顯示圖像生成部33也可以從群組信息db37取得由與該指定數(shù)據(jù)相同的原始數(shù)據(jù)制成的其他測定數(shù)據(jù)群以及該原始數(shù)據(jù)，僅關(guān)于它們生成初始顯示圖像。作為其他狀況，也可以當(dāng)在群組內(nèi)存在基于指定數(shù)據(jù)的編輯后的數(shù)據(jù)的情況下，取得基于該指定數(shù)據(jù)制成的測定數(shù)據(jù)群，生成各自的初始顯示圖像。這些構(gòu)成在針對反映了某個物理量的原始測定數(shù)據(jù)而實(shí)施大量的編輯處理之后探索最美觀的測定數(shù)據(jù)的狀況下十分有用。

另外，作為本發(fā)明的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置的一個例子，列舉了具備解析顯示程序22、22a的工作站1、1a，但本發(fā)明的spm用數(shù)據(jù)顯示處理裝置也能夠通過搭載有該程序的pc來實(shí)現(xiàn)。

符號說明

1、1a…工作站

10…cpu

100…spm

111…樣品

112…樣品臺

113…掃描儀

114…懸臂

115…探針

116…掃描儀驅(qū)動部

117…激光源

118…透鏡

119…分束器

12…存儲器

120…反射鏡

121…光檢測器

122…位移量計(jì)算部

14…顯示器

16…輸入部

18…i/f

20…存儲部

21…測定控制程序

22、22a…解析/顯示程序

300…數(shù)據(jù)選擇畫面

31…操作取得/判定部

310…群組

311、312、313、314、315、316、317、318…測定數(shù)據(jù)的縮略圖

32…指定數(shù)據(jù)取得部

33…初始顯示圖像生成部

34…顯示控制部

35…測定數(shù)據(jù)編輯部

36…數(shù)據(jù)切換部

37…群組信息db

400…數(shù)據(jù)顯示畫面

401…菜單欄

410…窗口

410…該窗口

413、414…指定數(shù)據(jù)圖像

420…新窗口

500、900…切換標(biāo)記

501、901…前標(biāo)記

502、902…后標(biāo)記

514、515…初始顯示圖像

514i、515i…附加信息

71…對應(yīng)形式圖像生成部

72…顯示形式切換部

c…光標(biāo)。