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用于測(cè)定壓力測(cè)量信號(hào)的方法以及用于該方法的壓力測(cè)量裝置與流程

文檔序號(hào):11529895閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于測(cè)定電容式壓力測(cè)量單元(1)中的壓力測(cè)量信號(hào)(D)的方法,所述壓力測(cè)量單元包括主體(3)和配置在所述主體(3)的前面的測(cè)量膜(5)。電極(7,9,11)配置在所述主體(3)和所述測(cè)量膜(5)上,并且在所述測(cè)量膜(5)的具有高的壓力敏感性的區(qū)域中形成測(cè)量電容(Cm)并在所述測(cè)量膜(5)的具有低的壓力敏感性的區(qū)域中形成基準(zhǔn)電容(Cr),其中根據(jù)所述測(cè)量電容(Cm)和所述基準(zhǔn)電容(Cr)的第一種估算(A1),對(duì)所述測(cè)量電容(Cm)和所述基準(zhǔn)電容(Cr)進(jìn)行彼此獨(dú)立地檢測(cè),并且在第一測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)定所述壓力測(cè)量信號(hào)(D),以及根據(jù)所述基準(zhǔn)電容(Cr)的第二種估算(A2)在第二測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)定所述壓力測(cè)量信號(hào)(D),并且如果根據(jù)第一種估算(A1)的所述壓力測(cè)量信號(hào)(D)超過(guò)極限值(x),那么發(fā)生從第一種估算(A1)到第二種估算(A2)的轉(zhuǎn)變。

技術(shù)研發(fā)人員:約恩·雅各布;伯恩哈德·韋勒
受保護(hù)的技術(shù)使用者:VEGA格里沙貝兩合公司
技術(shù)研發(fā)日:2014.10.17
技術(shù)公布日:2017.08.18
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