一種納米探針的對準(zhǔn)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種納米探針的對準(zhǔn)裝置，所述對準(zhǔn)裝置至少包括：基座，基座壁上開設(shè)有從基座口延伸的插槽；針管，一端套設(shè)在所述基座中，另一端的底部沿針管口設(shè)置有用于卡住所述納米探針的開口，所述針管表面還設(shè)置有與所述插槽配合固定的凸起。本實(shí)用新型通過在針管口的底部設(shè)置開口，可以快速卡住并對準(zhǔn)納米探針，防止探針偏轉(zhuǎn)。另外，本實(shí)用新型在針管表面設(shè)置凸起，基座上設(shè)置與凸起配合固定的插槽，可以防止針管轉(zhuǎn)動，進(jìn)一步確保納米探針的對準(zhǔn)精度，從而提高探針的裝載效率以及測試效率和準(zhǔn)確性。
【專利說明】一種納米探針的對準(zhǔn)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體測試【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種納米探針的對準(zhǔn)裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]集成電路的制造過程中，通常要對失效的晶圓進(jìn)行測試分析，以確定失效原因，進(jìn)一步提升最終成品的良率。本發(fā)明所用的納米探針正是用于失效分析中對晶體管級別目標(biāo)的電性量測。該系統(tǒng)利用一個具有若干納米探針系統(tǒng)的掃描電子顯微鏡機(jī)臺，將納米探針與晶體管或所需結(jié)構(gòu)的端點(diǎn)進(jìn)行接觸，向集成電路施加測試信號，以判斷其電學(xué)性能是否完好。在納米探針的測試系統(tǒng)中，裝載的納米探針的角度會影響測試的準(zhǔn)確性?，F(xiàn)有技術(shù)中裝載探針的裝置如圖1?圖4所示，其包括:基座IA和針管2A，所述針管2A —端套設(shè)在所述基座IA中，另一端固定納米探針3A。這種裝載結(jié)構(gòu)主要依靠手動和目測來確保探針的角度，這樣很容易造成探針針尖偏轉(zhuǎn)，使操作效率降低。
[0003]目前DCG廠商提供的測試系統(tǒng)中裝載有8根探針，由于采用了更多便利的自動化操作步驟，使得對探針裝載角度的一致性提出了更高的要求，若探針裝載后存在較大的偏差，則會顯著增加在自動化操作中發(fā)生撞針的風(fēng)險，以及后續(xù)測量中的難度。
[0004]因此，提供一種簡單高效的對準(zhǔn)裝置來確保探針裝載角度是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的課題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種納米探針的對準(zhǔn)裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中裝載納米探針時容易發(fā)生探針偏轉(zhuǎn)造成撞針且裝載效率低等的冋題。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種納米探針的對準(zhǔn)裝置，所述納米探針的對準(zhǔn)裝置至少包括:
[0007]基座，基座壁上開設(shè)有從基座口延伸的插槽；
[0008]針管，一端套設(shè)在所述基座中，另一端的底部沿針管口設(shè)置有用于卡住所述納米探針的開口，所述針管表面還設(shè)置有與所述插槽配合固定的凸起。
[0009]作為本實(shí)用新型納米探針的對準(zhǔn)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述插槽的長度范圍為I ?3cm0
[0010]作為本實(shí)用新型納米探針的對準(zhǔn)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述納米探針包括針桿和與所述針桿呈一定角度連接的針尖，所述開口卡在所述針桿和針尖的連接處。
[0011]作為本實(shí)用新型納米探針的對準(zhǔn)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述開口的長度范圍為0.5?1mm，所述開口的寬度范圍為0.05?0.1mm。
[0012]作為本實(shí)用新型納米探針的對準(zhǔn)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述凸起的形狀為圓柱體或者長方體。
[0013]作為本實(shí)用新型納米探針的對準(zhǔn)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述凸起的高度范圍為0.5 ?Icm0
[0014]作為本實(shí)用新型納米探針的對準(zhǔn)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述插槽開設(shè)在基座頂部的壁上，所述凸起相應(yīng)地設(shè)置在針管頂部。
[0015]作為本實(shí)用新型納米探針的對準(zhǔn)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述基座和針管的材質(zhì)均為不銹鋼。
[0016]如上所述，本實(shí)用新型的納米探針的對準(zhǔn)裝置，至少包括:基座，基座壁上開設(shè)有從基座口延伸的插槽；針管，一端套設(shè)在所述基座中，另一端的底部沿針管口設(shè)置有用于卡住所述納米探針的開口，所述針管表面還設(shè)置有與所述插槽配合固定的凸起。本實(shí)用新型通過在針管口的底部設(shè)置開口，可以快速卡住并對準(zhǔn)納米探針，防止探針偏轉(zhuǎn)。另外，本實(shí)用新型在針管表面設(shè)置凸起，基座上設(shè)置與凸起配合固定的插槽，可以防止針管轉(zhuǎn)動，進(jìn)一步確保納米探針的對準(zhǔn)精度，從而提尚探針的裝載效率以及測試效率和準(zhǔn)確性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為納米探針結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中針管的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3為現(xiàn)有技術(shù)中基座的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖4為現(xiàn)有技術(shù)中探針裝載在針管上的整體示意圖。
[0021]圖5為本實(shí)用新型針管的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖6為本實(shí)用新型納米探針的對準(zhǔn)裝置示意圖。
[0023]元件標(biāo)號說明
[0024]I, IA基座
[0025]11插槽
[0026]2，2A針管
[0027]21開口
[0028]22凸起
[0029]3，3A納米探針

【具體實(shí)施方式】
[0030]以下由特定的具體實(shí)施例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0031]請參閱圖5至圖6。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0032]如圖6所示，本實(shí)用新型提供一種納米探針的對準(zhǔn)裝置，所述納米探針的對準(zhǔn)裝置至少包括:基座I和針管2。
[0033]所述基座I上開設(shè)有從基座口延伸的插槽11。所述基座口是針管2的插入端，基座口為水平放置的中空圓柱體。
[0034]作為示例，所述插槽11的長度范圍控制在I?3cm。本實(shí)施例中，所述插槽11的長度優(yōu)選為2cm。當(dāng)然，在其他實(shí)例中，所述插槽11的長度也可以是1cm、1.5cm或2.5cm等。
[0035]如圖5和圖6所示，所述針管2的一端套設(shè)在所述基座I中，另一端的底部沿針管口設(shè)置有用于卡住納米探針3的開口 21。作為示例，所述開口 21的長度在0.5?Imm范圍內(nèi)，開口 21寬度以剛好卡住納米探針3為準(zhǔn)，約為0.05?0.1mm。本實(shí)施例中，所述開口21的長度為0.8mm，寬度為0.1mm0
[0036]進(jìn)一步地，所述納米探針3包括針桿和與所述針桿成一定角度連接的針尖，所述開口 21卡在所述針桿和針尖的連接處。由開口 21卡住的納米探針3在裝載時自動對準(zhǔn)角度，不會往左右發(fā)生偏移，提高探針裝載的效率。
[0037]另外，如圖5和圖6所示，在針管2表面還設(shè)置有與所述插槽11配合固定的凸起22。所述凸起22的形狀可以是圓柱體或者長方體，也可以是其他任何可以與插槽11相配合的形狀，在此不限。本實(shí)施例中，所述凸起22的形狀為圓柱體。所述凸起22的高度一般選擇在0.5?1cm，本實(shí)施例中，所述凸起22的蓋度暫選為0.6cm。針管2的直徑比基座口的直徑稍小，將針管2安裝到基座I上后，推動針管2，使針管2的凸起22沿著基座I的插槽11滑動，直至凸起22位于插槽11的最尾部固定。
[0038]優(yōu)選地，如圖6所示，所述插槽11開設(shè)在基座I頂部的壁上，相應(yīng)地，所述凸起22則設(shè)置在針管2頂部表面，以防止針管2轉(zhuǎn)動，從而保證卡在針管上的探針保持在正確的裝載位置。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，所述插槽11也可以設(shè)置在基座I的側(cè)面，凸起22相應(yīng)地制作在針管2的側(cè)面，在此不限。
[0039]作為優(yōu)選的實(shí)施例，所述基座I和針管2的材質(zhì)可以均為不銹鋼，但是并不限于此，在其他實(shí)施例中也可以選擇其他合適的材質(zhì)。
[0040]通過本實(shí)用新型的對準(zhǔn)裝置，分別將每一根納米探針3準(zhǔn)確快速的裝載在測試系統(tǒng)的每個基座中，裝載后的納米探針3角度無偏差，降低測試過程中撞針的風(fēng)險。
[0041]綜上所述，本實(shí)用新型提供一種納米探針的對準(zhǔn)裝置，對準(zhǔn)裝置至少包括:基座，基座壁上開設(shè)有從基座口延伸的插槽；針管，一端套設(shè)在所述基座中，另一端的底部沿針管口設(shè)置有用于卡住所述納米探針的開口，所述針管表面還設(shè)置有與所述插槽配合固定的凸起。本實(shí)用新型通過在針管口的底部設(shè)置開口，可以快速卡住并對準(zhǔn)納米探針，防止探針偏轉(zhuǎn)。另外，本實(shí)用新型在針管表面設(shè)置凸起，基座上設(shè)置與凸起配合固定的插槽，可以防止針管轉(zhuǎn)動，進(jìn)一步確保納米探針的對準(zhǔn)精度，從而提高探針的裝載效率以及測試效率和準(zhǔn)確性。
[0042]所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
[0043]上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種納米探針的對準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述納米探針的對準(zhǔn)裝置至少包括: 基座，基座壁上開設(shè)有從基座口延伸的插槽； 針管，一端套設(shè)在所述基座中，另一端的底部沿針管口設(shè)置有用于卡住所述納米探針的開口，所述針管表面還設(shè)置有與所述插槽配合固定的凸起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米探針的對準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述插槽的長度范圍為I ?3cm0
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米探針的對準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述納米探針包括針桿和與所述針桿呈一定角度連接的針尖，所述開口卡在所述針桿和針尖的連接處。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米探針的對準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述開口的長度范圍為0.5?1mm，所述開口的寬度范圍為0.05?0.1mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米探針的對準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述凸起的形狀為圓柱體或者長方體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米探針的對準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述凸起的高度范圍為0.5 ?Icm0
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米探針的對準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述插槽開設(shè)在基座頂部的壁上，所述凸起相應(yīng)地設(shè)置在針管頂部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米探針的對準(zhǔn)裝置，其特征在于:所述基座和針管的材質(zhì)均為不銹鋼。
【文檔編號】G01R1/067GK204203303SQ201420708767
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年11月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月21日
【發(fā)明者】李楠, 朱靈 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司