破裂檢測機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】一種破裂檢測機(jī)構(gòu)，應(yīng)用于玻璃及晶圓剝離后破裂狀態(tài)的檢出，該玻璃及該晶圓的間定義為一檢測位置，該破裂檢測機(jī)構(gòu)包括一轉(zhuǎn)動(dòng)件、至少一傳感器及一第一驅(qū)動(dòng)裝置。傳感器設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)件上，轉(zhuǎn)動(dòng)件連接于第一驅(qū)動(dòng)裝置，第一驅(qū)動(dòng)裝置能驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)件、傳感器及第一驅(qū)動(dòng)裝置能移入及移出檢測位置；由此，可用于板材(如玻璃、晶圓)破裂狀態(tài)檢出，且可降低成本，并使檢測功能提升。
【專利說明】破裂檢測機(jī)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型在于提供一種破裂檢測機(jī)構(gòu)，尤指一種可應(yīng)用于板材(如玻璃、晶圓等)破裂狀態(tài)檢出的破裂檢測機(jī)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的工業(yè)檢測機(jī)構(gòu)，已知應(yīng)用于基板或相關(guān)制程，業(yè)界僅止于對于靜態(tài)基板可在對位(Alignment)后，以四個(gè)固定式的光電傳感器(Sensor)檢測基板的四個(gè)角落的完整性，或是以荷重元(Load Cell)重量變化比對的方式，以及電荷耦合元件(CXD，Charge-coupled Device)方式檢測物件狀態(tài)。
[0003]熟知的晶圓(Wafer)通?？山Y(jié)合于一玻璃(Glass)上，以便利用該玻璃作載板進(jìn)行相關(guān)制程。該晶圓及玻璃完成相關(guān)的制程后，可經(jīng)過激光剝離(Laser Debond)等方式分離玻璃及晶圓。然而玻璃及晶圓剝離后會(huì)有應(yīng)力集中于邊緣呈不規(guī)則破裂的情形，需以破裂檢測機(jī)構(gòu)檢出，以避免玻璃等載板破裂影響晶圓造成客戶損失，然而目前業(yè)界內(nèi)并無任何應(yīng)用于玻璃及晶圓破裂檢測的適用裝置。
[0004]綜上所述，本實(shí)用新型的發(fā)明人有感上述缺失可改善，乃特潛心研究并配合學(xué)理的應(yīng)用，終于提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改善上述缺失的實(shí)用新型。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題，在于提供一種破裂檢測機(jī)構(gòu)，可用于板材(如玻璃、晶圓等)破裂狀態(tài)檢出，且可降低成本，并使檢測功能提升。
[0006]為了解決上述的技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種破裂檢測機(jī)構(gòu)，包括:一轉(zhuǎn)動(dòng)件；至少一傳感器，該至少一傳感器設(shè)置于該轉(zhuǎn)動(dòng)件上；以及一第一驅(qū)動(dòng)裝置，該轉(zhuǎn)動(dòng)件連接于該第一驅(qū)動(dòng)裝置，該第一驅(qū)動(dòng)裝置能驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0007]為了解決上述的技術(shù)問題，本實(shí)用新型還提供一種破裂檢測機(jī)構(gòu)，應(yīng)用于玻璃及晶圓剝離后破裂狀態(tài)的檢出，該玻璃及該晶圓之間定義為一檢測位置，該破裂檢測機(jī)構(gòu)包括:一轉(zhuǎn)動(dòng)件；至少一傳感器，該至少一傳感器設(shè)置于該轉(zhuǎn)動(dòng)件上；一第一驅(qū)動(dòng)裝置，該轉(zhuǎn)動(dòng)件連接于該第一驅(qū)動(dòng)裝置，該第一驅(qū)動(dòng)裝置能驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)；以及該轉(zhuǎn)動(dòng)件、該至少一傳感器及該第一驅(qū)動(dòng)裝置能移入及移出該檢測位置。
[0008]較佳的，進(jìn)一步包括一第二驅(qū)動(dòng)裝置，該第一驅(qū)動(dòng)裝置連接于該第二驅(qū)動(dòng)裝置，通過該第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)件、該至少一傳感器及該第一驅(qū)動(dòng)裝置移入及移出該檢測位置。
[0009]本實(shí)用新型至少具有下列的優(yōu)點(diǎn):
[0010]本實(shí)用新型的破裂檢測機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)件、傳感器及第一驅(qū)動(dòng)裝置。該第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)，使得傳感器可以隨著轉(zhuǎn)動(dòng)件同步轉(zhuǎn)動(dòng)，傳感器可沿著圓形的檢測線移動(dòng)，以達(dá)到全面性檢測的效果，可以大幅降低成本，并使檢測功能提升。
[0011]本實(shí)用新型的破裂檢測機(jī)構(gòu)檢出板材破裂時(shí)，可以及時(shí)機(jī)臺(tái)警告，以避免玻璃等板材破裂影響晶圓造成客戶損失。
[0012]為使能更進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的特征及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本實(shí)用新型的詳細(xì)說明與附圖，然而所附圖式僅用于提供參考與說明，并非用來對本實(shí)用新型加以限制。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型破裂檢測機(jī)構(gòu)的主視示意圖。
[0014]圖2為本實(shí)用新型破裂檢測機(jī)構(gòu)的俯視示意圖。
[0015]其中，附圖標(biāo)記說明如下:
[0016]I 玻璃
[0017]2 晶圓
[0018]3 夾具
[0019]4 拔取機(jī)構(gòu)
[0020]5 轉(zhuǎn)動(dòng)件
[0021]6 傳感器
[0022]61檢測線
[0023]7 第一驅(qū)動(dòng)裝置
[0024]8 第二驅(qū)動(dòng)裝置
[0025]100破裂檢測機(jī)構(gòu)

【具體實(shí)施方式】
[0026]請參閱圖1，為本實(shí)用新型破裂檢測機(jī)構(gòu)的前視示意圖。本實(shí)用新型提供一種破裂檢測機(jī)構(gòu)，可應(yīng)用于板材破裂狀態(tài)的檢出，該板材的類型并不限制，例如可為玻璃、晶圓、載板等各種板狀材料。在本實(shí)施例中，該破裂檢測機(jī)構(gòu)100應(yīng)用于玻璃I及晶圓2剝離后破裂狀態(tài)的檢出。該晶圓2置于一夾具3上，該夾具3可將晶圓2夾持固定。該晶圓2原先結(jié)合于玻璃I上，如圖1所不的方向，該晶圓2的頂面原先結(jié)合于玻璃I的底面，以便利用玻璃I作為載板承載晶圓2進(jìn)行相關(guān)的制程。當(dāng)玻璃I及晶圓2欲分離時(shí)，則可利用一拔取機(jī)構(gòu)4利用負(fù)壓方式將玻璃I吸附固定，進(jìn)而以激光剝離或藥劑剝離等方式分離玻璃I及晶圓2，由于玻璃I及晶圓2的剝離方式屬于熟知技術(shù)，且非本實(shí)用新型的重點(diǎn)，故不再予以贅述。
[0027]該破裂檢測機(jī)構(gòu)100包括一轉(zhuǎn)動(dòng)件5、至少一傳感器6及一第一驅(qū)動(dòng)裝置7。該轉(zhuǎn)動(dòng)件5大致呈板狀體，其形狀并不限制，例如可呈長條形或圓形等形狀，在本實(shí)施例中揭示該轉(zhuǎn)動(dòng)件5呈長條形。該轉(zhuǎn)動(dòng)件5可移動(dòng)至欲進(jìn)行破裂狀態(tài)檢出的板材的上方或下方處(定義為一檢測位置)，在本實(shí)施例中該轉(zhuǎn)動(dòng)件5可以移動(dòng)至玻璃I及晶圓2之間(檢測位置)，該破裂檢測機(jī)構(gòu)100可用于檢測玻璃I的破裂狀態(tài)，當(dāng)然也可用于檢測晶圓2的破裂狀態(tài)，使其具有上、下破裂檢出的功能。該板材的檢測位置并不限制，例如該檢測位置也可位于玻璃I的上方或晶圓2的下方，只要該破裂檢測機(jī)構(gòu)100移至鄰近該板材的一面處，即可用于該板材的破裂檢測，該破裂檢測機(jī)構(gòu)100的設(shè)置不能影響玻璃I及晶圓2的正常運(yùn)作。
[0028]該傳感器6設(shè)置的數(shù)量并不限制，例如可為一個(gè)、兩個(gè)或數(shù)個(gè)等，所述傳感器6設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)件5上，使得傳感器6可以隨著轉(zhuǎn)動(dòng)件5同步轉(zhuǎn)動(dòng)。所述傳感器6的類型并不限制，可根據(jù)需要適當(dāng)?shù)募右宰兓?，較佳但不限制為光傳感器或影像傳感器等，所述傳感器6可為一種非接觸式傳感器。所述傳感器6設(shè)置的位置并不限制，所述傳感器6可設(shè)置于該轉(zhuǎn)動(dòng)件5的中間、一端、兩端或其他適當(dāng)?shù)奈恢谩?br> [0029]該第一驅(qū)動(dòng)裝置7可為氣缸(如旋轉(zhuǎn)氣缸)或馬達(dá)(如伺服馬達(dá))等轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，該轉(zhuǎn)動(dòng)件5連接于第一驅(qū)動(dòng)裝置7，亦即該轉(zhuǎn)動(dòng)件5連接于第一驅(qū)動(dòng)裝置7的動(dòng)力輸出軸，該第一驅(qū)動(dòng)裝置7可用以驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件5轉(zhuǎn)動(dòng)，使得傳感器6可以隨著轉(zhuǎn)動(dòng)件5同步轉(zhuǎn)動(dòng)，以達(dá)到全面性檢測的效果。當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)件5轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)即可帶動(dòng)傳感器6沿著圓形的檢測線61移動(dòng)(如圖2所示)。轉(zhuǎn)動(dòng)件5轉(zhuǎn)動(dòng)的角度并不限制，例如可以是180度或360度等，該轉(zhuǎn)動(dòng)件5轉(zhuǎn)動(dòng)的角度可隨需要予以變化。
[0030]在本實(shí)施例中轉(zhuǎn)動(dòng)件5、傳感器6及第一驅(qū)動(dòng)裝置7采用可移動(dòng)方式的設(shè)置，該轉(zhuǎn)動(dòng)件5、傳感器6及第一驅(qū)動(dòng)裝置7能移入或移出玻璃I及晶圓2之間(檢測位置)。具體而言，本實(shí)用新型的破裂檢測機(jī)構(gòu)100還可以進(jìn)一步包括一第二驅(qū)動(dòng)裝置8，該第二驅(qū)動(dòng)裝置8可為氣缸、馬達(dá)等裝置，該第一驅(qū)動(dòng)裝置7適當(dāng)?shù)倪B接于第二驅(qū)動(dòng)裝置8，以便利用該第二驅(qū)動(dòng)裝置8驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件5、傳感器6及第一驅(qū)動(dòng)裝置7移入檢測位置，且在檢測完成后移出檢測位置。在本實(shí)施例中該第二驅(qū)動(dòng)裝置8為一滑軌氣缸，該第二驅(qū)動(dòng)裝置8可驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件5、傳感器6及第一驅(qū)動(dòng)裝置7以直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的方式水平的移入、移出檢測位置。
[0031]上述第二驅(qū)動(dòng)裝置8驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件5、傳感器6及第一驅(qū)動(dòng)裝置7移動(dòng)的方式并不限制，例如該第二驅(qū)動(dòng)裝置8也可以驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件5、傳感器6及第一驅(qū)動(dòng)裝置7以擺動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)或升降等各種方式移入、移出檢測位置。由于利用驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)構(gòu)件移動(dòng)的構(gòu)造屬于熟知技術(shù)，且本實(shí)用新型并不限制第二驅(qū)動(dòng)裝置8的構(gòu)造，故不再予以贅述。
[0032]另外，轉(zhuǎn)動(dòng)件5、傳感器6及第一驅(qū)動(dòng)裝置7在移動(dòng)時(shí)，也可以搭配適當(dāng)?shù)幕?、滑座或線性軸承等導(dǎo)引，使各構(gòu)件得以穩(wěn)定的動(dòng)作。另外，也可以設(shè)有適當(dāng)?shù)膫鞲衅饔枰詸z測定位，使各構(gòu)件可以準(zhǔn)確的到達(dá)定位。
[0033]請參閱圖2，為本實(shí)用新型破裂檢測機(jī)構(gòu)的俯視示意圖。該第一驅(qū)動(dòng)裝置7(如圖1所示)可用以驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件5轉(zhuǎn)動(dòng)，使得傳感器6可以隨著轉(zhuǎn)動(dòng)件5同步轉(zhuǎn)動(dòng)，傳感器6可沿著圓形的檢測線61移動(dòng)，以達(dá)到全面性檢測的效果，可以大幅降低成本，并使檢測功能提升。本實(shí)用新型破裂檢測機(jī)構(gòu)100可加掛于單晶片機(jī)臺(tái)應(yīng)用，可用于任一局部破裂檢出、任一角對折破裂檢出及粉碎破裂檢出等，以便及時(shí)機(jī)臺(tái)警告，避免玻璃等板材破裂影響晶圓造成客戶損失。
[0034]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，非意欲局限本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍，故舉凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及圖式內(nèi)容所為的等效變化，均同理皆包含于本實(shí)用新型的權(quán)利保護(hù)范圍內(nèi)，合予陳明。
【權(quán)利要求】
1.一種破裂檢測機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括: 一轉(zhuǎn)動(dòng)件； 至少一傳感器，該至少一傳感器設(shè)置于該轉(zhuǎn)動(dòng)件上；以及 一第一驅(qū)動(dòng)裝置，該轉(zhuǎn)動(dòng)件連接于該第一驅(qū)動(dòng)裝置，該第一驅(qū)動(dòng)裝置能驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該轉(zhuǎn)動(dòng)件、該至少一傳感器及該第一驅(qū)動(dòng)裝置能移入及移出一檢測位置。
3.如權(quán)利要求2所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中進(jìn)一步包括一第二驅(qū)動(dòng)裝置，該第一驅(qū)動(dòng)裝置連接于該第二驅(qū)動(dòng)裝置，通過該第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)件、該至少一傳感器及該第一驅(qū)動(dòng)裝置移入及移出該檢測位置。
4.如權(quán)利要求3所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該第二驅(qū)動(dòng)裝置為氣缸或馬達(dá)。
5.如權(quán)利要求1所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該至少一傳感器為非接觸式傳感器。
6.如權(quán)利要求1所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該第一驅(qū)動(dòng)裝置為氣缸或馬達(dá)。
7.一種破裂檢測機(jī)構(gòu)，其特征在于，應(yīng)用于玻璃及晶圓剝離后破裂狀態(tài)的檢出，該玻璃及該晶圓之間定義為一檢測位置，該破裂檢測機(jī)構(gòu)包括: 一轉(zhuǎn)動(dòng)件； 至少一傳感器，該至少一傳感器設(shè)置于該轉(zhuǎn)動(dòng)件上； 一第一驅(qū)動(dòng)裝置，該轉(zhuǎn)動(dòng)件連接于該第一驅(qū)動(dòng)裝置，該第一驅(qū)動(dòng)裝置能驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)；以及 該轉(zhuǎn)動(dòng)件、該至少一傳感器及該第一驅(qū)動(dòng)裝置能移入及移出該檢測位置。
8.如權(quán)利要求7所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中進(jìn)一步包括一第二驅(qū)動(dòng)裝置，該第一驅(qū)動(dòng)裝置連接于該第二驅(qū)動(dòng)裝置，通過該第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)動(dòng)件、該至少一傳感器及該第一驅(qū)動(dòng)裝置移入及移出該檢測位置。
9.如權(quán)利要求8所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該第二驅(qū)動(dòng)裝置為氣缸或馬達(dá)。
10.如權(quán)利要求7所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該至少一傳感器為非接觸式傳感器。
11.如權(quán)利要求7所述的破裂檢測機(jī)構(gòu)，其中該第一驅(qū)動(dòng)裝置為氣缸或馬達(dá)。
【文檔編號】G01N21/958GK204086159SQ201420468448
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年8月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月19日
【發(fā)明者】劉文明, 陳薇云 申請人:弘塑科技股份有限公司