懸臂式探針卡的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種懸臂式探針卡，包括：PCB板，探針卡板和連接器，所述探針卡板通過所述連接器可拆卸式連接于所述PCB板，所述PCB板上設(shè)置有一階梯孔，所述階梯孔內(nèi)壁的階梯上設(shè)置有第一彈簧探針接觸點，所述探針卡板上設(shè)置有第二彈簧探針接觸點，所述連接器包括多根彈簧探針，所述第一彈簧探針接觸點和所述第二彈簧探針接觸點通過所述多根彈簧探針連接。本實用新型中，PCB板與探針卡板相互獨立，可拆卸獨立更換。獨立后的探針卡板可跨平臺使用，獨立后的PCB板，可以供不同產(chǎn)品的探針卡板使用，測試時只需根據(jù)需要在探針卡板上定義好探針出針的位置，測試線材即可共用，減少了測試線材的使用數(shù)量，節(jié)約了成本。
【專利說明】懸臂式探針卡

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及集成電路設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種懸臂式探針卡。

【背景技術(shù)】
[0002]集成電路生產(chǎn)時的測試通常采用探針卡對器件進行測試，探針卡是自動測試儀與被測器件之間的橋梁，通過探針卡實現(xiàn)測試儀和被測器件的連接。隨著制造工藝的不斷提高，對探針卡的種類和性能要求也越來越高，但是傳統(tǒng)的懸臂式探針卡仍然發(fā)揮著重要的作用。
[0003]當前使用的懸臂式探針卡從外形來分，可以分為圓形懸臂式探針卡和方形懸臂式探針卡。如圖1所示，圓形懸臂式探針卡包括圓形PCB板101，所述圓形PCB板101上設(shè)置有探針出針區(qū)域103，圓形懸臂式探針卡一般大量使用在量產(chǎn)階段的晶圓測試上，根據(jù)測試機的硬件配置，可以將多個被測器件需要的探針集成在一塊探針卡上，從而進行多個被測器件的產(chǎn)品測試，提高了測試的效率；此外，該種類型的探針卡，出針數(shù)目較多，可以使用在管腳數(shù)目較多的產(chǎn)品上，因此其制作成本也相應(yīng)較高。如圖2所示，方形懸臂式探針卡包括方形PCB板102，所述方形PCB板102上設(shè)置有探針出針區(qū)域103，方形懸臂式探針卡在工程測試的環(huán)境下應(yīng)用較多，需通過導線來連接測試機，其結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，易于使用萬用表，示波器，信號發(fā)生器等外設(shè)設(shè)備來調(diào)試測試程序，分析產(chǎn)品的異常。
[0004]當前使用的懸臂式探針卡，為設(shè)置有探針區(qū)域的PCB板，有以下局限性:
[0005]1、不能跨平臺使用，即測試儀對探針卡需求不同，不同外形的探針卡不能共用，增加探針卡的制作成本；
[0006]2、體積較大，不易存放，不易管理，需要開辟專門的存儲空間與存儲環(huán)境，需要專人來管理探針卡,增加人力、物力成本的浪費；
[0007]3、如果某個部件損壞而不能修復的情況，整塊探針卡需進行報廢處理，造成該部件之外的其余部件的浪費；
[0008]4、在工程測試的環(huán)境中，探針卡與測試機的測試頭之間需要通過導線來連通，且不同的產(chǎn)品需要連接不同數(shù)量的線材，探針卡與探針卡之間不能共用線材，增加線材的損耗，同時也不利于探針卡的維護保養(yǎng)。
實用新型內(nèi)容
[0009]本實用新型的目的在于提供一種懸臂式探針卡，可跨平臺使用，便于存放，節(jié)約成本。
[0010]為了達到上述目的，本實用新型提供了一種懸臂式探針卡，包括:PCB板，探針卡板和連接器，所述探針卡板通過所述連接器可拆卸式連接于所述PCB板，所述PCB板上設(shè)置有一階梯孔，所述階梯孔內(nèi)壁的階梯上設(shè)置有第一彈簧探針接觸點，所述探針卡板上設(shè)置有第二彈簧探針接觸點，所述連接器包括多根彈簧探針，所述第一彈簧探針接觸點和所述第二彈簧探針接觸點通過所述多根彈簧探針連接。
[0011]優(yōu)選的，在上述懸臂式探針卡中，還包括設(shè)置于所述階梯上的盲孔，所述盲孔內(nèi)設(shè)置有金屬插塞，所述金屬插塞與所述第一彈簧探針接觸點連接。
[0012]優(yōu)選的，在上述懸臂式探針卡中，所述連接器還包括底座，所述彈簧探針穿過所述底座，所述彈簧探針的長度大于所述底座的厚度。
[0013]優(yōu)選的，在上述懸臂式探針卡中，所述第一彈簧探針接觸點設(shè)置于所述階梯上，所述底座固定于所述階梯孔的階梯上。
[0014]優(yōu)選的，在上述懸臂式探針卡中，所述第一彈簧探針接觸點通過盲孔與PCB板連接。
[0015]優(yōu)選的，在上述懸臂式探針卡中，所述連接器還包括多個金屬連接套，每根彈簧探針插入一個金屬連接套中。
[0016]優(yōu)選的，在上述懸臂式探針卡中，所述階梯孔的階梯上設(shè)置有彈簧探針孔，所述彈簧探針孔的直徑與所述金屬連接套的直徑相等。
[0017]優(yōu)選的，在上述懸臂式探針卡中，所述第一彈簧探針接觸點位于所述彈簧探針孔的底部，與彈簧探針直接接觸，并通過盲孔與PCB板連接。
[0018]優(yōu)選的，在上述懸臂式探針卡中，所述PCB板上設(shè)有多個定位銷，所述多個定位銷直徑各不相同。
[0019]優(yōu)選的，在上述懸臂式探針卡中，所述探針卡板上設(shè)置有定位銷孔，所述定位銷孔的階梯孔直徑與所述定位銷的直徑相等，所述定位銷孔的位置與所述定位銷的位置匹配。
[0020]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點或有益效果:
[0021]本實用新型提供的懸臂式探針卡中，PCB板與探針卡板相互獨立，可拆卸獨立更換，不影響其他部分的正常使用。獨立后的探針卡板可跨平臺使用，既可以在為圓形懸臂式探針卡上使用，也可以在方形懸臂式探針卡使用。獨立后的PCB板，可以供不同產(chǎn)品的探針卡板使用，共用PCB板后，工程測試時只需根據(jù)測試線材與測試機通道的對應(yīng)情況，預先在探針卡板上定義好探針出針的位置，測試線材即可共用，減少了測試線材因不同產(chǎn)品的不同需求的使用數(shù)量，節(jié)約了成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1為當前使用的圓形懸臂式探針卡的俯視圖；
[0023]圖2為當前使用的方形懸臂式探針卡的俯視圖；
[0024]圖3為本實用新型實施例中懸臂式探針卡的剖視示意圖；
[0025]圖4為本實用新型實施例中PCB板的俯視圖；
[0026]圖5為本實用新型實施例中探針卡板的俯視圖；
[0027]圖6為本實用新型實施例1中連接器的結(jié)構(gòu)放大示意圖；
[0028]圖7為本實用新型實施例2中連接器的結(jié)構(gòu)放大示意圖；
[0029]圖中:101-圓形PCB板；102-方形PCB板；103-探針出針區(qū)域；
[0030]202-PCB板；203_探針卡板；204_彈簧探針；205_盲孔；206_定位銷；207_螺絲孔；208_第一彈簧探針接觸點；209_階梯孔；210_連接器；211_金屬連接套；212_第二彈簧探針接觸點；213_信號通道連接點；214_定位銷孔；215_底座。

【具體實施方式】
[0031]下面將結(jié)合示意圖對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細的描述。根據(jù)下列描述并結(jié)合權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0032]實施例1
[0033]如圖3所示，本實用新型提供的一種懸臂式探針卡，包括:PCB板202，探針卡板203和連接器210，所述探針卡板203通過所述連接器210可拆卸式連接于所述PCB板202。如圖4所示，所述PCB板202上有一階梯孔209，所述階梯孔209的尺寸與所述探針卡板203的尺寸一致(即階梯孔209與彈簧探針卡板203的形狀相同，大小相等)，所述階梯孔209內(nèi)壁的階梯上設(shè)置有第一彈簧探針接觸點208，所述階梯上還設(shè)置有盲孔205，盲孔205內(nèi)設(shè)置有金屬插塞，所述第一彈簧探針接觸點208通過盲孔205內(nèi)的金屬插塞連接于所述PCB板202，具體的，連接于所述PCB板的底層電子電路。
[0034]如圖6所示，所述連接器210為彈簧探針式連接器210，所述彈簧探針式連接器210包括彈簧探針204和底座215，所述底座215固定于所述階梯孔的階梯上。優(yōu)選的，所選彈簧探針204的長度大于所述底座215的厚度，小于所述階梯孔的階梯的高度。
[0035]進一步的，如圖5所示，所述探針卡板203上設(shè)置有第二彈簧探針接觸點212，位置與PCB板202上第一彈簧探針接觸點208的位置匹配，并且一一對應(yīng)，通過導線連通，從而保證出針與外接信號的一一對應(yīng)。
[0036]探針卡板203上還設(shè)置有信號通道連接點213，所述信號通道連接點213將探針的信號引出來，使探針的信號與PCB板202上外接的信號一一對應(yīng)。
[0037]當將探針卡板203安裝在PCB板202上時，第二彈簧探針接觸點212通過所述彈簧探針與所述第一彈簧探針接觸點208連接，第一彈簧探針接觸點208又通過盲孔內(nèi)的金屬插塞連接于所述PCB板202，具體的，連接于所述PCB板的底層電子電路，從而實現(xiàn)彈簧探針卡板203與PCB板202的電路連通。
[0038]進一步的，所述PCB板202上設(shè)有多個定位銷206，所述探針卡板203上設(shè)置有定位銷孔214，所述定位銷孔214的直徑與所述定位銷206的直徑匹配。
[0039]具體的，所述多個定位銷206直徑不同，由此可以保證PCB板202與探針卡板203
安裝時，方向一致。
[0040]進一步的，所述PCB板202上設(shè)有多個螺絲，所述探針卡板203上設(shè)置有多個螺絲孔207，所述螺絲孔207的位置及尺寸與所述PCB板202上所述螺絲匹配，從而使探針卡板203和PCB板202固定牢固。
[0041]實施例2
[0042]如圖3所示，本實用新型提供的一種懸臂式探針卡，包括:PCB板202，探針卡板203和連接器210，所述探針卡板203通過所述連接器210可拆卸式連接于所述PCB板202。所述連接器210包括多根彈簧探針204和多個金屬連接套211。所述彈簧探針204的根數(shù)和所述金屬連接套211的個數(shù)相等。
[0043]進一步的，如圖7所示，每根彈簧探針204插入所述金屬連接套211中，便于彈簧探針204的安裝與更換。
[0044]所述PCB板202階梯孔的階梯上設(shè)置有彈簧探針孔，所述彈簧探針孔的直徑與所述金屬連接套211的直徑相等，將有金屬連接套211的彈簧探針204安裝于彈簧探針孔內(nèi)。
[0045]所述第一彈簧探針接觸點208位于所述彈簧探針孔的底部，與彈簧探針204直接接觸，并通過盲孔205內(nèi)的金屬插塞與PCB板202底層連接。
[0046]其他部分與前一種實施方式相同，此處不再贅述。
[0047]綜上，在本實用新型實施例提供的懸臂式探針卡中，PCB板與探針卡板相互獨立，可拆卸獨立更換，不影響其他部分的正常使用。獨立后的探針卡板可跨平臺使用，既可以在為圓形懸臂式探針卡上使用，也可以在方形懸臂式探針卡使用。獨立后的PCB板，可以供不同產(chǎn)品的探針卡板使用，共用PCB板后，工程測試時只需根據(jù)測試線材與測試機通道的對應(yīng)情況，預先在探針卡板上定義好探針出針的位置，測試線材即可共用，減少了測試線材因不同產(chǎn)品的不同需求的使用數(shù)量，節(jié)約了成本。
[0048]上述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本實用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種懸臂式探針卡，其特征在于，包括=PCB板，探針卡板和連接器，所述探針卡板通過所述連接器可拆卸式連接于所述PCB板；其中，所述PCB板上設(shè)置有一階梯孔，所述階梯孔的階梯上設(shè)置有第一彈簧探針接觸點，所述探針卡板上設(shè)置有第二彈簧探針接觸點，所述連接器包括多根彈簧探針，所述第一彈簧探針接觸點和所述第二彈簧探針接觸點通過所述多根彈簧探針連接。
2.如權(quán)利要求1所述的懸臂式探針卡，其特征在于，還包括設(shè)置于所述階梯孔的階梯上的盲孔，所述盲孔內(nèi)設(shè)置有金屬插塞，所述金屬插塞與所述第一彈簧探針接觸點連接。
3.如權(quán)利要求2所述的懸臂式探針卡，其特征在于，所述連接器還包括底座，所述彈簧探針穿過所述底座，所述彈簧探針的長度大于所述底座的厚度。
4.如權(quán)利要求3所述的懸臂式探針卡，其特征在于，所述底座固定于所述階梯孔的階梯上。
5.如權(quán)利要求2所述的懸臂式探針卡，其特征在于，所述連接器還包括多個金屬連接套，每根彈簧探針插入一個金屬連接套中。
6.如權(quán)利要求5所述的懸臂式探針卡，其特征在于，所述階梯孔的階梯上設(shè)置有彈簧探針孔，所述彈簧探針孔的直徑與所述金屬連接套的直徑相等。
7.如權(quán)利要求6所述的懸臂式探針卡，其特征在于，所述第一彈簧探針接觸點位于所述彈簧探針孔的底部，與彈簧探針直接接觸。
8.如權(quán)利要求1所述的懸臂式探針卡，其特征在于，所述PCB板上設(shè)有多個定位銷，所述多個定位銷的直徑各不相同。
9.如權(quán)利要求8所述的懸臂式探針卡，其特征在于，所述探針卡板上設(shè)置有定位銷孔，所述定位銷孔的直徑與所述定位銷的直徑相等，所述定位銷孔的位置與所述定位銷的位置匹配。
【文檔編號】G01R1/073GK204008743SQ201420423514
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年7月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月29日
【發(fā)明者】張克堂, 林光啟, 趙瑞豪, 胡啟譽, 陳禮清 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司