能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器,包括寬譜光源,輸出控制模塊,光放大器,氣室,光電探測(cè)器以及信號(hào)處理模塊,寬譜光源的輸出端與控制模塊的輸入端連接,控制模塊的輸出端與光放大器連接的輸入端連接,光放大器的輸出端連接到氣室輸入端上,氣室輸出端與光電探測(cè)器的輸入端連接,光電探測(cè)器的輸出端與信號(hào)處理模塊輸入端連接。本實(shí)用新型通過(guò)采用輸出控制模塊來(lái)選擇波長(zhǎng),并可根據(jù)需要改變探測(cè)光源的波長(zhǎng),可以測(cè)量多種不同的氣體濃度,使用波長(zhǎng)選擇控制還能減少光電探測(cè)器的使用數(shù)量,從而降低成本;再通過(guò)光放大器對(duì)特征譜線的強(qiáng)度有放大增強(qiáng),從而提高信噪比,能夠?qū)崿F(xiàn)調(diào)諧,提高了探測(cè)光的抗干擾能力和靈敏度。
【專(zhuān)利說(shuō)明】能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及圖像處理【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其是一種能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]光纖氣體傳感器的檢測(cè)原理是根據(jù)光在待測(cè)物理參數(shù)作用的情況下,待測(cè)參數(shù)可能引起的光強(qiáng)、波長(zhǎng)、頻率、相位等參數(shù)的變化,從這些可能變化的光參數(shù)中提取被測(cè)參數(shù)的信息。其一般形式為利用光纖本身的特性或外加敏感元件,將被測(cè)信號(hào)的變化調(diào)制成光參數(shù)的變化。因此光纖傳感器中根據(jù)光纖所起的作用可分為功能型光纖傳感器和非功能型光纖傳感器。非功能性的光纖氣體傳感器中的基本結(jié)構(gòu)是:將光源發(fā)射的光作為載波,氣室做為敏感元件,光強(qiáng)變化作為信號(hào)被加到光載波上,光纖作為傳輸媒介,再通過(guò)光電探測(cè)器提出信號(hào),結(jié)合光譜知識(shí)分析待測(cè)氣體的濃度等信息。目前非功能性光纖氣體傳感器存在一些由于其結(jié)構(gòu)特征所帶來(lái)的不足,主要表現(xiàn)在:光源光譜范圍大,信號(hào)弱,在噪聲環(huán)境下難于提取信號(hào),測(cè)量目標(biāo)單一,一個(gè)傳感器只能測(cè)量一種目標(biāo)氣體的相關(guān)物理參數(shù)。為了解決光纖傳感器系統(tǒng)存在的缺陷,現(xiàn)有技術(shù)采用了 一些新的結(jié)構(gòu)和方法,但這些現(xiàn)有技術(shù)均存在以下缺點(diǎn):
[0003]I)采用窄線寬光源(如:DFB激光器)實(shí)現(xiàn)目標(biāo)氣體的非特征譜線對(duì)信號(hào)的干擾。但由于DFB的發(fā)射波長(zhǎng)具有溫度敏感性,這種傳感器穩(wěn)定性控制困難;
[0004]2)采用F-P無(wú)源腔作為濾波結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)窄線寬載波。但是由LED光譜線型是高斯性,當(dāng)特征譜線位于LED光譜邊緣時(shí),強(qiáng)度極其微弱,在噪聲條件下難于提取信號(hào),這使得只能使用LED中心波長(zhǎng)附近的光譜,這種結(jié)構(gòu)一般只能測(cè)定一種目標(biāo)氣體。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器,它能實(shí)現(xiàn)多種氣體成分濃度測(cè)量,且能實(shí)現(xiàn)輸出波長(zhǎng)可調(diào),使整個(gè)系統(tǒng)穩(wěn)定性好,以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。
[0006]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器,包括寬譜光源,輸出控制模塊,光放大器,氣室,光電探測(cè)器以及信號(hào)處理模塊,寬譜光源的輸出端與控制模塊的輸入端連接,控制模塊的輸出端與光放大器連接的輸入端連接,光放大器的輸出端連接到氣室輸入端上,氣室的輸出端與光電探測(cè)器輸入端連接,光電探測(cè)器的輸出端與信號(hào)處理模塊輸入端連接;輸出控制模塊的組成包括波分解復(fù)用器,開(kāi)關(guān)陣列和波分復(fù)用器,波分解復(fù)用器的輸入端與寬譜光源的輸出端連接,波分解復(fù)用器輸出端與開(kāi)關(guān)陣列的輸入端連接,開(kāi)關(guān)陣列的輸出端與波分復(fù)用器的輸入端連接,波分復(fù)用器的輸出端與光放大器連接的輸入端連接。
[0007]所述的光源為發(fā)光二極管(LED),發(fā)射光譜半最大全寬(FWHM)在50nm以上。
[0008]所述波分解復(fù)用器及波分復(fù)用器為熔融拉錐型、介質(zhì)模型、陣列波導(dǎo)型或光柵型結(jié)構(gòu);開(kāi)關(guān)陣列為兩個(gè)以上結(jié)構(gòu)相同的單列光控開(kāi)關(guān)構(gòu)成,或一個(gè)兩列以上開(kāi)關(guān)組;且開(kāi)關(guān)陣列為磁控開(kāi)關(guān)、光控開(kāi)關(guān)或機(jī)械式開(kāi)關(guān)。
[0009]所述的氣室可以是自聚焦透鏡結(jié)構(gòu),還可以是懷特腔結(jié)構(gòu)。
[0010]工作原理:光源為L(zhǎng)ED,輻射寬譜光,通過(guò)光纖輸入波長(zhǎng)控制模塊,根據(jù)目標(biāo)氣體,由波長(zhǎng)控制模塊選擇特定波長(zhǎng)的光輸出,輸出光變?yōu)檎€寬光源,將其經(jīng)過(guò)光放大器放大后,被輸入氣室,當(dāng)探測(cè)光通過(guò)氣室后,光譜中的對(duì)應(yīng)待測(cè)物特征譜線的位置發(fā)生吸收,表現(xiàn)為光強(qiáng)發(fā)生了變化,該光強(qiáng)變化經(jīng)過(guò)光電探測(cè)器轉(zhuǎn)化為電信號(hào)再經(jīng)過(guò)A/D轉(zhuǎn)換、諧波分析等標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)分析過(guò)程,最后得到待測(cè)氣體的濃度。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型通過(guò)采用輸出控制模塊來(lái)選擇波長(zhǎng),并可根據(jù)需要改變探測(cè)光源的波長(zhǎng),可以測(cè)量多種不同的氣體濃度,使用波長(zhǎng)選擇控制還能減少光電探測(cè)器的使用數(shù)量,從而降低成本;再通過(guò)光放大器對(duì)特征譜線的強(qiáng)度有放大增強(qiáng),從而提高信噪比,能夠?qū)崿F(xiàn)調(diào)諧,提高了探測(cè)光的抗干擾能力和靈敏度。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,能實(shí)現(xiàn)測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用功能,使用效果好。
【專(zhuān)利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0012]附圖1為本實(shí)用新型的工作原理結(jié)構(gòu)示意圖;
[0013]附圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]附圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]本實(shí)用新型的實(shí)施例1:能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器的結(jié)構(gòu)如圖2所示,寬譜光源I的輸出端與控制模塊2的輸入端連接,輸出控制模塊2由波分解復(fù)用器7、開(kāi)關(guān)陣列8、波分復(fù)用器9和用于連接的光纖構(gòu)成,開(kāi)關(guān)陣列由η個(gè)單列開(kāi)關(guān)構(gòu)成,解復(fù)用器7的輸入端是輸出控制模塊2的輸入端,解復(fù)用器7有η個(gè)輸出端,通過(guò)光纖分別與η個(gè)開(kāi)關(guān)的輸入端連接,η個(gè)開(kāi)關(guān)的輸出端分別與波分復(fù)用器9的η個(gè)輸入端連接,通過(guò)開(kāi)關(guān)控制某一波長(zhǎng)的光進(jìn)入波分復(fù)用器9,波分復(fù)用器9的輸出端與光放大器3的輸入端連接,光信號(hào)被放大,光放大器3的輸出端連接到氣室4輸入端上,氣室4由兩段光纖10、16,一對(duì)自聚焦透鏡12、15,以及一只開(kāi)有兩個(gè)氣孔13、14的玻璃圓柱筒11構(gòu)成;光纖10作為氣室4輸入端與自聚焦透鏡12連接,結(jié)點(diǎn)位于自聚焦透鏡12的右方焦點(diǎn)12F,通過(guò)透鏡12的光變?yōu)橐唤M平行光,穿越氣室過(guò)程中被氣體部分吸收,平行光到達(dá)左端后由自聚焦透鏡15匯聚于焦點(diǎn)15F,并進(jìn)入光纖16做為氣室4輸出端;氣室4的輸出端與光電探測(cè)器5的輸入端連接,光電探測(cè)器5的輸出端與信號(hào)處理模塊6輸入端連接;當(dāng)探測(cè)光通過(guò)氣室后,光譜中的對(duì)應(yīng)待測(cè)物特征譜線的位置發(fā)生吸收,表現(xiàn)為光強(qiáng)發(fā)生了變化,該光強(qiáng)變化經(jīng)過(guò)光電探測(cè)器5轉(zhuǎn)化為電信號(hào)再經(jīng)過(guò)A/D轉(zhuǎn)換、諧波分析等標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)分析過(guò)程,最后得到待測(cè)氣體的濃度;開(kāi)關(guān)陣列8可以改變探測(cè)光源的波長(zhǎng),進(jìn)而可以測(cè)量多種不同的氣體濃度。
[0016]本實(shí)用新型的實(shí)施例2:能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器的結(jié)構(gòu)如圖1所示,包括寬譜光源1,輸出控制模塊2,光放大器3,氣室4,光電探測(cè)器5以及信號(hào)處理模塊6,寬譜光源I的輸出端與控制模塊2的輸入端連接,控制模塊2的輸出端與光放大器3連接的輸入端連接,輸出控制模塊2由波分解復(fù)用器7、開(kāi)關(guān)陣列8、波分復(fù)用器9和用于連接的光纖構(gòu)成,開(kāi)關(guān)陣列由η個(gè)單列開(kāi)關(guān)構(gòu)成,解復(fù)用器7的輸入端是輸出控制模塊2的輸入端,解復(fù)用器7有η個(gè)輸出端,通過(guò)光纖分別與η個(gè)開(kāi)關(guān)的輸入端連接,η個(gè)開(kāi)關(guān)的輸出端分別與波分復(fù)用器9的η個(gè)輸入端連接,通過(guò)開(kāi)關(guān)控制某一波長(zhǎng)的光進(jìn)入波分復(fù)用器9,波分復(fù)用器9的輸出端與光放大器3的輸入端連接,光信號(hào)被放大,光放大器3的輸出端連接到氣室4輸入端上,氣室4由兩段光纖17、18,兩個(gè)凹面鏡22、23、一只開(kāi)有兩個(gè)氣孔20、21的玻璃圓柱筒19構(gòu)成;光纖17 —端作為氣室的輸入端,另一端與凹面鏡鏡準(zhǔn)直器24的輸入端連接,輸出端的光在在凹面鏡22、23的反射作用下多次往返穿過(guò)氣室最后進(jìn)入準(zhǔn)直器25,準(zhǔn)直器25的另一端與光纖18連接作為氣室4的輸出,氣室4輸出端連接光電探測(cè)器5的輸入端連接,光電探測(cè)器5的輸出端與信號(hào)處理模塊6輸入端連接;波分解復(fù)用器7及波分復(fù)用器9均為波導(dǎo)陣列型(解)波分復(fù)用結(jié)構(gòu),開(kāi)關(guān)陣列8為一個(gè)η列的磁控開(kāi)關(guān)組8bI…8bn。
[0017]上述實(shí)施例中,寬譜光源I為發(fā)光二級(jí)管光源,出射光譜寬50nm以上,輻射光譜符合高斯分布或洛倫茲分 布;寬譜光源I發(fā)射寬譜光,波分解復(fù)用器7通道間隔△ λ,能夠?qū)捵V光源按照波長(zhǎng)間隔為△ λ分成η路窄譜光,根據(jù)目標(biāo)氣體的特征譜線,將開(kāi)關(guān)陣列8對(duì)應(yīng)的開(kāi)關(guān)設(shè)置為開(kāi)通狀態(tài),其它的開(kāi)關(guān)設(shè)置為斷開(kāi)狀態(tài),控制該路光通過(guò)波分復(fù)用器9,再被光放大器3放大獲得窄譜寬高強(qiáng)度的理想探測(cè)光源,當(dāng)探測(cè)光通過(guò)氣室后,光譜中的對(duì)應(yīng)待測(cè)物特征譜線的位置發(fā)生吸收,表現(xiàn)為光強(qiáng)發(fā)生了變化,該光強(qiáng)變化經(jīng)過(guò)光電探測(cè)器5轉(zhuǎn)化為電信號(hào)再經(jīng)過(guò)A/D轉(zhuǎn)換、諧波分析等標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)分析過(guò)程,最后得到待測(cè)氣體的濃度;開(kāi)關(guān)陣列8可以改變探測(cè)光源的波長(zhǎng),進(jìn)而可以測(cè)量多種不同的氣體濃度。
[0018]波分解復(fù)用器及波分復(fù)用器根據(jù)需要可以選擇熔融拉錐型、或介質(zhì)模型、或陣列波導(dǎo)型、或光柵型結(jié)構(gòu);開(kāi)關(guān)陣列可以用結(jié)構(gòu)相同的單列光控開(kāi)關(guān)構(gòu)成,也可以由多列開(kāi)關(guān)組成;開(kāi)關(guān)陣列可以是磁控開(kāi)關(guān)、光控開(kāi)關(guān)、或機(jī)械式開(kāi)關(guān)。
[0019]寬譜光源1、光放大器3,氣室4、光電探測(cè)器5以及信號(hào)處理模塊6均可購(gòu)自能實(shí)現(xiàn)上述功能的常規(guī)市售產(chǎn)品。
【權(quán)利要求】
1.一種能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器,包括寬譜光源(1),輸出控制模塊(2),光放大器(3),氣室(4),光電探測(cè)器(5)以及信號(hào)處理模塊(6),其特征在于:寬譜光源(I)的輸出端與控制模塊(2)的輸入端連接,控制模塊(2)的輸出端與光放大器(3)連接的輸入端連接,光放大器(3)的輸出端連接到氣室(4)輸入端上,氣室(4)的輸出端與光電探測(cè)器(5)的輸入端連接,光電探測(cè)器(5)的輸出端與信號(hào)處理模塊(6)輸入端連接;輸出控制模塊(2)的組成包括波分解復(fù)用器(7),開(kāi)關(guān)陣列(8)和波分復(fù)用器(9),波分解復(fù)用器(7)的輸入端與寬譜光源(I)的輸出端連接,波分解復(fù)用器(7)輸出端與開(kāi)關(guān)陣列(8)的輸入端連接,開(kāi)關(guān)陣列(8)的輸出端與波分復(fù)用器(9)的輸入端連接,波分復(fù)用器(9)的輸出端與光放大器(3)連接的輸入端連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器,其特征在于:寬譜光源(I)為發(fā)光二極管,光譜半最大全寬在50nm以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器,其特征在于:所述波分解復(fù)用器(7)及波分復(fù)用器(9)為熔融拉錐型、介質(zhì)模型、陣列波導(dǎo)型或光柵型結(jié)構(gòu);開(kāi)關(guān)陣列(8)為兩個(gè)以上結(jié)構(gòu)相同的單列光控開(kāi)關(guān)構(gòu)成,或一個(gè)兩列以上開(kāi)關(guān)組;且開(kāi)關(guān)陣列(8)為磁控開(kāi)關(guān)、光控開(kāi)關(guān)或機(jī)械式開(kāi)關(guān)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器,其特征在于:光放大器(3)為摻鉺光纖放大器或半導(dǎo)體光放大器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能測(cè)量多種氣體成分的復(fù)用式光纖氣體傳感器,其特征在于:氣室(4)為自聚焦透鏡結(jié)構(gòu)或懷特腔結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】G01N21/31GK203811533SQ201420225462
【公開(kāi)日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2014年5月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月5日
【發(fā)明者】白光富, 江陽(yáng), 胡林 申請(qǐng)人:貴州大學(xué)