一種x熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法及標(biāo)定裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了X熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法及裝置,包括XRF圖譜橫縱坐標(biāo)標(biāo)定及分析標(biāo)定結(jié)果，通過(guò)將自動(dòng)化技術(shù)利用兩組已知元素混合物進(jìn)行圖譜橫縱坐標(biāo)的標(biāo)定，同時(shí)利用已知元素與待測(cè)元素進(jìn)行參照，并通過(guò)標(biāo)定準(zhǔn)確的圖譜進(jìn)行樣品檢測(cè)，不僅具有標(biāo)定簡(jiǎn)便準(zhǔn)確，同時(shí)也能夠使結(jié)果更加精準(zhǔn)；同時(shí)，本發(fā)明還公開(kāi)了一種相應(yīng)的標(biāo)定裝置，包括具有裝有至少兩種且種類(lèi)已知的元素混合物的第一區(qū)域和裝有作為內(nèi)標(biāo)元素的已知元素的第二區(qū)域的載板、動(dòng)力裝置以及可進(jìn)行移動(dòng)的聯(lián)接裝置；所述載板通過(guò)所述聯(lián)接裝置與所述動(dòng)力裝置聯(lián)接，并在所述動(dòng)力裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)下進(jìn)行移動(dòng)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種X焚光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法及標(biāo)定裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及檢測(cè)儀器領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)，涉及一種X熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法及標(biāo)定裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]X熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線管)和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，激發(fā)被測(cè)樣品，產(chǎn)生X熒光(二次X射線)，探測(cè)器對(duì)X熒光進(jìn)行檢測(cè)。
[0003]受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類(lèi)及含量。
[0004]在X熒光光譜分析中，譜圖橫坐標(biāo)為通道，對(duì)應(yīng)元素的能量，譜圖縱坐標(biāo)為計(jì)數(shù)，表示該能量下接收到的光子數(shù)量，代表元素的含量。光譜儀長(zhǎng)時(shí)間工作后，會(huì)發(fā)生通道漂移，強(qiáng)度改變等現(xiàn)象，因此需要對(duì)光譜儀通道進(jìn)行校正。同時(shí)如果強(qiáng)度變化過(guò)大，還需要重新對(duì)儀器進(jìn)行標(biāo)定。傳統(tǒng)光譜儀進(jìn)行以上工作，需要人為放入不同的已知類(lèi)別和含量的元素對(duì)其校正，儀器無(wú)法自動(dòng)完成上述工作。
[0005]目前儀器進(jìn)行標(biāo)定的方法，不僅費(fèi)時(shí)費(fèi)力而且耽誤時(shí)間，因此迫切需要尋找一種省時(shí)省力的方法和裝置。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷中的至少一個(gè)。本發(fā)明提供了一種X熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法，包括:
步驟I XRF圖譜橫縱坐標(biāo)標(biāo)定:
將含有至少兩種且種類(lèi)已知的元素混合物的第一區(qū)域送至光譜掃描區(qū)進(jìn)行掃描，將所述第一區(qū)域內(nèi)已知元素峰較高或最高的元素固定在其特定通道上；
利用所述第一區(qū)域內(nèi)其他元素在譜圖上的通道，并結(jié)合所述第一區(qū)域內(nèi)所有元素的能量數(shù)據(jù)，獲得相應(yīng)的通道點(diǎn)，做圖或進(jìn)行曲線擬合，獲得能量刻度曲線，確定不同通道對(duì)應(yīng)的能量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)XRF譜圖橫坐標(biāo)的標(biāo)定；
同時(shí)測(cè)定所述第一區(qū)域內(nèi)的所有元素的強(qiáng)度，與其標(biāo)定強(qiáng)度比對(duì)，實(shí)現(xiàn)XRF譜圖縱坐標(biāo)的自動(dòng)校準(zhǔn)；
步驟2分析標(biāo)定結(jié)果
在掃描實(shí)際樣品時(shí)，將包含已知元素種類(lèi)及數(shù)量的內(nèi)標(biāo)元素的第二區(qū)域移動(dòng)至樣品上方，X射線通過(guò)第二區(qū)域照射到樣品上，同時(shí)得到第二區(qū)域上元素和樣品中元素含量，對(duì)掃描結(jié)果進(jìn)行質(zhì)控。
[0007]上述方法的實(shí)現(xiàn)均是通過(guò)自動(dòng)裝置進(jìn)行實(shí)現(xiàn)。
[0008]根據(jù)本發(fā)明【背景技術(shù)】中對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所述，傳統(tǒng)光譜儀進(jìn)行以上工作，需要人為放入不同的已知類(lèi)別和含量的元素對(duì)其校正，儀器無(wú)法自動(dòng)完成上述工作；而本發(fā)明提供的X熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法，通過(guò)自動(dòng)化技術(shù)利用兩組已知元素混合物進(jìn)行圖譜橫縱坐標(biāo)的標(biāo)定，同時(shí)利用已知元素與待測(cè)元素進(jìn)行參照，并通過(guò)標(biāo)定準(zhǔn)確的圖譜進(jìn)行樣品檢測(cè)，不僅具有標(biāo)定簡(jiǎn)便準(zhǔn)確，同時(shí)也能夠使結(jié)果更加精準(zhǔn)。
[0009]另外，根據(jù)本發(fā)明公開(kāi)的X熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法還具有如下附加技術(shù)特征:
進(jìn)一步地，所述方法還包括，
步驟1中的所述元素混合物為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
[0010]進(jìn)一步地，所述方法還包括，
步驟2中的所述內(nèi)標(biāo)元素為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
[0011]本發(fā)明還公開(kāi)了一種相應(yīng)的標(biāo)定裝置，包括具有裝有至少兩種且種類(lèi)已知的元素混合物的第一區(qū)域和裝有作為內(nèi)標(biāo)元素的已知元素的第二區(qū)域的載板、動(dòng)力裝置以及可進(jìn)行移動(dòng)的聯(lián)接裝置；
所述載板通過(guò)所述聯(lián)接裝置與所述動(dòng)力裝置聯(lián)接，并在所述動(dòng)力裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)下進(jìn)行移動(dòng)。
[0012]進(jìn)一步地，所述動(dòng)力裝置為馬達(dá)，所述聯(lián)接裝置為滑軌和滑塊，所述馬達(dá)輸出端與螺桿相聯(lián)，所述螺桿與安裝在所述滑軌上的所述滑塊聯(lián)接，所述載板與所述滑塊聯(lián)接并在所述馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)下推動(dòng)進(jìn)行前后移動(dòng)。
[0013]進(jìn)一步地，所述動(dòng)力裝置為氣缸，所述聯(lián)接裝置為滑軌和滑塊，所述氣缸輸出端與安裝在所述滑軌上的所述滑塊聯(lián)接，所述載板與所述滑塊聯(lián)接并在所述氣缸運(yùn)轉(zhuǎn)下推動(dòng)進(jìn)行前后移動(dòng)。
[0014]進(jìn)一步地，所述標(biāo)定裝置還包括傳感器系統(tǒng)，所述傳感器系統(tǒng)包括遮光片和傳感器，所述遮光片安裝在所述聯(lián)接裝置上，所述傳感器安裝在基座上。
[0015]進(jìn)一步地，所述元素混合物為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
[0016]進(jìn)一步地，所述內(nèi)標(biāo)元素為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
[0017]本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的示意圖；
其中，1動(dòng)力裝置，2聯(lián)接裝置，3載板，4第一區(qū)域，5第二區(qū)域。

【具體實(shí)施方式】
[0019]下面描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0020]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0021]此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上，除非另有明確具體的限定。
[0022]在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。
[0023]在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過(guò)它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0024]下面將參照附圖來(lái)描述本發(fā)明的X熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法，其中圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的示意圖。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，本發(fā)明提供的X熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法，包括:
步驟I XRF圖譜橫縱坐標(biāo)標(biāo)定:
將含有至少兩種且種類(lèi)已知的元素混合物的第一區(qū)域4送至光譜掃描區(qū)進(jìn)行掃描，將所述第一區(qū)域4內(nèi)已知元素峰較高或最高的元素固定在其特定通道上；
利用所述第一區(qū)域4內(nèi)其他元素在譜圖上的通道，并結(jié)合所述第一區(qū)域內(nèi)4所有元素的能量數(shù)據(jù)，獲得相應(yīng)的通道點(diǎn)，做圖或進(jìn)行曲線擬合，獲得能量刻度曲線，確定不同通道對(duì)應(yīng)的能量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)XRF譜圖橫坐標(biāo)的標(biāo)定；
同時(shí)測(cè)定所述第一區(qū)域4內(nèi)的所有元素的強(qiáng)度，與其標(biāo)定強(qiáng)度比對(duì)，實(shí)現(xiàn)XRF譜圖縱坐標(biāo)的自動(dòng)校準(zhǔn)；
步驟2分析標(biāo)定結(jié)果
在掃描實(shí)際樣品時(shí)，將包含已知元素種類(lèi)及數(shù)量的內(nèi)標(biāo)元素的第二區(qū)域5移動(dòng)至樣品上方，X射線通過(guò)第二區(qū)域5照射到樣品上，同時(shí)得到第二區(qū)域5上元素和樣品中元素含量，對(duì)掃描結(jié)果進(jìn)行質(zhì)控。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，步驟I中的所述元素混合物為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，步驟2中的所述內(nèi)標(biāo)元素為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
[0028]本發(fā)明還公開(kāi)了一種相應(yīng)的標(biāo)定裝置，如圖1所示，包括具有裝有至少兩種且種類(lèi)已知的元素混合物的第一區(qū)域4和裝有作為內(nèi)標(biāo)元素的已知元素的第二區(qū)域5的載板3、動(dòng)力裝置1以及可進(jìn)行移動(dòng)的聯(lián)接裝置2 ;
所述載板3通過(guò)所述聯(lián)接裝置2與所述動(dòng)力裝置1聯(lián)接，并在所述動(dòng)力裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)下進(jìn)行移動(dòng)。
[0029]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述動(dòng)力裝置1為馬達(dá)，所述聯(lián)接裝置2為滑軌和滑塊，所述馬達(dá)輸出端與螺桿相聯(lián)，所述螺桿與安裝在所述滑軌上的所述滑塊聯(lián)接，所述載板與所述滑塊聯(lián)接并在所述馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)下推動(dòng)進(jìn)行前后移動(dòng)。
[0030]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述動(dòng)力裝置為氣缸，所述聯(lián)接裝置為滑軌和滑塊，所述氣缸輸出端與安裝在所述滑軌上的所述滑塊聯(lián)接，所述載板與所述滑塊聯(lián)接并在所述氣缸運(yùn)轉(zhuǎn)下推動(dòng)進(jìn)行前后移動(dòng)。
[0031]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述標(biāo)定裝置還包括傳感器系統(tǒng)，所述傳感器系統(tǒng)包括遮光片和傳感器，所述遮光片安裝在所述聯(lián)接裝置上，所述傳感器安裝在基座上。
[0032]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述元素混合物為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
[0033]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述內(nèi)標(biāo)元素為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
[0034]盡管參照本發(fā)明的多個(gè)示意性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開(kāi)、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會(huì)脫離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種X熒光光譜自動(dòng)分析標(biāo)定方法，其特征在于，包括: 步驟I XRF圖譜橫縱坐標(biāo)標(biāo)定: 將含有至少兩種且種類(lèi)已知的元素混合物的第一區(qū)域送至光譜掃描區(qū)進(jìn)行掃描，將所述第一區(qū)域內(nèi)已知元素峰較高或最高的元素固定在其特定通道上； 利用所述第一區(qū)域內(nèi)其他元素在譜圖上的通道，并結(jié)合所述第一區(qū)域內(nèi)所有元素的能量數(shù)據(jù)，獲得相應(yīng)的通道點(diǎn)，做圖或進(jìn)行曲線擬合，獲得能量刻度曲線，確定不同通道對(duì)應(yīng)的能量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)XRF譜圖橫坐標(biāo)的標(biāo)定； 同時(shí)測(cè)定所述第一區(qū)域內(nèi)的所有元素的強(qiáng)度，與其標(biāo)定強(qiáng)度比對(duì)，實(shí)現(xiàn)XRF譜圖縱坐標(biāo)的自動(dòng)校準(zhǔn)； 步驟2分析標(biāo)定結(jié)果 在掃描實(shí)際樣品時(shí)，將包含已知元素種類(lèi)及數(shù)量的內(nèi)標(biāo)元素的第二區(qū)域移動(dòng)至樣品上方，X射線通過(guò)第二區(qū)域照射到樣品上，同時(shí)得到第二區(qū)域上元素和樣品中元素含量，對(duì)掃描結(jié)果進(jìn)行質(zhì)控。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法，其特征在于，步驟I中的所述元素混合物為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法，其特征在于，步驟2中的所述內(nèi)標(biāo)元素為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
4.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的X熒光光譜分析自動(dòng)標(biāo)定方法的標(biāo)定裝置，其特征在于，包括具有裝有至少兩種且種類(lèi)已知的元素混合物的第一區(qū)域和裝有作為內(nèi)標(biāo)元素的已知元素的第二區(qū)域的載板、動(dòng)力裝置以及可進(jìn)行移動(dòng)的聯(lián)接裝置； 所述載板通過(guò)所述聯(lián)接裝置與所述動(dòng)力裝置聯(lián)接，并在所述動(dòng)力裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)下進(jìn)行移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的標(biāo)定裝置，其特征在于，所述動(dòng)力裝置為馬達(dá)，所述聯(lián)接裝置為滑軌和滑塊，所述馬達(dá)輸出端與螺桿相聯(lián)，所述螺桿與安裝在所述滑軌上的所述滑塊聯(lián)接，所述載板與所述滑塊聯(lián)接并在所述馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)下推動(dòng)進(jìn)行前后移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的標(biāo)定裝置，其特征在于，所述動(dòng)力裝置為氣缸，所述聯(lián)接裝置為滑軌和滑塊，所述氣缸輸出端與安裝在所述滑軌上的所述滑塊聯(lián)接，所述載板與所述滑塊聯(lián)接并在所述氣缸運(yùn)轉(zhuǎn)下推動(dòng)進(jìn)行前后移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的標(biāo)定裝置，其特征在于，所述標(biāo)定裝置還包括傳感器系統(tǒng)，所述傳感器系統(tǒng)包括遮光片和傳感器，所述遮光片安裝在所述聯(lián)接裝置上，所述傳感器安裝在基座上。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的標(biāo)定裝置，其特征在于，所述元素混合物為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的標(biāo)定裝置，其特征在于，所述內(nèi)標(biāo)元素為原子序號(hào)13至92元素的一種或幾種元素的組合物。
【文檔編號(hào)】G01N23/223GK104502387SQ201410844217
【公開(kāi)日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2014年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月31日
【發(fā)明者】應(yīng)剛, 欒旭東, 張?zhí)K偉, 方軍, 吳升海 申請(qǐng)人:江蘇天瑞儀器股份有限公司