一種ccd器件量子效率測(cè)量裝置及方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種CCD器件量子效率測(cè)量裝置及方法，其中裝置包括CCD器件絕對(duì)量子效率測(cè)量裝置及CCD器件相對(duì)量子效率測(cè)量裝置；所述CCD器件絕對(duì)量子效率測(cè)量裝置，用于測(cè)量CCD器件在632.8nm波長(zhǎng)點(diǎn)上絕對(duì)量子效率；所述CCD器件相對(duì)量子效率測(cè)量裝置，用于測(cè)量CCD器件在300nm～1100nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的相對(duì)量子效率。本發(fā)明采用632.8nm激光器將光經(jīng)過(guò)穩(wěn)功率系統(tǒng)后打入到積分球內(nèi)部進(jìn)行絕對(duì)定標(biāo)，而且可根據(jù)不同CCD器件選用不同輸出功率的激光器，就沒(méi)有光功率較小的問(wèn)題，也沒(méi)有光損失，并且標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器在632.8nm波長(zhǎng)點(diǎn)上是直接溯源到低溫輻射計(jì)，這樣就減少中間環(huán)節(jié)，提高了測(cè)量不確定度。
【專利說(shuō)明】-種CCD器件量子效率測(cè)量裝置及方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于量子效率測(cè)量【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及的是一種CCD器件絕對(duì)量子效率及 相對(duì)量子效率測(cè)量裝置及方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 國(guó)內(nèi)目前是通過(guò)鹵素?zé)?、積分球、標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器、窄線寬濾光片得到某一波長(zhǎng)點(diǎn)的量 子效率，再通過(guò)測(cè)量CCD器件的相對(duì)光譜響應(yīng)計(jì)算得到整個(gè)響應(yīng)波段的量子效率，此方法 得到CCD器件量子效率的方法缺點(diǎn)是，在得到某一波長(zhǎng)點(diǎn)絕對(duì)量子效率時(shí)選用窄線寬的濾 光片來(lái)實(shí)現(xiàn)，從目前調(diào)研情況來(lái)看，好的窄線寬的濾光片線寬一般在l〇nm左右，并且光通 過(guò)濾一般在60 %左右，對(duì)光能量損失較大。從而測(cè)量得到的CCD器件量子效率準(zhǔn)確度降低， 無(wú)法滿足高質(zhì)量測(cè)試要求。
[0003] 國(guó)外目前是通過(guò)氙燈（或鹵素?zé)簦┕庠?、單色儀、標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器、積分球主要設(shè)備來(lái) 測(cè)量CCD器件的量子效率，該方法對(duì)標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器的標(biāo)定要求較高，一般標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器是溯源 到低溫輻射計(jì)，但低溫輻射計(jì)只有有限的波長(zhǎng)點(diǎn)，632. 8nm最為成熟，無(wú)法對(duì)全波段高精度 測(cè)量。根據(jù)積分球的輻射原理，在CCD器件絕對(duì)量子效率測(cè)量過(guò)程中，CCD器件需要和積分 球保持一定的距離。這樣在測(cè)量波長(zhǎng)小于400nm時(shí)，CCD器件和標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器響應(yīng)功率過(guò)小， 重復(fù)性差。另一方面單色儀輸出單色光的帶寬在幾個(gè)納米之間，在高精度絕對(duì)量子效率測(cè) 試時(shí)就會(huì)產(chǎn)生較大的誤差，無(wú)法滿足高精度CCD器件絕對(duì)量子效率的測(cè)試。
[0004] 目前，對(duì)于CCD器件量子效率的測(cè)量國(guó)內(nèi)也有這方面的研究，從測(cè)量方法可知其 測(cè)量的精度和重復(fù)性較差，無(wú)法滿足高精度CCD器件量子效率的測(cè)量和校準(zhǔn)。
[0005] 目前對(duì)于CCD器件絕對(duì)量子效率的測(cè)量方法為，由積分球、光源、窄帶濾光片、標(biāo) 準(zhǔn)探測(cè)器、單色儀等設(shè)備組成，也是采用先在某一點(diǎn)對(duì)CCD器件量子效率進(jìn)行絕對(duì)測(cè)量，再 對(duì)CCD器件整個(gè)響應(yīng)波長(zhǎng)范圍進(jìn)行相對(duì)量子效率測(cè)量，最后計(jì)算得到整個(gè)CCD器件絕對(duì)量 子效率。測(cè)量時(shí)先將C⑶器件放置在距離積分球輸出一定位置處，使C⑶器件工作在最佳 狀態(tài)，通過(guò)控制系統(tǒng)得到CCD器件的響應(yīng)信號(hào)，再將標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器放置在同樣的位置處，得到 輻射光功率，控制系統(tǒng)通過(guò)軟件就可以得到某一點(diǎn)的絕對(duì)量子效率。再測(cè)量得到CCD器件 的相對(duì)量子效率，通過(guò)得到某一點(diǎn)絕對(duì)量子效率和整個(gè)響應(yīng)波段相對(duì)量子效率就可以得到 整個(gè)波段C⑶器件量子效率。
[0006] 上述方法之中測(cè)量CCD器件絕對(duì)量子效率，首先是通過(guò)窄線寬濾光片得到某一波 長(zhǎng)點(diǎn)的量子效率，再通過(guò)測(cè)量CCD器件的相對(duì)光譜響應(yīng)計(jì)算得到整個(gè)響應(yīng)波段的絕對(duì)量子 效率，此方法得到CCD器件量子效率的方法缺點(diǎn)是，在得到某一波長(zhǎng)點(diǎn)絕對(duì)量子效率時(shí)選 用窄線寬的濾光片來(lái)實(shí)現(xiàn)，從目前調(diào)研情況來(lái)看，好的窄線寬的濾光片線寬一般在l〇nm左 右，并且光通過(guò)濾一般在60 %左右，對(duì)光能量損失較大。從而測(cè)量得到的CCD器件量子效率 準(zhǔn)確度降低，無(wú)法滿足高質(zhì)量測(cè)試要求。
[0007] 因此，現(xiàn)有技術(shù)存在缺陷，需要改進(jìn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種CCD器件絕對(duì)量子 效率及相對(duì)量子效率測(cè)量裝置及方法。
[0009] 本發(fā)明的技術(shù)方案如下：
[0010] 一種C⑶器件量子效率測(cè)量裝置，其中，包括C⑶器件絕對(duì)量子效率測(cè)量裝置及 CCD器件相對(duì)量子效率測(cè)量裝置；所述CCD器件絕對(duì)量子效率測(cè)量裝置，用于測(cè)量CCD器件 632. 8nm波長(zhǎng)點(diǎn)上絕對(duì)量子效率；所述(XD器件相對(duì)量子效率測(cè)量裝置，用于測(cè)量C⑶器件 300nm?llOOnm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的相對(duì)量子效率。
[0011] 所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其中，所述CCD器件絕對(duì)量子效率測(cè)量裝置 由激光器、穩(wěn)功率系統(tǒng)、連續(xù)光衰減片依次連接后與積分球相連接，所述激光器用于輸出 632. 8nm波長(zhǎng)的光源；所述穩(wěn)功率系統(tǒng)用于對(duì)光起到穩(wěn)定的效果，所述連續(xù)光衰減片用于 對(duì)光進(jìn)行衰減使CCD器件接收的光在積分球的線性范圍內(nèi)；所述積分球還分別與光波長(zhǎng)計(jì) 及屏蔽室相連接，所述光波長(zhǎng)計(jì)用于對(duì)積分球輸出的光進(jìn)行測(cè)量；所述屏蔽室用于對(duì)雜散 光進(jìn)行屏蔽，避免雜散光對(duì)測(cè)量的影響，所述光波長(zhǎng)計(jì)與控制系統(tǒng)相連接，所述控制系統(tǒng)用 于對(duì)所述光波長(zhǎng)計(jì)測(cè)量的波長(zhǎng)進(jìn)行讀取；所述CCD器件、標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)連接 后再與所述控制系統(tǒng)相連接，所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)用于對(duì)CCD信號(hào)的采集和標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器信號(hào) 的采集；三維精密位移臺(tái)與所述控制系統(tǒng)相連，所述控制系統(tǒng)用于對(duì)所述三維精密位移臺(tái) 進(jìn)行位置調(diào)整，使所述CCD器件及所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器位于最佳位置。
[0012] 所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其中，所述屏蔽室內(nèi)有所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器、所述 CCD器件及所述三維精密位移臺(tái)，所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器用于測(cè)量輻射功率；所述CCD器件用于輸 出CCD器件的響應(yīng)信號(hào)；所述三維精密位移臺(tái)，用于調(diào)整所述CCD器件及所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器的 位置；所述CCD器件設(shè)置與所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)相連接。
[0013] 所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其中，所述積分球直徑為50cm ;所述積分球輸 出口徑為12cm ;所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器采用UV100 ;所述激光器輸出功率10mW。
[0014] 所述的C⑶器件量子效率測(cè)量裝置，其中，將632. 8nm激光器發(fā)出的激光，通過(guò)穩(wěn) 功率系統(tǒng)進(jìn)行穩(wěn)定后，使激光器的穩(wěn)定性優(yōu)于〇. 005%，連續(xù)光衰減片對(duì)光進(jìn)行光衰減，使 光輻射功率在CCD器件的線性范圍內(nèi)，打入到積分球內(nèi)，通過(guò)調(diào)節(jié)所述屏蔽室內(nèi)的所述三 維精密位移臺(tái)使所述CCD器件放置在距離積分球輸出口 60cm位置處，通過(guò)所述控制系統(tǒng)改 變CCD器件曝光時(shí)間或通過(guò)改變連續(xù)可調(diào)光衰減片改變CCD器件接收的光強(qiáng)得到所述CCD 器件的增益，再通過(guò)所述控制系統(tǒng)得到所述CCD器件的響應(yīng)信號(hào)后，將所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器通 過(guò)三維精密位移臺(tái)調(diào)整在相同的位置，得到輻射光功率后，通過(guò)已知標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器的面積，得 到光輻射照度，通過(guò)公式計(jì)算得到632. 8nm波長(zhǎng)點(diǎn)上的絕對(duì)量子效率QEA。
[0015] 所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其中，所述絕對(duì)量子效率QEx的計(jì)算公式為：

【權(quán)利要求】
1. 一種CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，包括CCD器件絕對(duì)量子效率測(cè)量裝 置及CCD器件相對(duì)量子效率測(cè)量裝置；所述CCD器件絕對(duì)量子效率測(cè)量裝置，用于測(cè)量CCD 器件632. 8nm波長(zhǎng)點(diǎn)上絕對(duì)量子效率；所述(XD器件相對(duì)量子效率測(cè)量裝置，用于測(cè)量(XD 器件300nm?llOOnm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的相對(duì)量子效率。
2. 如權(quán)利要求1所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，所述CCD器件絕對(duì)量 子效率測(cè)量裝置由激光器、穩(wěn)功率系統(tǒng)、連續(xù)光衰減片依次連接后與積分球相連接，所述激 光器用于產(chǎn)生632. 8nm波長(zhǎng)的光源；所述穩(wěn)功率系統(tǒng)用于對(duì)光起到穩(wěn)定的效果，所述連續(xù) 光衰減片用于對(duì)光進(jìn)行衰減使CCD器件接收的光在積分球的線性范圍內(nèi)；所述積分球還分 別與光波長(zhǎng)計(jì)及屏蔽室相連接，所述光波長(zhǎng)計(jì)用于對(duì)積分球輸出的光進(jìn)行測(cè)量；所述屏蔽 室用于對(duì)雜散光進(jìn)行屏蔽，避免雜散光對(duì)測(cè)量的影響，所述光波長(zhǎng)計(jì)還設(shè)置與控制系統(tǒng)相 連接，所述控制系統(tǒng)用于對(duì)所述光波長(zhǎng)計(jì)測(cè)量的波長(zhǎng)進(jìn)行讀取；所述CCD器件、標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)連接后再與所述控制系統(tǒng)相連接，所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)用于對(duì)CCD信號(hào)的采 集和標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器信號(hào)的采集；三維精密位移臺(tái)與所述控制系統(tǒng)相連，所述控制系統(tǒng)用于對(duì) 所述三維精密位移臺(tái)進(jìn)行位置調(diào)整，使所述C⑶器件及所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器位于最佳位置。
3. 如權(quán)利要求2所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，所述屏蔽室內(nèi)設(shè)置有 所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器、所述CCD器件及所述三維精密位移臺(tái)，所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器用于測(cè)量輻射功 率；所述CCD器件用于輸出CCD器件的響應(yīng)信號(hào)；所述三維精密位移臺(tái)，用于調(diào)整所述CCD 器件及所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器的位置；所述CCD器件與所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)相連接。
4. 如權(quán)利要求3所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，所述積分球直徑 為50cm ;所述積分球輸出口徑為12cm ;所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器采用UV100 ;所述激光器輸出功率 10mW。
5. 如權(quán)利要求4所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，將632. 8nm激光器發(fā) 出的激光，通過(guò)穩(wěn)功率系統(tǒng)進(jìn)行穩(wěn)定后，使激光器的穩(wěn)定性在0. 005% -0. 1%范圍內(nèi)，連續(xù) 光衰減片進(jìn)行光衰減使光輻射功率在CCD器件的線性范圍內(nèi)，打入到積分球內(nèi)，通過(guò)調(diào)節(jié) 所述屏蔽室內(nèi)的所述三維精密位移臺(tái)使所述CCD器件放置在距離積分球輸出口 60cm位置 處，通過(guò)所述控制系統(tǒng)改變CCD器件曝光時(shí)間或通過(guò)改變連續(xù)可調(diào)光衰減片改變CCD器件 接收的光強(qiáng)得到所述CCD器件的增益，再通過(guò)所述控制系統(tǒng)得到所述CCD器件的響應(yīng)信號(hào) 后，將所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器通過(guò)三維精密位移臺(tái)調(diào)整在相同的位置，得到輻射光功率后，通過(guò)已 知標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器的面積，得到光輻射照度，通過(guò)公式計(jì)算得到激光器發(fā)出的激光上的某一點(diǎn) 的絕對(duì)量子效率QE A。
6. 如權(quán)利要求5所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，所述絕對(duì)量子效率 0Ελ的計(jì)算公式為：
，其中，I為CCD器件響應(yīng)信號(hào)輸出；Α為CCD 傳感器表面區(qū)域的面積；texp為曝光時(shí)間；E是標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器表面的輻射照度，由標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 定標(biāo)，單位W/m2，h為普朗克常數(shù)，c為真空中的光速，λ為積分球輻射光的波長(zhǎng)，G為所述 CCD器件增益系數(shù)單位為DN/e-，表示每個(gè)電子轉(zhuǎn)換成的數(shù)字量。
7. 如權(quán)利要求1所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，所述CCD器件相對(duì) 量子效率測(cè)量裝置由光源、單色儀、光纖束依次連接后與積分球相連接，所述光源采用氙燈 做為光源，用于產(chǎn)生寬光譜光源；所述單色儀用于對(duì)輸入到單色儀的寬光譜光源進(jìn)行分光， 產(chǎn)生單色光；所述光聚焦系統(tǒng)用于對(duì)單色儀輸出的單色光進(jìn)行匯聚，使光匯聚到光纖束中； 所述積分球還設(shè)置分別與光波長(zhǎng)計(jì)及屏蔽室相連接，所述光波長(zhǎng)計(jì)用對(duì)積分球輸出的波 長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)量；所述屏蔽室用于對(duì)雜散光進(jìn)行屏蔽，避免雜散光對(duì)測(cè)量的影響；所述光波長(zhǎng) 計(jì)設(shè)置與控制系統(tǒng)相連接，所述控制系統(tǒng)用于對(duì)光波長(zhǎng)計(jì)測(cè)量的實(shí)際波長(zhǎng)進(jìn)行讀?。凰?CCD器件、標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)連接后再與所述控制系統(tǒng)相連接，所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng) 用于對(duì)CCD器件信號(hào)的采集和標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器信號(hào)的采集；三維精密位移臺(tái)與控制系統(tǒng)相連， 所述控制系統(tǒng)用于對(duì)三維精密位移臺(tái)進(jìn)行位置調(diào)制，使CCD器件及標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器位于最佳位 置。
8. 如權(quán)利要求7所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，所述屏蔽室內(nèi)設(shè)置有 標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器、CCD器件及三維精密位移臺(tái)，所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器用于測(cè)量輻射功率，所述CCD器 件用于輸出CCD器件的響應(yīng)信號(hào)，所述三維精密位移臺(tái)，用于調(diào)整CCD器件及標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器位 于最佳位置處，所述CCD器件設(shè)置與所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)相連接。
9. 如權(quán)利要求8所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，所述光源為500W的 氙燈；所述積分球直徑為50cm ;所述積分球輸出口徑為12cm ;所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器采用UV100 ; 所述光纖束采用19根硫系玻璃光纖組成，每根光纖直徑達(dá)100 μ m。
10. 如權(quán)利要求9所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，測(cè)量時(shí)先通過(guò)所述 三維精密位移臺(tái)將所述CCD器件放置在積分球輸出口處，首先通過(guò)控制系統(tǒng)設(shè)置所述單色 儀輸出波長(zhǎng)范圍為300nm?llOOnm，步進(jìn)為5nm，通過(guò)控制系統(tǒng)得到每個(gè)波長(zhǎng)下(XD器件的 響應(yīng)信號(hào)，再將所述標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器放置在同樣的位置處，在相同波長(zhǎng)范圍及步進(jìn)情況下，得到 每個(gè)波長(zhǎng)的輻射光功率，進(jìn)一步得到300nm?1 lOOnm范圍內(nèi)，步進(jìn)為5nm的量子效率，再對(duì) 得到的量子效率進(jìn)行歸一化處理，就得到所述CCD器件相對(duì)量子效率QEA。
11. 如權(quán)利要求10所述的CCD器件量子效率測(cè)量裝置，其特征在于，所述相對(duì)量子效率 0Ελ的計(jì)算公式為：
；其中，I表示CCD器件響應(yīng)信號(hào)輸出，Α表示 CCD傳感器表面區(qū)域的面積，是曝光時(shí)間，E是標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器表面的輻射照度，可由標(biāo)準(zhǔn)探 測(cè)器定標(biāo)，單位W/m2, h表示普朗克常數(shù)，c表示真空中的光速，λ表示積分球輻射光的波 長(zhǎng)，Κ為將〇Ελ的最大值調(diào)整為1的歸一化常數(shù)。
12. -種CCD器件量子效率測(cè)量方法，其特征在于，包括CCD器件絕對(duì)量子效率測(cè)量方 法，用于測(cè)量CCD器件在632. 8nm波長(zhǎng)點(diǎn)上絕對(duì)量子效率；及CCD器件相對(duì)量子效率測(cè)量方 法，用于測(cè)量(XD器件在300nm?1 lOOnm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的相對(duì)量子效率。
13. 如權(quán)利要求12所述的CCD器件量子效率測(cè)量方法，其特征在于，所述CCD器件絕對(duì) 量子效率測(cè)量方法，包括以下步驟： 步驟1 :將632. 8nm激光通過(guò)穩(wěn)功率系統(tǒng)，再通過(guò)連續(xù)光衰減片后打入到積分球內(nèi)； 步驟2 :調(diào)節(jié)三維精密位移臺(tái)使C⑶器件放置在距離積分球輸出面60cm位置處； 步驟3 :通過(guò)連續(xù)光衰減片改變光強(qiáng)或通過(guò)控制系統(tǒng)改變曝光時(shí)間得到CCD器件的增 Μ ; 步驟4 :通過(guò)連續(xù)可調(diào)光衰減片改變光強(qiáng)或通過(guò)控制系統(tǒng)改變曝光時(shí)間使CCD器件工 作在線性范圍內(nèi)； 步驟5 :獲取CCD器件的響應(yīng)信號(hào)； 步驟6 :獲取輻射光功率，通過(guò)已知的標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器面積，就可以得到輻照度； 步驟7 :計(jì)算得到激光器發(fā)出的激光上的某一點(diǎn)的絕對(duì)量子效率QEA。
14. 如權(quán)利要求13所述的CCD器件量子效率測(cè)量方法，其特征在于，所述步驟5之前， 通過(guò)三維精密位移臺(tái)使標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器移動(dòng)到相同位置。
15. 如權(quán)利要求14所述的CCD器件量子效率測(cè)量方法，其特征在于，所述絕對(duì)量子效率 0Ελ的計(jì)算公式為：
，其中，I為所述CCD器件響應(yīng)信號(hào)輸出，Α為 CCD傳感器表面區(qū)域的面積，為曝光時(shí)間，E是標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器表面的輻射照度，由標(biāo)準(zhǔn)探測(cè) 器定標(biāo)，單位W/m2，h為普朗克常數(shù)，c為真空中的光速，λ為積分球輻射光的波長(zhǎng)，G為所 述CCD器件增益系數(shù)單位為DN/e-，表示每個(gè)電子轉(zhuǎn)換成的數(shù)字量。
16. 如權(quán)利要求12所述的CCD器件量子效率測(cè)量方法，其特征在于，所述CCD器件相對(duì) 量子效率測(cè)量方法，包括以下步驟： 步驟1 :通過(guò)三維精密位移臺(tái)將C⑶器件放置在積分球輸出口處； 步驟2 :設(shè)置單色儀輸出波長(zhǎng)范圍為300nm?llOOnm，步進(jìn)為5nm，得到每個(gè)波長(zhǎng)下(XD 器件的響應(yīng)信號(hào)； 步驟3 :將標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器放置在同樣的位置處，在相同波長(zhǎng)范圍及步進(jìn)情況下，得到每個(gè) 波長(zhǎng)的輻射光功率，進(jìn)一步得到300nm?1 lOOnm范圍內(nèi)，步進(jìn)為5nm的量子效率； 步驟4 :對(duì)得到的量子效率進(jìn)行歸一化處理，得到所述CCD器件相對(duì)量子效率QEA。
17. 如權(quán)利要求16所述的CCD器件量子效率測(cè)量方法，其特征在于，所述相對(duì)量子效率 0Ελ的計(jì)算公式為：
！其中，I表示CCD器件響應(yīng)信號(hào)輸出，Α表示 CCD傳感器表面區(qū)域的面積，是曝光時(shí)間，E是標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器表面的輻射照度，可由標(biāo)準(zhǔn)探 測(cè)器定標(biāo)，單位W/m2, h表示普朗克常數(shù)，c表示真空中的光速，λ表示積分球輻射光的波 長(zhǎng)，Κ為將〇Ελ的最大值調(diào)整為1的歸一化常數(shù)。
【文檔編號(hào)】G01M11/02GK104142226SQ201410395908
【公開(kāi)日】2014年11月12日 申請(qǐng)日期:2014年8月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月12日
【發(fā)明者】劉紅元, 王恒飛, 王洪超, 應(yīng)承平, 吳斌, 史學(xué)舜, 李國(guó)超 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十一研究所