檢測機(jī)械應(yīng)力并監(jiān)視系統(tǒng)的電路、方法和計(jì)算機(jī)程序的制作方法【專利摘要】公開了檢測機(jī)械應(yīng)力并監(jiān)視系統(tǒng)的電路、方法和計(jì)算機(jī)程序。實(shí)施例提供了配置成檢測機(jī)械應(yīng)力的電路、方法和計(jì)算機(jī)程序以及配置成監(jiān)視系統(tǒng)的安全性的電路、方法和計(jì)算機(jī)程序。檢測電路配置成檢測半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力。檢測電路包括應(yīng)力監(jiān)視模塊，其配置成監(jiān)視半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力并提供與半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的監(jiān)視信息。檢測電路還包括激活信號發(fā)生器，其配置成如果監(jiān)視信息指示機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)被半導(dǎo)體電路滿足，則產(chǎn)生激活信號，激活信號包括與半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的激活信息?！緦＠f明】檢測機(jī)械應(yīng)力并監(jiān)視系統(tǒng)的電路、方法和計(jì)算機(jī)程序【
技術(shù)領(lǐng)域：
】[0001]實(shí)施例涉及配置成檢測機(jī)械應(yīng)力并配置成監(jiān)視系統(tǒng)的安全性的電路、方法和計(jì)算機(jī)程序?！?br>背景技術(shù)：
】[0002]電子電路和半導(dǎo)體越來越多地用在歧管應(yīng)用中。同時(shí)，這些電路和總體應(yīng)用的復(fù)雜性也增加了。隨著越來越多的電子電路和半導(dǎo)體引入應(yīng)用中，安全問題產(chǎn)生了。例如，在大量或公共運(yùn)輸中以及在汽車和航空中使用的系統(tǒng)或應(yīng)用對相應(yīng)車輛的安全操作是相關(guān)的。這些系統(tǒng)和應(yīng)用的安全性或可靠性可確定相應(yīng)的用戶的安全性。國際組織可定義電氣與電子系統(tǒng)(EE系統(tǒng))的功能安全性的標(biāo)準(zhǔn)，例如ISO26262(國際標(biāo)準(zhǔn)化組織)或IEC61508(國際電工技術(shù)委員會)?？稍谶@些標(biāo)準(zhǔn)中找到的一個(gè)方面是對塊的獨(dú)立性的保證，這提供冗余或自測試功能來實(shí)現(xiàn)安全目標(biāo)。例如，在同一半導(dǎo)體襯底上實(shí)現(xiàn)的獨(dú)立塊的情況下，通過襯底的耦合效應(yīng)可被避免，以便實(shí)現(xiàn)獨(dú)立性。一些已知的概念可通過使用單獨(dú)的襯底以實(shí)現(xiàn)相應(yīng)塊的獨(dú)立性來避免可能的耦合效應(yīng)。[0003]一個(gè)已知的概念試圖避免所涉及的塊或半導(dǎo)體的應(yīng)力?？墒褂锰厥夥庋b或殼體，以便避免應(yīng)力。與標(biāo)準(zhǔn)封裝相比，抗應(yīng)力殼體可導(dǎo)致明顯的成本增加。另一已知的概念是應(yīng)力補(bǔ)償，其可例如被施加到霍爾傳感器或帶隙基準(zhǔn)。在這里，可測量應(yīng)力引起的信號，且可根據(jù)該測量來校正應(yīng)力敏感電路的輸出。例如在測量電路和應(yīng)力傳感器方面的努力可產(chǎn)生額外的成本。在一些應(yīng)用中，高準(zhǔn)確度的測量可被使用，且校正可被限制到相應(yīng)的電路或半導(dǎo)體的正常操作范圍，測量在該操作范圍被執(zhí)行和補(bǔ)償。如果限定的操作范圍明顯被超過，則測量電路的準(zhǔn)確應(yīng)力補(bǔ)償可能失敗并導(dǎo)致錯(cuò)誤的計(jì)算、不利或潛在地危險(xiǎn)的影響。【
發(fā)明內(nèi)容】[0004]實(shí)施例提供了配置成檢測半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力的檢測電路。檢測電路包括配置成監(jiān)視半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力的應(yīng)力監(jiān)視模塊。應(yīng)力監(jiān)視模塊還配置成提供與半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的監(jiān)視信息。[0005]檢測電路還包括配置成產(chǎn)生激活信號的激活信號發(fā)生器。如果監(jiān)視信息指示機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)被半導(dǎo)體電路滿足，則激活信號包括與半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的激活信息。檢測電路的實(shí)施例提供可例如指示半導(dǎo)體的機(jī)械應(yīng)力水平超過某個(gè)水平的激活信號。激活信號可因此被看作警告信號，進(jìn)一步的安全措施可基于該警告信號被執(zhí)行。在一些實(shí)施例中，激活信號可用于觸發(fā)安全措施，例如關(guān)閉部件、減小某些部件的功率、將半導(dǎo)體或系統(tǒng)轉(zhuǎn)換成安全狀態(tài)、重置部件等。[0006]在一些實(shí)施例中，機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)可對應(yīng)于應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)的超過數(shù)，且激活信號可包括與應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)被超過的警告有關(guān)的信息。在一些實(shí)施例中，檢測電路可借助于在半導(dǎo)體電路處的至少電阻或壓電電阻測量來監(jiān)視應(yīng)力。為了維持可例如由標(biāo)準(zhǔn)或由其它系統(tǒng)參數(shù)定義的某個(gè)應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)，所測量的機(jī)械應(yīng)力不可以超過某個(gè)水平。如果應(yīng)力水平被超過，則應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)可認(rèn)為是關(guān)鍵的，且激活信號可被提供。[0007]在另外的實(shí)施例中，可監(jiān)視半導(dǎo)體的機(jī)械應(yīng)力水平變化或機(jī)械應(yīng)力水平變化率。機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)于是可對應(yīng)于某個(gè)應(yīng)力水平變化或變化率，其不可以被超過。例如，某些機(jī)械應(yīng)力水平變化率可分別指示半導(dǎo)體、其襯底的機(jī)械故障或破壞。這樣的應(yīng)力水平變化或變換率可被監(jiān)視，且在被檢測到時(shí)，可提供激活信號。在一些實(shí)施例中，激活信號發(fā)生器可配置成當(dāng)半導(dǎo)體的機(jī)械故障基于機(jī)械應(yīng)力水平變化率超過機(jī)械應(yīng)力水平變化率標(biāo)準(zhǔn)而被檢測到時(shí)產(chǎn)生激活信號。一些實(shí)施例可因此使得能夠在半導(dǎo)體破壞或具有機(jī)械故障時(shí)應(yīng)用安全措施。[0008]實(shí)施例還提供配置成監(jiān)視系統(tǒng)的安全監(jiān)視電路。安全監(jiān)視電路包括如上所述的檢測電路。安全監(jiān)視電路還包括控制模塊，其配置成從激活信號發(fā)生器接收激活信號并且如果激活信號被接收到則將安全措施應(yīng)用于系統(tǒng)。實(shí)施例可提供對系統(tǒng)的控制，使得系統(tǒng)中的一個(gè)半導(dǎo)體的故障可被檢測到，且相應(yīng)的安全措施可應(yīng)用于系統(tǒng)，例如應(yīng)用于在半導(dǎo)體電路外部的部件。實(shí)施例可基于激活信號來使能對系統(tǒng)的應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)的維持。[0009]在實(shí)施例中，安全措施可對應(yīng)于至少部分地關(guān)閉系統(tǒng)或半導(dǎo)體、關(guān)閉功率部件或功率部件的驅(qū)動(dòng)器、在安全狀態(tài)中的系統(tǒng)或至少其部分的轉(zhuǎn)換等等。在一些實(shí)施例中，控制模塊可配置成如果激活信號被接收到則將半導(dǎo)體電路或系統(tǒng)從正常操作狀態(tài)轉(zhuǎn)換到安全操作狀態(tài)。安全操作狀態(tài)是與正常操作狀態(tài)相比半導(dǎo)體電路的故障的后果減小的狀態(tài)。也就是說，如果半導(dǎo)體電路出故障，則與在安全操作狀態(tài)中相比，在正常操作狀態(tài)中的后果例如對系統(tǒng)、其部件或系統(tǒng)的用戶可能更嚴(yán)重。[0010]在一些實(shí)施例中，安全監(jiān)視電路可安裝在車輛中。系統(tǒng)可包括在車輛中的多個(gè)電路?？刂颇K可配置成如果激活信號被接收到則將安全措施應(yīng)用于系統(tǒng)的至少一個(gè)電路。在車輛中，可能有多個(gè)安全相關(guān)電路，且一個(gè)電路的故障可能對車輛的總安全性很重要。在一些實(shí)施例中，半導(dǎo)體的機(jī)械應(yīng)力過載可導(dǎo)致安全措施應(yīng)用于其它電路?？紤]到半導(dǎo)體的可能故障，可因此維持車輛的應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)。例如，當(dāng)激活信號指示例如斷路控制半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力過載時(shí)，車輛的控制單元可例如以減小的最大速度將車輛切換到安全模式，點(diǎn)売警告燈，等等。[0011]實(shí)施例還提供用于檢測半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力的方法。該方法包括監(jiān)視半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力，并提供與半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的監(jiān)視信息。該方法還包括如果監(jiān)視信息指示機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)被半導(dǎo)體電路滿足則產(chǎn)生包括與半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的激活信息的激活信號。[0012]實(shí)施例還可提供計(jì)算機(jī)程序或計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，當(dāng)計(jì)算機(jī)程序在計(jì)算機(jī)、處理器或可編程硬件上執(zhí)行時(shí)用于執(zhí)行上述方法之一。【專利附圖】【附圖說明】[0013]將在下文中僅作為例子并參考附圖描述裝置和/或方法和/或計(jì)算機(jī)程序和/或計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品的一些實(shí)施例，其中:圖1示出檢測電路的實(shí)施例。[0014]圖2示出安全監(jiān)視電路的實(shí)施例。[0015]圖3示出用于檢測機(jī)械應(yīng)力的方法的實(shí)施例的流程圖的方框圖。【具體實(shí)施方式】[0016]現(xiàn)在將參考附圖更充分地描述各種示例性實(shí)施例，在附圖中示出一些示例性實(shí)施例。在附圖中，為了清楚，線、層和/或區(qū)域的厚度可放大。[0017]因此，雖然示例性實(shí)施例能夠有各種修改和替代形式，其實(shí)施例作為例子在附圖中示出并將在本文被詳細(xì)描述。然而應(yīng)理解，沒有將示例性實(shí)施例限制到所公開的特定形式的意圖，而是相反，示例性實(shí)施例應(yīng)涵蓋落在本公開的范圍內(nèi)的所有修改、等同物和替代形式。相似的數(shù)字在附圖的整個(gè)描述中指代相似或類似的元件。[0018]將理解，當(dāng)元件被稱為“連接”或“耦合”到另一元件時(shí)，它可直接連接或耦合到另一元件，或中間元件可存在。相對地，當(dāng)元件被稱為“直接連接”或“直接耦合”到另一元件時(shí)，沒有中間元件存在。用于描述元件之間的關(guān)系的其它詞應(yīng)以相似的方式被解釋(例如，“在…之間”相對于“直接在…之間”、“相鄰”相對于“直接相鄰”，等等)。[0019]本文使用的術(shù)語只是為了描述特定的實(shí)施例的目的，且并沒有意圖為示例性實(shí)施例的限制。如在本文中使用的，單數(shù)形式“一”、“一個(gè)”和“該”也意圖包括復(fù)數(shù)形式，除非上下文另外清楚地指示。將進(jìn)一步理解，術(shù)語“包括(comprise)”^包含”、“含有”和/或“包括(including)”當(dāng)在本文中被使用時(shí)規(guī)定所陳述的特征、整數(shù)、步驟、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一個(gè)或多個(gè)其它特征、整數(shù)、步驟、操作、元件、部件和/或它們的組的存在或添加。[0020]除非另外定義，本文使用的所有術(shù)語(包括技術(shù)和科學(xué)術(shù)語)具有與示例性實(shí)施例所屬于的本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員通常理解的相同的意義。將進(jìn)一步理解，例如在常用字典中定義的那些的術(shù)語應(yīng)被解釋為具有與其在相關(guān)領(lǐng)域的上下文中的意義一致的意義，且將不在理想化或過于正式的意義上被解釋，除非在本文被明確地這么定義。[0021]圖1示出配置成檢測半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力的檢測電路10的實(shí)施例。檢測電路10包括配置成監(jiān)視半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力的應(yīng)力監(jiān)視器12。應(yīng)力監(jiān)視模塊12還配置成提供與半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的監(jiān)視信息。應(yīng)力監(jiān)視模塊12可對應(yīng)于用于監(jiān)視應(yīng)力水平的任何裝置，例如它可從應(yīng)力傳感器接收測量信號或它可包括應(yīng)力傳感器。檢測電路10還包括耦合到應(yīng)力監(jiān)視器12的激活信號發(fā)生器14。激活信號發(fā)生器14可對應(yīng)于用于產(chǎn)生激活信號的任何裝置，激活信號可以是數(shù)字的或模擬的。激活信號發(fā)生器14配置成如果監(jiān)視信息指示機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)被半導(dǎo)體電路20滿足，則產(chǎn)生包括與半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的激活信息的激活信號。[0022]在圖1中所示的實(shí)施例和也在下面的實(shí)施例中，半導(dǎo)體電路20可對應(yīng)于任何芯片或襯底。激活信號可用于對半導(dǎo)體電路20的應(yīng)力超過正常操作條件的情況發(fā)起安全措施，例如輸出的解激活或警告信號的產(chǎn)生。換句話說，由激活信號發(fā)生器14產(chǎn)生的激活信號可配置成引起安全措施的激活。在實(shí)施例中，應(yīng)力監(jiān)視模塊12可包括耦合到半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力傳感器。應(yīng)力監(jiān)視模塊12可配置成基于在半導(dǎo)體電路20處的至少電阻或壓電電阻測量來提供與半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的監(jiān)視信息。它也可以對相對于硅晶體具有不同定向的電阻器執(zhí)行多個(gè)壓電電阻測量，或者對具有不同類型或摻雜濃度的電阻器執(zhí)行測量。多個(gè)測量可用于監(jiān)視與應(yīng)力的不同方向或類型(例如線性或切變)有關(guān)的多個(gè)安全標(biāo)準(zhǔn)，或可組合以創(chuàng)建一個(gè)總應(yīng)力監(jiān)視標(biāo)準(zhǔn)。[0023]在其它實(shí)施例中，多個(gè)應(yīng)力傳感器可分布在芯片之上。它們可放置在已知暴露于高應(yīng)力水平的位置，如芯片角落。在其它實(shí)施例中，可根據(jù)如在功率設(shè)備附近的應(yīng)力的潛在源的知識來選擇應(yīng)力傳感器的位置，功率設(shè)備可能在過載的情況下過度加熱其環(huán)境。在另外的實(shí)施例中，多個(gè)應(yīng)力傳感器可放置在已知對機(jī)械應(yīng)力敏感的部件附近，所述部件如在溫度傳感器或帶隙基準(zhǔn)中使用的雙極晶體管或霍爾板。產(chǎn)生激活信號的安全標(biāo)準(zhǔn)可由許多應(yīng)力測量的一個(gè)或不同組合產(chǎn)生。[0024]另外的實(shí)施例可重新使用已經(jīng)集成在硅管芯上的應(yīng)力傳感器，例如用于補(bǔ)償霍爾板的應(yīng)力依賴性的應(yīng)力補(bǔ)償傳感器，并將它的信息添加傳送到激活信號發(fā)生器以及補(bǔ)償電子設(shè)備。[0025]換句話說，在實(shí)施例中，應(yīng)力監(jiān)視模塊12可配置成確定關(guān)于半導(dǎo)體電路20的表面的機(jī)械應(yīng)力的信息。例如，機(jī)械應(yīng)力可對應(yīng)于作用在半導(dǎo)體電路20的表面上的力，該力導(dǎo)致應(yīng)力。在實(shí)施例中，可在例如法向部件和切變部件的幾個(gè)部件中確定應(yīng)力。在一些實(shí)施例中，材料中的應(yīng)力可以是相對于在材料中的某個(gè)點(diǎn)處的區(qū)域的力的派生。例如，施加的應(yīng)力的力可導(dǎo)致半導(dǎo)體電路20的材料的變形。在一些實(shí)施例中，應(yīng)力監(jiān)視模塊12可配置成確定在應(yīng)力下半導(dǎo)體電路20的尺寸或幾何結(jié)構(gòu)的相對變化。一些實(shí)施例可利用已知的材料特性和定律，例如，諸如泊松比。泊松比可將例如高度和寬度聯(lián)系到相應(yīng)的半導(dǎo)體電路材料的長度的增加。[0026]換句話說，在切變應(yīng)力下，半導(dǎo)體材料的幾何結(jié)構(gòu)可改變。例如，剪切角可被考慮為在從矩形形狀偏離，即從η/2的角度偏離的邊緣之間的角度的派生。此外，虎克定律描述了彈性區(qū)域的應(yīng)力和應(yīng)變或切變的關(guān)系。如前面提到的，虎克定律也可用于例如通過確定應(yīng)變和剪切角來確定在應(yīng)力下的主體的多維變形。在一些實(shí)施例中，應(yīng)變計(jì)可用于測量或確定在半導(dǎo)體電路20的幾何結(jié)構(gòu)中的變化。例如，應(yīng)變計(jì)可集成或耦合到半導(dǎo)體電路20，使得應(yīng)變計(jì)的幾何結(jié)構(gòu)中的變化也由于施加應(yīng)力而改變其電阻。這可導(dǎo)致這樣的關(guān)系，其中它的電阻隨著被施加的拉伸應(yīng)力而增加。在一些實(shí)施例中，金屬膜可用作這些應(yīng)變計(jì)的電阻器。[0027]在另外的實(shí)施例中，壓電電阻率可用于確定半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力。對于一些材料，可發(fā)現(xiàn)應(yīng)變計(jì)靈敏系數(shù)明顯高于從機(jī)械形式變化的預(yù)期，這可能歸因于壓電電阻率。壓電電阻率描述特定電阻對施加應(yīng)力的依賴性。這樣的效應(yīng)可出現(xiàn)在例如硅或鍺的單晶材料中，如其可用于半導(dǎo)體電路20。可例如使用三個(gè)笛卡兒維度來測量沿著多個(gè)維度的壓電電阻率?？墒褂门c兩個(gè)二級張量有關(guān)的四級張量來描述壓電電阻率。換句話說，在實(shí)施例中，壓電電阻率可用于確定半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力，且可使用多個(gè)維度，例如軸向應(yīng)力、正交應(yīng)力和切變應(yīng)力。半導(dǎo)體電路20的壓電電阻率可取決于其襯底的摻雜類型和摻雜密度。而且，在一些實(shí)施例中，壓電電阻率的方向可取決于相對于晶體定向的方向。不同的晶片材料相對于表面可具有不同的定向，且因此壓電電阻器的相同布局可導(dǎo)致在這些方向上的不同靈敏度。在實(shí)施例中，可沿著半導(dǎo)體電路20的襯底的不同空間維度執(zhí)行電阻測量。例如在一些實(shí)施例中，至少兩個(gè)不同的空間維度可用于電阻測量。也就是說，如果所測量的電阻器被植入襯底或襯底層本身中，它們可因此具有在半導(dǎo)體表面20上的空間上分離的觸頭，其中從一個(gè)觸頭到另一觸頭的方向在至少兩個(gè)不同的空間維度中被定向。[0028]在一些實(shí)施例中，機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)可對應(yīng)于應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)的超過數(shù)。例如，可從機(jī)械應(yīng)力的某個(gè)范圍方面定義應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)，機(jī)械應(yīng)力的該范圍是可接受的，而不違反半導(dǎo)體電路20或半導(dǎo)體電路20被包括于的系統(tǒng)的安全完整性。而且，可定義使可接受的機(jī)械應(yīng)力水平與不可接受的機(jī)械應(yīng)力水平分離的閾值或應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)。在一些實(shí)施例中,激活信號可包括與警告有關(guān)的信息，使得應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)被超過。激活信號于是可用來觸發(fā)安全措施，如隨后將詳述的。[0029]在另外的實(shí)施例中，激活信號發(fā)生器14可配置成確定與機(jī)械應(yīng)力水平變化有關(guān)的信息。也就是說，一些實(shí)施例可對應(yīng)力水平變化做出反應(yīng)，且因此應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)可被定義為最大應(yīng)力水平變化，其可與給定時(shí)期或時(shí)間的流逝相關(guān)。激活信號發(fā)生器14可接著配置成基于與應(yīng)力水平變化有關(guān)的信息來產(chǎn)生激活信號。在另外的實(shí)施例中，激活信號發(fā)生器14可配置成確定與機(jī)械應(yīng)力水平變化率有關(guān)的信息，機(jī)械應(yīng)力水平變化率可對應(yīng)于應(yīng)力水平的時(shí)間導(dǎo)數(shù)或應(yīng)力水平的每時(shí)間單位的應(yīng)力水平變化。例如，當(dāng)突然的應(yīng)力水平變化出現(xiàn)時(shí)，應(yīng)力水平變化率可以很高。激活信號發(fā)生器14可接著配置成基于與機(jī)械應(yīng)力水平變化率有關(guān)的信息來產(chǎn)生激活信號。此外，在一些實(shí)施例中，激活信號發(fā)生器14可配置成當(dāng)半導(dǎo)體的機(jī)械故障基于機(jī)械應(yīng)力水平變化率超過機(jī)械應(yīng)力水平變化率標(biāo)準(zhǔn)而被檢測到時(shí)產(chǎn)生激活信號。也就是說，在一些實(shí)施例中，應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)可對應(yīng)于應(yīng)力水平變化率標(biāo)準(zhǔn)。如果半導(dǎo)體電路20的襯底有破壞、破裂或斷裂出現(xiàn)，則在對應(yīng)的應(yīng)力水平變化率中可能有峰值或階躍。[0030]在不同的實(shí)施例中，應(yīng)力監(jiān)視器和激活信號發(fā)生器可位于不同的半導(dǎo)體上。在這樣的實(shí)施例中，應(yīng)力監(jiān)視器可以是位于功率半導(dǎo)體上的壓電電阻傳感器，并將模擬輸出信號傳送到另一半導(dǎo)體，例如經(jīng)由其模數(shù)轉(zhuǎn)換器讀取模擬信號的微控制器。在這種實(shí)施例中，激活信號發(fā)生器可以是控制器軟件的一部分。在其它實(shí)施例中，激活信號發(fā)生器可以是與應(yīng)力監(jiān)視器相同的半導(dǎo)體的一部分，并可產(chǎn)生在定義的時(shí)間間隔內(nèi)被發(fā)送出的“芯片0K”信號或代碼或代碼序列，以便確保如果激活信號發(fā)生器具有歸因于過應(yīng)力情況的故障，激活信號也被識別出。[0031]圖2示出安全監(jiān)視電路100的實(shí)施例。安全監(jiān)視電路配置成監(jiān)視系統(tǒng)。安全監(jiān)視電路包括如上所述的檢測電路10。而且，安全監(jiān)視電路100包括控制模塊110，其配置成從檢測電路10的激活信號發(fā)生器14接收激活信號?？刂颇K110還配置成如果激活信號被接收到則將安全措施應(yīng)用于系統(tǒng)?？刂颇K110可對應(yīng)于用于控制例如任何處理實(shí)體的任何裝置，所述處理實(shí)體例如任何種類的處理器、可編程硬件等。[0032]在一些實(shí)施例中，例如三個(gè)線性和三個(gè)切變應(yīng)力方向的相關(guān)應(yīng)力分量中的至少一個(gè)的測量可由檢測電路10執(zhí)行。激活信號發(fā)生器14可配置成將這些應(yīng)力水平與對應(yīng)的容限水平進(jìn)行比較。如果該容限水平被超過，則它可導(dǎo)致由安全監(jiān)視電路100發(fā)起安全措施，這可根據(jù)相應(yīng)的應(yīng)用來定義。在一些實(shí)施例中，應(yīng)力測量可擴(kuò)展到多個(gè)，例如多達(dá)三個(gè)應(yīng)力分量，其描述具有如上所述的維度的半導(dǎo)體電路20的硅管芯的完全應(yīng)力狀態(tài)。所測量的應(yīng)力分量可被單獨(dú)地評估，或它們可例如通過數(shù)學(xué)等式來組合。在一些實(shí)施例中，測量可擴(kuò)展為檢測不可接受的應(yīng)力變化，其指示不可接受的操作條件變化出現(xiàn)。原因可以是歸因于機(jī)械損壞的來自應(yīng)用環(huán)境的巨大應(yīng)力或歸因于電氣故障的如溫度膨脹的內(nèi)部應(yīng)力源。在實(shí)施例中，例如，可被發(fā)起的可能的安全措施可以是例如通過關(guān)閉輸出驅(qū)動(dòng)器或重置整個(gè)芯片或半導(dǎo)體電路20來將系統(tǒng)帶到安全狀態(tài)。另一可能的安全措施將是向較高級實(shí)例報(bào)告錯(cuò)誤。[0033]根據(jù)上述內(nèi)容，安全監(jiān)視電路100、包括在其中的控制模塊110可分別配置成基于激活信號來維持系統(tǒng)的應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)。也就是說，控制模塊110配置成當(dāng)接收到激活信號時(shí)觸發(fā)或執(zhí)行某些動(dòng)作。一些實(shí)施例可分成兩組，其中在第一組中這樣的安全措施可在芯片或半導(dǎo)體電路本身上被執(zhí)行，例如某些端口或連接器的解激活。在第二組中，安全措施在系統(tǒng)的其它部件或單元上的芯片或半導(dǎo)體電路20外部被執(zhí)行。[0034]系統(tǒng)可例如是汽車系統(tǒng)，即，它可包括在車輛中或上實(shí)現(xiàn)的多個(gè)半導(dǎo)體，車輛例如汽車、面包車、卡車等。在其它應(yīng)用中，系統(tǒng)可對應(yīng)于在飛機(jī)、火車等中實(shí)現(xiàn)的半導(dǎo)體的系統(tǒng)。又其它系統(tǒng)可包括在發(fā)電廠、計(jì)算機(jī)或計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、通信系統(tǒng)等中的半導(dǎo)體電路。在一些實(shí)施例中，控制模塊110配置成如果激活信號被接收到則至少部分地關(guān)閉系統(tǒng)或半導(dǎo)體電路20。也就是說，安全措施可由激活信號觸發(fā)。激活信號可包括測量結(jié)果，或它可包括至少在一些實(shí)施例中可由單個(gè)比特表示的指令。單個(gè)比特可用于向控制模塊110指示應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)在半導(dǎo)體電路20上被滿足。激活信號可因此被考慮為警告信號。[0035]根據(jù)一般系統(tǒng)定義，對應(yīng)于激活信號的物理信號可由一個(gè)或多個(gè)協(xié)議定義。在一些實(shí)現(xiàn)或應(yīng)用中，激活信號可對應(yīng)于某個(gè)錯(cuò)誤代碼，標(biāo)志著機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)在半導(dǎo)體電路20上被滿足。在一些實(shí)施例中，安全措施應(yīng)用于半導(dǎo)體電路20本身。例如，半導(dǎo)體電路的功率部件可被關(guān)閉。在另一實(shí)施例中，另一功率部件的驅(qū)動(dòng)器可被關(guān)閉。也就是說，在一些實(shí)施例中，實(shí)際安全措施可基于半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力由在安全監(jiān)視電路100處的檢測電路10觸發(fā)，但在半導(dǎo)體電路20外部被執(zhí)行。[0036]在另外的實(shí)施例中，控制模塊110可配置成如果激活信號被接收到則重置半導(dǎo)體電路20或系統(tǒng)的至少一個(gè)部件。換句話說，另一安全措施是例如半導(dǎo)體電路20的部件或系統(tǒng)的另一部件的重置或重啟。其它安全措施可以是測量機(jī)械應(yīng)力的傳感器的例如傳感器信號的忽略，并考慮也可感測半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力水平的另一傳感器的另一傳感器信號。另一安全措施可以是將激活信號解釋為針對其它單元或甚至例如車輛駕駛員的用戶的警告標(biāo)記。而且，特別是當(dāng)考慮車輛中的系統(tǒng)時(shí)，車輛中的其它功能可在接收到激活信號時(shí)被解激活。在另外的實(shí)施例中，駕駛員的支持系統(tǒng)，例如自動(dòng)駕駛功能的支持系統(tǒng)可在接收到激活信號時(shí)被激活或它們的設(shè)置可被修改。也就是說，在一些實(shí)施例中，當(dāng)接收到激活信號時(shí)，可向系統(tǒng)的駕駛員或用戶發(fā)起警告，例如警告信號。[0037]在另外的實(shí)施例中，控制模塊110配置成如果激活信號被接收到則將半導(dǎo)體電路20或系統(tǒng)從正常操作狀態(tài)轉(zhuǎn)換到安全操作狀態(tài)。安全操作狀態(tài)是半導(dǎo)體電路20的故障的后果與正常操作狀態(tài)相比被減小的狀態(tài)。狀態(tài)的轉(zhuǎn)換可在半導(dǎo)體電路20本身上或在系統(tǒng)中的任何其它點(diǎn)處被觸發(fā)。例如，在傳感器的情況下，即，半導(dǎo)體電路20對應(yīng)于感測任何物理量的傳感器的情況下；激活信號可導(dǎo)致禁止傳感器信號進(jìn)一步在系統(tǒng)中被使用。另一安全措施將是例如通過使用相應(yīng)的錯(cuò)誤代碼或抑制“傳感器0K”代碼的傳輸來向系統(tǒng)的相關(guān)部件通知故障傳感器。在一些實(shí)施例中，安全狀態(tài)或安全操作狀態(tài)可以是系統(tǒng)級狀態(tài)，且它可取決于相應(yīng)的系統(tǒng)。換句話說，在不同的系統(tǒng)中，它可對應(yīng)于不同的狀態(tài)。例如，如果致動(dòng)器或作用器(actor)被監(jiān)視，則當(dāng)接收到激活信號時(shí)相應(yīng)的作用器或致動(dòng)器可被關(guān)閉。[0038]安全措施也可被稱為故障靜默措施(failsilentmeasure),因?yàn)楫?dāng)出故障時(shí)相應(yīng)的部件轉(zhuǎn)變成靜默的。在其它實(shí)施例中，可忽略傳感器信號且可使用冗余傳感器，針對此的機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)未被滿足。這樣的實(shí)施例也可被稱為故障運(yùn)行的(如果系統(tǒng)的規(guī)范仍然被達(dá)到)或故障降級的(如果一些規(guī)范參數(shù)被放松)安全措施。冗余傳感器可以是位于報(bào)告過應(yīng)力的硅之上級的相同或不同的設(shè)備。在其它實(shí)施例中，冗余傳感器信息可由在同一硅管芯的其它區(qū)域中的傳感器提供，針對這些其他區(qū)域的機(jī)械應(yīng)力仍然在可接受的范圍內(nèi)?？刂颇K110可接著轉(zhuǎn)變到安全操作狀態(tài)，其也可以是緊急狀態(tài)，且遺漏的信息也可基于其它源來估計(jì)。例如在一些實(shí)施例中，如果曲軸傳感器出故障，則控制單元的緊急程序可使用來自凸輪軸傳感器的已知的數(shù)據(jù)來啟動(dòng)。而且，在一些實(shí)施例中，可激活緊急信號，例如在儀表板或駕駛艙中的緊急燈。[0039]在另外的實(shí)施例中，控制模塊110可配置成控制至少一個(gè)額外的半導(dǎo)體電路?？刂颇K110還可配置成如果激活信號被接收到則將安全措施應(yīng)用于至少一個(gè)額外的半導(dǎo)體電路。例如在一些實(shí)施例中，可監(jiān)視致動(dòng)器或作用器，例如安全氣囊引發(fā)板(ignit1ntablet)的驅(qū)動(dòng)器。在這種情況下，可通過中斷到相應(yīng)的作用器的電流路徑來激活安全操作狀態(tài)。換句話說，可斷開在電流路徑或分支中的開關(guān)。當(dāng)檢測到故障時(shí)，于是可避免安全氣囊的意外引發(fā)。通常，錯(cuò)誤代碼可被發(fā)送到系統(tǒng)的其它部件，使得可采取進(jìn)一步的系統(tǒng)范圍的安全措施。在一些實(shí)施例中，只有錯(cuò)誤代碼可在整個(gè)系統(tǒng)中被通知或廣播。其它部件于是可被警告:在相應(yīng)的半導(dǎo)體電路20處的機(jī)械應(yīng)力情況被認(rèn)為太高。[0040]而且，可考慮另外的故障也可影響某些關(guān)閉過程。而且，在一些實(shí)施例中，沒有一個(gè)基本功能可被關(guān)閉，以便釋放部件的應(yīng)力。例如，在緊急模式中的汽車中，可使用控制單元來減小最大速度。隨著減小最大速度，在震動(dòng)、變形、溫度方面的機(jī)械應(yīng)力可被釋放，且可啟用半導(dǎo)體電路20的緊急模式。這樣的安全措施可應(yīng)用于具有低汽車安全完整性水平(ASIL)的功能，例如將功率窗口切換到這樣的模式，其中窗口只可以非常慢地關(guān)閉或打開并因而減小最大力。在另外的實(shí)施例中，系統(tǒng)可包括車輛中的多個(gè)電路，且控制模塊110可配置成如果激活信號被接收到則將安全措施應(yīng)用于系統(tǒng)的至少一個(gè)電路。[0041]圖3示出用于檢測半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力的方法的實(shí)施例的流程圖的方框圖。該方法包括監(jiān)視32半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力。該方法還包括提供34與半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的監(jiān)視信息。該方法還包括如果監(jiān)視信息指示機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)被半導(dǎo)體電路20滿足，則產(chǎn)生36包括與半導(dǎo)體電路20的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的激活信息的激活信號。[0042]在另外的實(shí)施例中，該方法可配置成根據(jù)上述描述監(jiān)視系統(tǒng)。系統(tǒng)包括半導(dǎo)體電路20。該方法可接著還包括接收激活信號并當(dāng)激活信號被接收到時(shí)將安全措施應(yīng)用于系統(tǒng)。[0043]實(shí)施例還提供計(jì)算機(jī)程序或具有計(jì)算機(jī)程序的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，當(dāng)計(jì)算機(jī)程序在計(jì)算機(jī)、處理器或軟件可編程硬件上被執(zhí)行時(shí)用于執(zhí)行一個(gè)或多個(gè)上面描述的方法。[0044]本領(lǐng)域中的技術(shù)人員將容易認(rèn)識到，各種上述方法的步驟可由編程計(jì)算機(jī)執(zhí)行。在本文中，一些實(shí)施例也意圖涵蓋程序存儲設(shè)備，例如數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)存儲介質(zhì)，其為機(jī)器或計(jì)算機(jī)可讀的并對指令的機(jī)器可執(zhí)行或計(jì)算機(jī)可執(zhí)行程序進(jìn)行編碼，其中指令執(zhí)行上述方法的一些或所有動(dòng)作。程序存儲設(shè)備可以是例如數(shù)字存儲器、例如磁盤和磁帶的磁存儲介質(zhì)、硬盤驅(qū)動(dòng)器或光可讀數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)存儲介質(zhì)。實(shí)施例還意圖涵蓋被編程為執(zhí)行上述方法的動(dòng)作的計(jì)算機(jī)或被編程為執(zhí)行上述方法的動(dòng)作的(現(xiàn)場)可編程邏輯陣列((F)PLA)或(現(xiàn)場)可編程門陣列((F)PGA)。[0045]描述和附圖僅僅說明本公開的原理。因此將認(rèn)識到，本領(lǐng)域中的技術(shù)人員將能夠設(shè)計(jì)各種布置，這些布置雖然沒有在本文中明確描述或示出，但體現(xiàn)本公開的原理并包括在其精神和范圍內(nèi)。此外，在本文記載的所有例子主要明確地意圖僅用于教導(dǎo)目的以幫助讀者理解本公開的原理和由發(fā)明人貢獻(xiàn)的概念以促進(jìn)本領(lǐng)域，并應(yīng)被解釋為不限于這樣特別記載的例子和條件。而且，在本文記載本公開的原理、方面和實(shí)施例的所有陳述以及其特定的例子意圖包括其等同物。[0046]被表示為“用于…的裝置”(執(zhí)行某個(gè)功能)的功能塊應(yīng)被理解為包括配置成分別執(zhí)行某個(gè)功能的電路的功能塊。因此，“用于某事物的裝置”也可被理解為“配置成或適合于某事物的裝置”。配置成執(zhí)行某個(gè)功能的裝置因此并不暗示這樣的裝置一定(在給定的時(shí)亥IJ)正執(zhí)行該功能。[0047]可通過使用例如“監(jiān)視器”、“發(fā)生器”、“控制器”等的專用硬件以及能夠執(zhí)行與適當(dāng)?shù)能浖嚓P(guān)的軟件的硬件來提供附圖中所示的各種元件的功能，包括被標(biāo)記為“裝置”、“用于監(jiān)視的裝置”、“用于產(chǎn)生的裝置”、“用于控制的裝置”等的任何功能塊。而且，在本文被描述為“裝置”的任何實(shí)體可對應(yīng)于或被實(shí)現(xiàn)為“一個(gè)或多個(gè)模塊”、“一個(gè)或多個(gè)設(shè)備”、“一個(gè)或多個(gè)單元”等。當(dāng)被處理器提供時(shí)，功能可由單個(gè)專用處理器、單個(gè)共享處理器或多個(gè)單獨(dú)的處理器提供，其中一些單獨(dú)的處理器可被共享。而且，術(shù)語“處理器”或“控制器”的明確使用不應(yīng)被解釋為排他地指代能夠執(zhí)行軟件的硬件，并可隱含地沒有限制地包括數(shù)字信號處理器(DSP)硬件、網(wǎng)絡(luò)處理器、專用集成電路(ASIC)、現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA)、用于存儲軟件的只讀存儲器(ROM)、隨機(jī)存取存儲器(RAM)和非易失性儲存器。也可包括常規(guī)和/或定制的其它硬件。[0048]本領(lǐng)域中的技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識到，本文的任何方框圖代表體現(xiàn)本公開的原理的說明性電路的概念視圖。類似地，將認(rèn)識到，任何流程圖表、流程圖、狀態(tài)轉(zhuǎn)移圖、偽代碼等代表各種過程，所述過程可基本上在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)中被表示且由計(jì)算機(jī)或處理器這樣執(zhí)行，而不管這樣的計(jì)算機(jī)或處理器是否被明確示出。[0049]此外，所附權(quán)利要求特此并入【具體實(shí)施方式】中，其中每個(gè)權(quán)利要求可獨(dú)立地作為單獨(dú)的實(shí)施例。雖然每個(gè)權(quán)利要求可獨(dú)立地作為單獨(dú)的實(shí)施例，應(yīng)注意——雖然從屬權(quán)利要求可在權(quán)利要求中指代與一個(gè)或多個(gè)其它權(quán)利要求的特定組合一其它實(shí)施例也可包括從屬權(quán)利要求與彼此從屬或獨(dú)立的權(quán)利要求的主題的組合。在本文提出了這樣的組合，除非聲明特定的組合不是意圖的。此外，意圖也包括一權(quán)利要求至任何其它獨(dú)立權(quán)利要求的特征，即使未使得該權(quán)利要求直接從屬于獨(dú)立權(quán)利要求。[0050]進(jìn)一步注意，在說明書中或在權(quán)利要求中公開的方法可由具有用于執(zhí)行這些方法的每個(gè)相應(yīng)動(dòng)作的裝置的設(shè)備來實(shí)現(xiàn)。[0051]此外，應(yīng)理解，在說明書或權(quán)利要求中公開的多個(gè)動(dòng)作或功能的公開可以不被解釋為在特定的順序內(nèi)。因此，多個(gè)動(dòng)作或功能的公開將不把這些限制到特定的順序，除非這樣的動(dòng)作或功能由于技術(shù)原因而不是可互換的。此外，在一些實(shí)施例中，單個(gè)動(dòng)作可包括或可分成多個(gè)子動(dòng)作。這樣的子動(dòng)作和該單個(gè)動(dòng)作的公開的部分可被包括，除非被明確排除。【權(quán)利要求】1.一種配置成檢測半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力的檢測電路，所述檢測電路包括:應(yīng)力監(jiān)視模塊，其配置成監(jiān)視所述半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力，并提供與所述半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的監(jiān)視信息；以及激活信號發(fā)生器，其配置成如果所述監(jiān)視信息指示機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)被所述半導(dǎo)體電路滿足，則產(chǎn)生激活信號，所述激活信號包括與所述半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的激活信息。2.如權(quán)利要求1所述的檢測電路，其中所述應(yīng)力監(jiān)視模塊包括耦合到所述半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力傳感器，且其中所述應(yīng)力監(jiān)視模塊配置成基于在所述半導(dǎo)體電路處的至少電阻或壓電電阻測量來提供與所述半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的監(jiān)視信息。3.如權(quán)利要求2所述的檢測電路，其中所述電阻測量沿著所述半導(dǎo)體電路的襯底的至少兩個(gè)不同的空間維度被執(zhí)行。4.如權(quán)利要求1所述的檢測電路，其中所述機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)于應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)的超過數(shù)，且其中所述激活信號包括與所述應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)被超過的警告有關(guān)的信息。5.如權(quán)利要求1所述的檢測電路，其中所述激活信號發(fā)生器配置成確定與機(jī)械應(yīng)力水平變化有關(guān)的信息，并基于與所述應(yīng)力水平變化有關(guān)的信息來產(chǎn)生所述激活信號。6.如權(quán)利要求1所述的檢測電路，其中所述激活信號發(fā)生器配置成確定與機(jī)械應(yīng)力水平變化率有關(guān)的信息，并基于與所述機(jī)械應(yīng)力水平變化率有關(guān)的信息來產(chǎn)生所述激活信號。7.如權(quán)利要求6所述的檢測電路，其中所述激活信號發(fā)生器配置成當(dāng)半導(dǎo)體的機(jī)械故障基于機(jī)械應(yīng)力水平變化率超過機(jī)械應(yīng)力水平變化率標(biāo)準(zhǔn)而被檢測到時(shí)產(chǎn)生所述激活信號。8.如權(quán)利要求1所述的檢測電路，其中由所述激活信號發(fā)生器產(chǎn)生的所述激活信號配置成引起安全措施的激活。9.一種配置成監(jiān)視系統(tǒng)的安全監(jiān)視電路，包括:權(quán)利要求1所述的檢測電路；以及控制模塊，其配置成從所述激活信號發(fā)生器接收所述激活信號，并且如果所述激活信號被接收到則將安全措施應(yīng)用于所述系統(tǒng)。10.如權(quán)利要求9所述的安全監(jiān)視電路，其中所述控制模塊配置成基于所述激活信號來維持所述系統(tǒng)的應(yīng)力安全標(biāo)準(zhǔn)。11.如權(quán)利要求9所述的安全監(jiān)視電路，其中所述控制模塊配置成如果所述激活信號被接收到則至少部分地關(guān)閉所述系統(tǒng)或所述半導(dǎo)體電路。12.如權(quán)利要求9所述的安全監(jiān)視電路，其中所述控制模塊配置成如果所述激活信號被接收到則關(guān)閉所述系統(tǒng)的功率部件或功率部件的驅(qū)動(dòng)器。13.如權(quán)利要求9所述的安全監(jiān)視電路，其中所述控制模塊配置成如果所述激活信號被接收到則重置所述半導(dǎo)體電路或所述系統(tǒng)的至少一個(gè)部件。14.如權(quán)利要求9所述的安全監(jiān)視電路，其中所述控制模塊配置成如果所述激活信號被接收到則將所述半導(dǎo)體電路或所述系統(tǒng)從正常操作狀態(tài)轉(zhuǎn)換到安全操作狀態(tài)，安全狀態(tài)是與所述正常操作狀態(tài)相比所述半導(dǎo)體電路的故障的后果減小的狀態(tài)。15.如權(quán)利要求9所述的安全監(jiān)視電路，其中所述控制模塊配置成控制至少一個(gè)額外的半導(dǎo)體電路，且其中所述控制模塊配置成如果所述激活信號被接收到則將安全措施應(yīng)用于所述至少一個(gè)額外的半導(dǎo)體電路。16.如權(quán)利要求9所述的安全監(jiān)視電路，其中所述系統(tǒng)包括車輛中的多個(gè)電路，且其中所述控制模塊配置成如果所述激活信號被接收到則將安全措施應(yīng)用于所述系統(tǒng)的至少一個(gè)電路。17.一種用于檢測半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力的方法，所述方法包括:監(jiān)視所述半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力；提供與所述半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的監(jiān)視信息；以及如果所述監(jiān)視信息指示機(jī)械應(yīng)力水平標(biāo)準(zhǔn)被所述半導(dǎo)體電路滿足，則產(chǎn)生激活信號，所述激活信號包括與所述半導(dǎo)體電路的機(jī)械應(yīng)力水平有關(guān)的激活信息。18.如權(quán)利要求17所述的方法，配置成監(jiān)視包括所述半導(dǎo)體電路的系統(tǒng)，所述方法還包括:接收所述激活信號；以及當(dāng)所述激活信號被接收到時(shí)將安全措施應(yīng)用于所述系統(tǒng)。【文檔編號】G01L1/18GK104344918SQ201410389080【公開日】2015年2月11日申請日期:2014年8月8日優(yōu)先權(quán)日:2013年8月9日【發(fā)明者】D.哈默施米特申請人:英飛凌科技股份有限公司