監(jiān)控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種監(jiān)控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)，包括以下步驟：設(shè)定探針卡的每根探針的標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍，獲取所述探針卡每根探針的漏電電流，將所述漏電電流與所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍進(jìn)行比對(duì)，若所述漏電電流在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍內(nèi)，則所述漏電電流對(duì)應(yīng)的探針卡上的探針正常，若所述漏電電流不在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍內(nèi)，則所述漏電電流對(duì)應(yīng)的探針卡上的探針異常，則發(fā)出警報(bào)。本發(fā)明解決了不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)探針卡漏電異常的問(wèn)題。
【專(zhuān)利說(shuō)明】監(jiān)控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及微電子領(lǐng)域，尤其是一種監(jiān)控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監(jiān)控系 統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002] 使用探針卡對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行檢測(cè)是當(dāng)今半導(dǎo)體器件測(cè)試中的一種十分常用的 方法。使用探針卡進(jìn)行測(cè)試是為了規(guī)格一致性而在硅片集成電路上進(jìn)行的電學(xué)參數(shù)測(cè)試， 通過(guò)使用探針卡對(duì)硅片的測(cè)試能夠發(fā)現(xiàn)被測(cè)硅片存在的缺陷，避免將有缺陷的硅片投入市 場(chǎng)，同時(shí)在發(fā)現(xiàn)了存在缺陷的硅片后能夠?qū)?shù)據(jù)反饋給半導(dǎo)體工程師，從而發(fā)現(xiàn)并糾正制 造過(guò)程中的問(wèn)題。
[0003] 娃片在生廣完成后被安裝在印刷電路板（PCB)上，當(dāng)印刷電路板生廣完畢后，這 時(shí)如果在對(duì)PCB進(jìn)行的檢測(cè)中發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，需要極其復(fù)雜的診斷過(guò)程和人工分析才能找到問(wèn) 題的原因。如果是集成電路的問(wèn)題，這就需要將存在問(wèn)題的集成電路拆卸下來(lái)，將替換的 集成電路安裝上去，由于當(dāng)下大規(guī)模集成電路的封裝一般都是球柵陣列封裝（Ball Grid Array Package, BGA)，使得手工拆卸幾乎不可能，因此在拆卸過(guò)程中需要使用專(zhuān)業(yè)的工具。 由此可見(jiàn)，如果在印刷電路板的生產(chǎn)完畢后才測(cè)試出問(wèn)題，對(duì)于生產(chǎn)的影響是大大高于單 片階段的發(fā)現(xiàn)問(wèn)題的，對(duì)于復(fù)雜的設(shè)備，如果在整機(jī)階段才發(fā)現(xiàn)集成電路的問(wèn)題，其對(duì)于生 產(chǎn)的影響是更為巨大的。
[0004] 所以，對(duì)于集成電路生產(chǎn)時(shí)的測(cè)試是很有意義的。
[0005] 而對(duì)于集成電路生產(chǎn)時(shí)的測(cè)試通常采用探針卡對(duì)芯片進(jìn)行測(cè)試，探針卡是自動(dòng)測(cè) 試儀與待測(cè)器件之間的橋梁，通過(guò)探針卡實(shí)現(xiàn)測(cè)試儀和被測(cè)芯片的連接。因此在測(cè)試過(guò)程 中探針卡的狀態(tài)是十分重要的，因此需要對(duì)探針卡進(jìn)行漏電檢查。探針卡漏電合格則可以 正常測(cè)試，不合格則需要維修才能測(cè)試。
[0006] 現(xiàn)有技術(shù)都需要工程師拿著探針卡在機(jī)臺(tái)中手動(dòng)進(jìn)行漏電檢查，檢查合格則進(jìn)行 測(cè)試。但在芯片測(cè)試過(guò)程中，工程師往往看不到結(jié)果，總是在數(shù)據(jù)出現(xiàn)異常時(shí)再去檢查探針 卡的漏電，往往這時(shí)已經(jīng)影響到許多待測(cè)器件。而且，數(shù)據(jù)出現(xiàn)異常也有可能是機(jī)臺(tái)上的部 件出現(xiàn)故障，很難分辨出是機(jī)臺(tái)的故障還是探針卡漏電異常。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 本發(fā)明的目的在于提供一種監(jiān)控探針卡漏電的方法，能夠長(zhǎng)時(shí)間的監(jiān)控探針卡的 漏電結(jié)果，并能及時(shí)發(fā)現(xiàn)探針卡漏電異常，還能經(jīng)過(guò)分析判斷是機(jī)臺(tái)故障還是探針卡漏電 異常。
[0008] 為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案為：
[0009] 一種監(jiān)控探針卡漏電的方法，包括以下步驟：
[0010] 設(shè)定探針卡的每根探針的標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍；
[0011] 獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；
[0012] 將所述漏電電流與所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍進(jìn)行比對(duì)；
[0013] 若所述漏電電流在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍內(nèi)，則所述漏電電流對(duì)應(yīng)的探針卡上的針 正常；
[0014] 若所述漏電電流不在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍，則所述漏電電流對(duì)應(yīng)的探針卡上的針 異常，則發(fā)出警報(bào)。
[0015] 優(yōu)選的，在上述監(jiān)控探針卡漏電的方法中，標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍為-3. OOpA?3. OOpA。
[0016] 一種探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)，包括：
[0017] 設(shè)定存儲(chǔ)模塊，用于設(shè)定探針卡的每根探針的標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍；
[0018] 信息采集模塊，用于獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；
[0019] 處理模塊，用于將所述漏電電流與所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍進(jìn)行比對(duì)。
[0020] 優(yōu)選的，在上述一種探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)中，所述設(shè)定存儲(chǔ)模塊設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)漏電 流范圍為-3. OOpA?3. OOpA。
[0021] 優(yōu)選的，在上述一種探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)中，還包括信息輸出模塊，用于輸出所述 探針卡每根探針的漏電電流。
[0022] 優(yōu)選的，在上述一種探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)中，采用顯示器作為所述信息輸出模塊。
[0023] 優(yōu)選的，在上述一種探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)中，所述處理模塊對(duì)所述探針卡每根探 針的漏電電流與-3. OOpA?3. OOpA進(jìn)行比對(duì)。
[0024] 優(yōu)選的，在上述一種探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)中，還包括喇叭，當(dāng)所述漏電電流不在所 述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍內(nèi)時(shí)，所述喇叭發(fā)出警報(bào)。
[0025] 上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果：
[0026] 本發(fā)明通過(guò)設(shè)定探針卡的每根探針的標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍，在獲取探針卡的每根探針 的漏電電流后，與所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍進(jìn)行比對(duì)，來(lái)判斷探針卡漏電是否異常，若出現(xiàn)異 常，則向工程師發(fā)出警報(bào)，工程師則可以第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)探針卡的漏電異常。同時(shí)還可以對(duì)同 一機(jī)臺(tái)上工作過(guò)的多個(gè)探針卡的漏電電流分析，若連接所述機(jī)臺(tái)同一 PIN腳的多個(gè)探針卡 均出現(xiàn)漏電異常，則可判斷為機(jī)臺(tái)故障，而且根據(jù)PIN腳可判斷出機(jī)臺(tái)上出現(xiàn)故障的具體 部件。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0027] 圖1為本發(fā)明實(shí)施例中監(jiān)控探針卡漏電的方法的步驟示意圖；
[0028] 圖2為本發(fā)明實(shí)施例中探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)的原理示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0029] 下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行更詳細(xì)的描述。根據(jù)下列描述和 權(quán)利要求書(shū)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均 使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0030] 本發(fā)明是一種監(jiān)控探針卡漏電的方法，如圖1所示，所述監(jiān)控探針卡漏電的方法， 包括以下步驟：
[0031] 首先，設(shè)定探針卡的每根探針的標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍為-3. OOpA?3. OOpA之間，該標(biāo) 準(zhǔn)漏電流范圍可根據(jù)實(shí)際情況設(shè)定。
[0032] 然后，獲取所述探針卡每根探針的漏電電流。
[0033] 進(jìn)一步的，將所述漏電電流與所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍-3. OOpA?3. OOpA進(jìn)行比對(duì)。
[0034] 若所述漏電電流在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍-3. OOpA?3. OOpA之間，則所述漏電電流 對(duì)應(yīng)的探針卡上的針正常，則繼續(xù)測(cè)試。
[0035] 若所述漏電電流不在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍-3. OOpA?3. OOpA之間，則所述漏電電 流對(duì)應(yīng)的探針卡上的針異常，則發(fā)出警報(bào)。
[0036] 工程師則可以第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)探針卡的漏電異常。還可以對(duì)同一機(jī)臺(tái)上工作過(guò)的多 個(gè)探針卡的漏電電流分析，若連接所述機(jī)臺(tái)同一 PIN腳的多個(gè)探針卡均出現(xiàn)漏電異常，則 可判斷為機(jī)臺(tái)故障，而且根據(jù)PIN腳可判斷出機(jī)臺(tái)上出現(xiàn)故障的具體部件。
[0037] 同時(shí)，本發(fā)明還提供一種探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)，如圖2所示，所述探針卡漏電監(jiān)控 系統(tǒng)包括：
[0038] 設(shè)定存儲(chǔ)模塊，用于設(shè)定探針卡的每根探針的標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍；
[0039] 信息采集模塊，用于獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；
[0040] 處理模塊，用于將所述漏電電流與所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍進(jìn)行比對(duì)。
[0041] 首先，用所述設(shè)定存儲(chǔ)模塊設(shè)定探針卡的每根探針的標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍 為-3. OOpA?3. 00ρΑ，該標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍可根據(jù)實(shí)際情況設(shè)定。
[0042] 然后，用信息采集模塊獲取所述探針卡每根探針的漏電電流；
[0043] 進(jìn)一步的，處理模塊將所述漏電電流與所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍-3. OOpA?3. OOpA進(jìn) 行比對(duì)。
[0044] 若所述漏電電流在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍-3. OOpA?3. OOpA之間，則所述漏電電流 對(duì)應(yīng)的探針卡上的針正常，則繼續(xù)測(cè)試。
[0045] 若所述漏電電流不在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍-3. OOpA?3. OOpA之間，則所述漏電電 流對(duì)應(yīng)的探針卡上的針異常。
[0046] 具體的，在上述探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)中，還包括信息輸出模塊，采用顯示器作為所 述信息輸出模塊。用于輸出所述探針卡每根探針的漏電電流。
[0047] 進(jìn)一步的，在本發(fā)明提供的探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)中，還包括喇叭，當(dāng)所述漏電電流 不在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍內(nèi)時(shí)，所述喇叭發(fā)出警報(bào)。
[0048] 綜上，在本發(fā)明實(shí)施例提供的監(jiān)控探針卡漏電的方法及探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)中， 通過(guò)設(shè)定探針卡的每根探針的標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍，在獲取探針卡的每根探針的漏電電流后， 與所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍進(jìn)行比對(duì)，來(lái)判斷探針卡漏電是否異常，若出現(xiàn)異常，則發(fā)出警報(bào)， 工程師則可以第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)探針卡的漏電異常。還可以對(duì)同一機(jī)臺(tái)上工作過(guò)的多個(gè)探針卡 的漏電電流分析，若連接所述機(jī)臺(tái)同一 PIN腳的多個(gè)探針卡均出現(xiàn)漏電異常，則可判斷為 機(jī)臺(tái)故障，而且根據(jù)PIN腳可判斷出機(jī)臺(tái)上出現(xiàn)故障的具體部件。
[〇〇49] 上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬 【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和 技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍 屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種監(jiān)控探針卡漏電的方法，其特征在于，包括以下步驟： 設(shè)定探針卡的每根探針的標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍； 獲取所述探針卡每根探針的漏電電流； 將所述漏電電流與所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍進(jìn)行比對(duì)； 若所述漏電電流在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍內(nèi)，則所述漏電電流對(duì)應(yīng)的探針卡上的針正 常； 若所述漏電電流不在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍，則所述漏電電流對(duì)應(yīng)的探針卡上的針異 常，則發(fā)出警報(bào)。
2. 如權(quán)利要求1所述的監(jiān)控探針卡漏電的方法，其特征在于，標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍 為-3. OOpA ?3· OOpA。
3. -種探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，包括： 設(shè)定存儲(chǔ)模塊，用于設(shè)定探針卡的每根探針的標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍； 信息采集模塊，用于獲取所述探針卡每根探針的漏電電流； 處理模塊，用于將所述漏電電流與所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍進(jìn)行比對(duì)。
4. 如權(quán)利要求3所述的探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述設(shè)定存儲(chǔ)模塊設(shè)定的 標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍為_(kāi)3. OOpA?3. OOpA。
5. 如權(quán)利要求3所述的探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，還包括信息輸出模塊，用于 輸出所述探針卡每根探針的漏電電流。
6. 如權(quán)利要求5所述的探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，采用顯示器作為所述信息 輸出模塊。
7. 如權(quán)利要求3所述的探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述處理模塊對(duì)所述探針 卡每根探針的漏電電流與-3. OOpA?3. OOpA進(jìn)行比對(duì)。
8. 如權(quán)利要求3所述的探針卡漏電監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，還包括喇叭，當(dāng)所述漏電電 流不在所述標(biāo)準(zhǔn)漏電流范圍內(nèi)時(shí)，所述喇叭發(fā)出警報(bào)。
【文檔編號(hào)】G01R35/00GK104101855SQ201410356387
【公開(kāi)日】2014年10月15日 申請(qǐng)日期:2014年7月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月24日
【發(fā)明者】沈茜, 婁曉祺 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司