快門式光譜透過率測試儀及測試方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種快門式光譜透過率測試儀及測試方法，快門式光譜透過率測試儀包括單色光源、濾光片切換裝置、透鏡、星點孔、半透半反鏡、反射鏡組、光信號接收探測裝置、數(shù)據(jù)采集裝置以及主控計算機；濾光片切換裝置、透鏡、星點孔以及半透半反鏡依次設(shè)置在單色光源的出射光路上；半透半反鏡將入射至半透半反鏡上的光束分為透射光以及反射光；透射光以及反射光分別經(jīng)過待測光學系統(tǒng)和反射鏡組后匯聚于光信號接收探測裝置上；數(shù)據(jù)采集裝置分別與光信號接收探測裝置和濾光片切換裝置相連；主控計算機分別與數(shù)據(jù)采集裝置和單色光源相連。本發(fā)明解決了分光光度計可測光學系統(tǒng)尺寸限制以及光源頻率調(diào)制穩(wěn)定性差的問題。
【專利說明】快門式光譜透過率測試儀及測試方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬光電測試領(lǐng)域，涉及一種光學系統(tǒng)光譜透過率的自動測試裝置及方法，尤其涉及一種單探測器實現(xiàn)多路同源光信號的能量采集，從而進行光學系統(tǒng)光譜透過率的自動連續(xù)檢定裝置和方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在測定各類光學相機時，為保證相機在特定波長范圍內(nèi)的探測能力，均需要對其光譜響應(yīng)特性做出評定，除獲取CCD的光譜響應(yīng)曲線外，還需要與其配套的光學成像系統(tǒng)的光譜響應(yīng)函數(shù)，由此確定相機的光譜響應(yīng)能力和范圍，驗證其是否與設(shè)計一致。
[0003]光學系統(tǒng)的透過率測試，通常分為白光透過率和光譜透過率。白光透過率測試，利用復色白光光源，分別測量被測光學系統(tǒng)是否位于測量光路中時，光電探測器的信號幅值，計算白光透過率。光譜透過率測試，測試方法與白光透過率相同，只是將光源變?yōu)閱紊庠?，計算光譜透過率。以上兩種方法的缺陷在于，測試工作分兩步完成，測試光源的時間穩(wěn)定性、被測光學系統(tǒng)放入測量光路的位置重復性等因素，對測量結(jié)果的誤差影響很大，尤其對于光譜透過率測試結(jié)果更是如此。
[0004]目前在售的分光光度計，將單色光源的出射光一分為二，一路作為基準光路，另一路作為測量光路，被測光學系統(tǒng)位于測量光路中，測試過程中不需要移動，解決了被測光學系統(tǒng)重復放入被測光路引起的重復性誤差。同時，為對兩路光信號加以區(qū)分，在光源的出射端對其進行頻率調(diào)制，在信號接收端解調(diào)。整個測量系統(tǒng)位于一個全黑的密閉容器中，可測的光學系統(tǒng)的外形尺寸和參數(shù)受到一定限制，一般局限于尺寸較小，焦距較短的光學系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決【背景技術(shù)】中存在的分光光度計可測光學系統(tǒng)尺寸限制以及光源頻率調(diào)制穩(wěn)定性差的問題，本發(fā)明提供了一種快門式光譜透過率測試儀及測試方法。
[0006]本發(fā)明的技術(shù)解決方案是:本發(fā)明提供了一種快門式光譜透過率測試儀，其特殊之處在于:所述快門式光譜透過率測試儀包括單色光源、濾光片切換裝置、透鏡、星點孔、半透半反鏡、反射鏡組、光信號接收探測裝置、數(shù)據(jù)采集裝置以及主控計算機；所述濾光片切換裝置、透鏡、星點孔以及半透半反鏡依次設(shè)置在單色光源的出射光路上；所述半透半反鏡將入射至半透半反鏡上的光束分為透射光以及反射光；透射光以及反射光分別經(jīng)過待測光學系統(tǒng)和反射鏡組后匯聚于光信號接收探測裝置上；所述數(shù)據(jù)采集裝置分別與光信號接收探測裝置和濾光片切換裝置相連；所述主控計算機分別與數(shù)據(jù)采集裝置和單色光源相連。
[0007]上述光信號接收探測裝置包括光信號接收裝置、光電探測器組以及光信號接收控制裝置；所述光電探測器組設(shè)置在光信號接收裝置上；所述光信號接收控制裝置與光信號接收裝置相連；所述光電探測器組與數(shù)據(jù)采集裝置相連。
[0008]上述光信號接收裝置包括光信號接收積分球、第一機械快門以及第二機械快門；所述光信號接收積分球包括第一入光口以及第二入光口 ；所述第一機械快門以及第二機械快門分別設(shè)置在第一入光口以及第二入光口上；所述光電探測器組探測經(jīng)第一入光口以及第二入光口進入光信號接收積分球的光信號。
[0009]上述光信號接收控制裝置包括時鐘脈沖產(chǎn)生電路、脈沖寬度自動調(diào)節(jié)電路以及快門驅(qū)動電路；所述時鐘脈沖產(chǎn)生電路以及脈沖寬度自動調(diào)節(jié)電路分別與快門驅(qū)動電路相連；所述快門驅(qū)動電路與第一機械快門以及第二機械快門相連。
[0010]上述光電探測器組包括用于紫外、可見光測量的探測器以及用于紅外測量的探測器。
[0011]上述單色光源是由單色儀出射的單色光。
[0012]一種基于如上所述的快門式光譜透過率測試儀的測試方法，其特殊之處在于，所述方法包括以下步驟:
[0013]I)主控計算機根據(jù)待測光學系統(tǒng)的波長范圍，控制單色儀連續(xù)產(chǎn)生單色光；
[0014]2)單色儀產(chǎn)生的單色光依次經(jīng)過透鏡、星點孔以及半透半反鏡，將入射至透鏡上的單色光光路一分為二，形成基準光路和測量光路，被測光學系統(tǒng)位于測量光路中；
[0015]3)基準光路和測量光路的第一機械快門以及第二機械快門在光信號接收控制裝置的控制下，交替開啟，并按同樣的時間曝光采用上升沿觸發(fā)方式進行觸發(fā)；所述第一機械快門以及第二機械快門間的時序控制信號頻率相同，相位相反；
[0016]4)光電探測器組分別將基準光路以及測量光路的光信號轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)過信號處理電路送入數(shù)據(jù)采集電路，高電平采集，低電平停止；在同一波長時，基準光路和測量光路的數(shù)據(jù)隊列均為非空時，計算此波長的光譜透過率。
[0017]上述方法在步驟4)之后還包括:
[0018]5)更改單色光源的輸出，重復光譜透過率測試過程，直至所有波長都測量完畢，計算平均光譜透過率。
[0019]上述曝光時間由時間脈沖產(chǎn)生電路產(chǎn)生的基頻信號周期與設(shè)定值的乘積獲得。
[0020]上述步驟4)中具體實現(xiàn)方式是:若同時取得了基準光路和測量光路的信號后，才計算此波長的光譜透過率；若基準光路和測量光路中任一路信號出現(xiàn)無法獲取的情況時，將自動嘗試重新采集；若連續(xù)嘗試失敗時，觸發(fā)復位信號，丟棄已經(jīng)獲得的信號，重新開啟當前波長的信號采集；若連續(xù)嘗試成功時，計算此波長的光譜透過率。
[0021]本發(fā)明的優(yōu)點是:
[0022]本發(fā)明提供了一種快門式光譜透過率測試儀及測試方法，該測試儀采用與分光光度計類似的光路設(shè)計，取消了頻率調(diào)制模塊，單色光源不需經(jīng)過調(diào)制，直接通過基準光路和測量光路進入能量收集積分球，在積分球的入光口安裝兩個快門，由一組脈沖序列控制其開啟與閉合，一套探測器采樣電路，由軟件配合，實現(xiàn)兩路光信號的快速交替測量，從而實現(xiàn)光學系統(tǒng)的光譜透過率測試。整套測量系統(tǒng)安裝于光學平臺上，可通過調(diào)整各光學元件的相對位置和尺寸實現(xiàn)光路的精細調(diào)整和變更，靈活性更好，使得可測的光學系統(tǒng)的尺寸和焦距范圍更大，適用范圍更廣。本發(fā)明各功能單元之間有嚴格的時序關(guān)系，通過計算機控制能夠達到完全的自動工作，并具有自動同步和探測器切換功能，避免了測人員參與而帶入的操作誤差和主觀影響。本發(fā)明所公開的測試儀采用開放式光路結(jié)構(gòu)，易于調(diào)整和變更，靈活性更好，適用范圍更廣；取消了結(jié)構(gòu)和控制復雜的頻率調(diào)制機構(gòu)，降低了技術(shù)難度和成本，使得系統(tǒng)的可維護性更好，性能更穩(wěn)定；采用的雙光路快門式光信號接收裝置，實現(xiàn)了單探測器多源光信號的自動連續(xù)采集，簡化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，使得測量重復性更好；采用的數(shù)據(jù)采集容錯設(shè)計，能夠避免因數(shù)據(jù)采集失誤造成的軟件死循環(huán)情況的發(fā)生，提高了軟件的自動化水平和自我修復能力，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性；本發(fā)明操作簡單，完全自動測量，控制精度高，重復性好，適用于批量測試。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是本發(fā)明所提供的雙路快門式光譜透過率測試儀的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；
[0024]圖2是本發(fā)明提出的各控制脈沖時序關(guān)系圖；
[0025]其中:
[0026]1-單色光源；2_濾光片切換裝置；3_透鏡；4_第一反射鏡；7_第二反射鏡；8_第三反射鏡；5_星點孔；6_半透半反鏡；9_被測光學系統(tǒng)；10_光信號接收積分球；11_第一機械快門；12_第二機械快門；13_光電探測器；14_數(shù)據(jù)采集電路；15_主控計算機。
【具體實施方式】
[0027]參見圖1，本發(fā)明提供了 一種快門式光譜透過率測試儀，快門式光譜透過率測試儀包括單色光源1、濾光片切換裝置2、透鏡3、第一反射鏡4、星點孔5、半透半反鏡6、反射鏡組(第二反射鏡7以及第三反射鏡8組成)、光信號接收探測裝置、數(shù)據(jù)采集電路14以及主控計算機15 ;濾光片切換裝置2、透鏡3、第一反射鏡4、星點孔5以及半透半反鏡6依次設(shè)置在單色光源I的出射光路上；半透半反鏡6將入射至半透半反鏡6的光源分為透射光以及反射光；透射光以及反射光分別經(jīng)過被測光學系統(tǒng)9以及反射鏡組(依次經(jīng)過第二反射鏡7以及第三反射鏡8)后匯聚于光信號接收探測裝置上；數(shù)據(jù)采集電路14分別與光信號接收探測裝置和濾光片切換裝置2相連；主控計算機15分別與數(shù)據(jù)采集電路14和單色光源I相連。
[0028]光信號接收探測裝置包括光信號接收裝置、光電探測器組13以及光信號接收控制裝置(第一機械快門11以及第二機械快門12);光電探測器組13設(shè)置在光信號接收裝置上；光信號接收控制裝置(第一機械快門11以及第二機械快門12)與光信號接收裝置相連；光電探測器組13與數(shù)據(jù)采集電路14相連。
[0029]光信號接收裝置包括光信號接收積分球10、第一機械快門11以及第二機械快門12 ;光信號接收積分球10包括第一入光口以及第二入光口 ；第一機械快門11以及第二機械快門12分別設(shè)置在第一入光口以及第二入光口上；光電探測器組13探測經(jīng)第一入光口以及第二入光口進入光信號接收積分球10的光信號。
[0030]光信號接收控制裝置包括時鐘脈沖產(chǎn)生電路、脈沖寬度自動調(diào)節(jié)電路以及快門驅(qū)動電路；時鐘脈沖產(chǎn)生電路以及脈沖寬度自動調(diào)節(jié)電路分別與快門驅(qū)動電路相連；快門驅(qū)動電路與第一機械快門11以及第二機械快門12相連。
[0031]光電探測器組13包括用于紫外、可見光測量的探測器以及用于紅外測量的探測器。
[0032]本發(fā)明由單色光源及其濾光片切換電路、機械快門同步控制模塊、系統(tǒng)時序控制信號和光電探測器信號處理電路以及主控計算機組成。
[0033]單色光源選用光譜位置分辨率高、準確度好的單色儀作為光源，其長期時間穩(wěn)定性優(yōu)于3% /h，短期時間穩(wěn)定性優(yōu)于1% /h，為避免一定波長處二級光譜對單色光的影響，光源配置了手動濾光片組，在此將其改進為自動濾光片切換裝置。單色光源和濾光片組由軟件自動控制，根據(jù)需要變化波長和濾光片。
[0034]快門同步控制模塊，由時鐘脈沖產(chǎn)生電路、脈沖寬度自動調(diào)節(jié)電路、快門驅(qū)動電路、機械快門組成。由機械快門的工作過程可知，當收到系統(tǒng)送來的快門開啟觸發(fā)信號時，由快門按照設(shè)定時間曝光，然后關(guān)閉。曝光時間的長短，由時間脈沖產(chǎn)生電路產(chǎn)生的基頻信號周期與設(shè)定值的乘積獲得?？扉T驅(qū)動電路收到觸發(fā)脈沖后，驅(qū)動快門開啟，同時脈沖寬度自動調(diào)節(jié)電路根據(jù)曝光時間確定驅(qū)動電流的有效時間，從而保持快門開啟直到曝光時間結(jié)束。
[0035]由系統(tǒng)的工作原理可知，為使系統(tǒng)順利協(xié)同工作，機械快門和光電探測器的數(shù)據(jù)采集過程需按照一定的時序關(guān)系工作。單探測器同時采集兩路光信號，只經(jīng)過一個數(shù)據(jù)處理采集通路，連續(xù)采集光電探測器的輸出信號，形成一個數(shù)據(jù)序列，為對兩路信號進行區(qū)分，在此設(shè)立了與快門觸發(fā)脈沖特征匹配的標志位，根據(jù)此標志將數(shù)據(jù)序列一分為二，避免了使用雙通道數(shù)據(jù)采集時，程序需在兩個采集通道間不斷切換的問題，降低了系統(tǒng)開銷。
[0036]為保證同一波長條件下，兩路信號的匹配正確，進行了容錯設(shè)計，當同時取得了基準光路和測量光路的信號后，系統(tǒng)才進行下一步處理，如果某一路信號出現(xiàn)無法獲取的情況時，軟件將自動嘗試重新采集，連續(xù)嘗試失敗時觸發(fā)復位信號，軟件丟棄另一路已經(jīng)獲得的信號，重新開啟當前波長的信號采集過程。
[0037]為實現(xiàn)光譜透過率的連續(xù)測量，單個探測的光譜探測能力不足以滿足全譜段測量的信噪比要求，為此，系統(tǒng)配置了用于紫外、可見光測量的探測器和用于紅外測量的探測器及其數(shù)據(jù)處理采集電路。通過對兩種探測器的事前標定，確定其最佳工作范圍，所選可見光探測器的工作范圍是350?1050nm，紅外探測器的工作范圍是1050?1800nm。系統(tǒng)在指定波長處實現(xiàn)探測器切換，由計算機做出相應(yīng)處理。
[0038]主控計算機根據(jù)測量要求控制單色光源，產(chǎn)生快門控制和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的脈沖信號，采集并保存數(shù)據(jù)，計算各波長處的光譜透過率，繪制光譜透過率曲線。
[0039]本發(fā)明的具體工作過程是:
[0040]I)主控計算機根據(jù)測量設(shè)定，控制單色儀連續(xù)產(chǎn)生單色光，到達指定波長并穩(wěn)定后，根據(jù)其波長位置決定是否需要切換濾光片以消除二級光譜；
[0041]2)單色儀的出射光經(jīng)過透鏡變?yōu)槠叫泄猓?jīng)反射鏡從星點孔出射，形成星點像，再經(jīng)過半透半反鏡將光路一分為二，形成基準光路和測量光路，被測光學系統(tǒng)位于測量光路中；
[0042]3)基準光路和測量光路的快門在機械快門同步控制模塊的控制下，按照一定的頻率交替開啟，并按同樣的時間曝光。受機械快門自身特性的限制，快門收到觸發(fā)脈沖后，其開啟速度慢于關(guān)閉速度，這一參數(shù)固定不變，快門保持開啟的時間可以自由設(shè)定，為保證足夠的采樣精度和延時裕度，本系統(tǒng)設(shè)定快門保持開啟耗時為50ms，曝光時間為100ms，采用上升沿觸發(fā)方式。曝光結(jié)束后，快門自動閉合，直到下一次觸發(fā)脈沖到來。由于兩快門的工作特性完全相同，都為上升沿觸發(fā)，因此只需對其上升沿信號進行設(shè)定，兩快門間的時序控制信號頻率相同，相位相反即可。
[0043]4)光電探測器不斷將光信號轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)過信號處理電路送入數(shù)據(jù)采集電路，如果計算機連續(xù)采集探測器信號，將會把快門還未完全開啟和完全關(guān)閉時的信號也計入數(shù)據(jù)隊列，這種情況存在較大不確定性，帶來很大的測量誤差，降低測量精度。為解決此問題，系統(tǒng)對數(shù)據(jù)采集的啟停進行控制，由一采樣控制信號對采樣過程進行電平觸發(fā)，高電平采集，低電平停止。當系統(tǒng)發(fā)出快門開啟的觸發(fā)信號時，系統(tǒng)自動延時一段時間(該延時時間事先經(jīng)過測定，是所用快門的特性參數(shù)之一)，等待快門完全開啟后，采樣控制信號變?yōu)楦唠娖?，觸發(fā)數(shù)據(jù)采集電路按照預定的采樣頻率和采樣數(shù)完成信號采集。通過合理設(shè)定采樣頻率和采樣數(shù),數(shù)據(jù)采集先于快門關(guān)閉結(jié)束,并將采樣控制信號置為低電平,不會受到快門關(guān)閉過程的影響。
[0044]同一波長時，基準光路和測量光路的數(shù)據(jù)隊列均為非空時，計算此波長的光譜透過率。
[0045]按照設(shè)定的波長間隔，更改單色光源輸出，等待收到單色光源I的就位通知后，重復光譜透過率測試過程，直到所有波長都測量完畢，計算平均光譜透過率。
[0046]探測器信號的數(shù)據(jù)本身并不能被區(qū)分其屬于哪個光路，需要對其進行標識。因為兩光路對應(yīng)快門的觸發(fā)信號是頻率相同、相位相反的方波信號，所以可以任選其中一路觸發(fā)信號作為參考，根據(jù)其在采樣期間的高低電平判斷所采集的探測器信號屬于哪個光路，并把它們放入相應(yīng)隊列。
[0047]系統(tǒng)中各光學元件的光譜反射比、透射比等參數(shù)在整個波長測量范圍內(nèi)并不是一致的，因此兩光路的光強隨著波長的變化而不斷變化，為消除系統(tǒng)特性對測量結(jié)果的影響，需要事先對這一系列參數(shù)進行標定，利用此參數(shù)對光譜透過率進行修正。這組修正參數(shù)的取得與光譜透過率測試方法一致，只是被測光路中沒有光學系統(tǒng)存在，測量步長設(shè)定為lnm。修正參數(shù)是系統(tǒng)的固有參數(shù)，可通過事前的多次標定取得，作為系統(tǒng)參數(shù)固化于軟件中，實際測量時系統(tǒng)根據(jù)采樣步長從中提取對應(yīng)波長處的修正參數(shù)。
【權(quán)利要求】
1.一種快門式光譜透過率測試儀，其特征在于:所述快門式光譜透過率測試儀包括單色光源、濾光片切換裝置、透鏡、星點孔、半透半反鏡、反射鏡組、光信號接收探測裝置、數(shù)據(jù)采集裝置以及主控計算機；所述濾光片切換裝置、透鏡、星點孔以及半透半反鏡依次設(shè)置在單色光源的出射光路上；所述半透半反鏡將入射至半透半反鏡上的光束分為透射光以及反射光；透射光以及反射光分別經(jīng)過待測光學系統(tǒng)和反射鏡組后匯聚于光信號接收探測裝置上；所述數(shù)據(jù)采集裝置分別與光信號接收探測裝置和濾光片切換裝置相連；所述主控計算機分別與數(shù)據(jù)采集裝置和單色光源相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快門式光譜透過率測試儀，其特征在于:所述光信號接收探測裝置包括光信號接收裝置、光電探測器組以及光信號接收控制裝置；所述光電探測器組設(shè)置在光信號接收裝置上；所述光信號接收控制裝置與光信號接收裝置相連；所述光電探測器組與數(shù)據(jù)采集裝置相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的快門式光譜透過率測試儀，其特征在于:所述光信號接收裝置包括光信號接收積分球、第一機械快門以及第二機械快門；所述光信號接收積分球包括第一入光口以及第二入 光口 ；所述第一機械快門以及第二機械快門分別設(shè)置在第一入光口以及第二入光口上；所述光電探測器組探測經(jīng)第一入光口以及第二入光口進入光信號接收積分球的光信號。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的快門式光譜透過率測試儀，其特征在于:所述光信號接收控制裝置包括時鐘脈沖產(chǎn)生電路、脈沖寬度自動調(diào)節(jié)電路以及快門驅(qū)動電路；所述時鐘脈沖產(chǎn)生電路以及脈沖寬度自動調(diào)節(jié)電路分別與快門驅(qū)動電路相連；所述快門驅(qū)動電路與第一機械快門以及第二機械快門相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3或4所述的快門式光譜透過率測試儀，其特征在于:所述光電探測器組包括用于紫外、可見光測量的探測器以及用于紅外測量的探測器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的快門式光譜透過率測試儀，其特征在于:所述單色光源是由單色儀出射的單色光。
7.一種基于如權(quán)利要求6所述的快門式光譜透過率測試儀的測試方法，其特征在于:所述方法包括以下步驟: 1)主控計算機根據(jù)待測光學系統(tǒng)的波長范圍，控制單色儀連續(xù)產(chǎn)生單色光； 2)單色儀產(chǎn)生的單色光依次經(jīng)過透鏡、星點孔以及半透半反鏡，將入射至透鏡上的單色光光路一分為二，形成基準光路和測量光路，被測光學系統(tǒng)位于測量光路中； 3)基準光路和測量光路的第一機械快門以及第二機械快門在光信號接收控制裝置的控制下，交替開啟，并按同樣的時間曝光采用上升沿觸發(fā)方式進行觸發(fā)；所述第一機械快門以及第二機械快門間的時序控制信號頻率相同，相位相反； 4)光電探測器組分別將基準光路以及測量光路的光信號轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)過信號處理電路送入數(shù)據(jù)采集電路，高電平采集，低電平停止；在同一波長時，基準光路和測量光路的數(shù)據(jù)隊列均為非空時，計算此波長的光譜透過率。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的快門式光譜透過率測試儀的測試方法，其特征在于:所述方法在步驟4)之后還包括: 5)更改單色光源的輸出，重復光譜透過率測試過程，直至所有波長都測量完畢，計算平均光譜透過率。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的快門式光譜透過率測試儀的測試方法，其特征在于:所述曝光時間由時間脈沖產(chǎn)生電路產(chǎn)生的基頻信號周期與設(shè)定值的乘積獲得。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的快門式光譜透過率測試儀的測試方法，其特征在于:所述步驟4)中具體實現(xiàn)方式是:若同時取得了基準光路和測量光路的信號后，才計算此波長的光譜透過率；若基準光路和測量光路中任一路信號出現(xiàn)無法獲取的情況時，將自動嘗試重新采集；若連續(xù)嘗試失敗時，觸發(fā)復位信號，丟棄已經(jīng)獲得的信號，重新開啟當前波長的信號采集；若連續(xù)嘗試成功時 ，計算此波長的光譜透過率。
【文檔編號】G01M11/02GK103940592SQ201410165905
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2014年4月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月22日
【發(fā)明者】昌明, 趙建科, 龍江波, 曹昆, 趙懷學, 劉峰 申請人:中國科學院西安光學精密機械研究所