一種檢測裝置及檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種檢測裝置和用該檢測裝置檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的方法，用以在實(shí)際生產(chǎn)中方便、準(zhǔn)確的檢測玻璃基板在反應(yīng)室內(nèi)的破損情況。所述裝置包括傳感探頭，用于接收被檢測物體的散射光；光譜轉(zhuǎn)化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉(zhuǎn)化為光譜；光譜比較模塊，用于將所述轉(zhuǎn)化的光譜與預(yù)先設(shè)定的光譜作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述被檢測物體。
【專利說明】一種檢測裝置及檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種檢測裝置及檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)公開了一種使用光傳感器來檢測平面顯示裝置生產(chǎn)線上移動(dòng)的玻璃基板的邊緣部分破損情況的破損檢測裝置。該裝置通過設(shè)置于玻璃基板要移動(dòng)的位置的下部或上部兩個(gè)傳感器，在玻璃基板通過時(shí)，用于識(shí)別玻璃基板而發(fā)出信號(hào)；控制器與所述至少兩個(gè)傳感器電連接，接收所述至少兩個(gè)傳感器的各自的信號(hào)。在玻璃基板通過所述至少兩個(gè)傳感器的上部或下部時(shí)，從所述至少兩個(gè)傳感器分別讀出接收的信號(hào)，確定玻璃基板完全通過各傳感器所需的時(shí)間，或者是在玻璃基板通過所述至少兩個(gè)傳感器的上部或下部時(shí)，對(duì)從所述至少兩個(gè)傳感器接收的信號(hào)各自的脈沖個(gè)數(shù)分別進(jìn)行計(jì)數(shù)，將這樣分別確定的時(shí)間或分別計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，從而判斷玻璃基板有無破損。
[0003]綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)判斷玻璃基板有無破損，通過傳送腔的機(jī)械手在拿取過程中，感知固定位置的破損，這時(shí)如果破損，傳送腔和機(jī)械手已經(jīng)帶入玻璃碎片。另外，用傳感器進(jìn)行檢查時(shí)，無論傳感器的個(gè)數(shù)有多少，在檢查過程中都會(huì)有傳感器感知不到的盲區(qū)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供了一種檢測裝置和用該檢測裝置檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的方法，用以在實(shí)際生產(chǎn)中方便、準(zhǔn)確的檢測玻璃基板在反應(yīng)室內(nèi)的破損情況。
[0005]根據(jù)本發(fā)明提供的一種檢測裝置，所述裝置包括:
[0006]傳感探頭，用于接收被檢測物體的散射光；
[0007]光譜轉(zhuǎn)化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉(zhuǎn)化為光譜；
[0008]光譜比較模塊，用于將所述轉(zhuǎn)化的光譜與預(yù)先設(shè)定的光譜作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述被檢測物體。
[0009]由本發(fā)明提供的一種檢測裝置，由于該裝置包括傳感探頭，用于接收被檢測物體的散射光；光譜轉(zhuǎn)化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉(zhuǎn)化為光譜；光譜比較模塊，用于將所述轉(zhuǎn)化的光譜與預(yù)先設(shè)定的光譜作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述被檢測物體，本發(fā)明提供的檢測裝置，可以用于檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損，在實(shí)際生產(chǎn)中能夠方便、準(zhǔn)確的檢測玻璃基板在反應(yīng)室內(nèi)的破損情況。
[0010]較佳地，所述檢測裝置還包括:
[0011]溫度轉(zhuǎn)化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉(zhuǎn)化為溫度；
[0012]溫度比較模塊，用于將所述轉(zhuǎn)化的溫度與預(yù)先設(shè)定的溫度作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述被檢測物體。
[0013]這樣，由于該裝置還包括溫度轉(zhuǎn)化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉(zhuǎn)化為溫度；溫度比較模塊，用于將所述轉(zhuǎn)化的溫度與預(yù)先設(shè)定的溫度作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述被檢測物體，本發(fā)明提供的檢測裝置，可以用于檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損，在實(shí)際生產(chǎn)中能夠方便、準(zhǔn)確的檢測玻璃基板在反應(yīng)室內(nèi)的破損情況。
[0014]較佳地，所述檢測裝置還包括:
[0015]信號(hào)反饋模塊，用于當(dāng)檢測到所述被檢測物體時(shí)，發(fā)出反饋信號(hào)到與所述檢測裝置連接的控制單元。
[0016]這樣，由于該裝置還包括信號(hào)反饋模塊，于當(dāng)檢測到所述被檢測物體時(shí)，發(fā)出反饋信號(hào)到與所述檢測裝置連接的控制單元，該控制單元可以控制所述反應(yīng)室停止工作，能夠及時(shí)將發(fā)生玻璃基板破損的反應(yīng)室停止，杜絕了破損基板繼續(xù)轉(zhuǎn)送到其它腔室的可能，只在發(fā)生破損的反應(yīng)室停下，其它腔室不影響正常生產(chǎn)，減輕了基板的損失和整個(gè)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間。
[0017]較佳地，所述檢測裝置還包括與所述傳感探頭連接的搖擺式底座和電機(jī)，用于控制所述傳感探頭轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0018]這樣，與所述檢測裝置的傳感探頭連接的搖擺式底座和電機(jī)可以控制傳感探頭轉(zhuǎn)動(dòng)，以便檢測裝置能夠更準(zhǔn)確的收集玻璃基板的散射光。
[0019]本發(fā)明還提供了 一種用上述檢測裝置檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的方法，所述方法包括:
[0020]檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光；
[0021]檢測裝置將檢測到的所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光轉(zhuǎn)化為光譜；
[0022]檢測裝置將所述轉(zhuǎn)化的光譜與預(yù)先設(shè)定的光譜作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板。
[0023]由本發(fā)明提供的一種用上述檢測裝置檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的方法，由于檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光；檢測裝置將檢測到的所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光轉(zhuǎn)化為光譜；檢測裝置將所述轉(zhuǎn)化的光譜與預(yù)先設(shè)定的光譜作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板，本發(fā)明提供的用于檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的方法在實(shí)際生產(chǎn)中能夠方便、準(zhǔn)確的檢測玻璃基板在反應(yīng)室內(nèi)的破損情況。
[0024]較佳地，所述檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光前，該方法還包括:
[0025]反應(yīng)室內(nèi)提升柱將反應(yīng)室內(nèi)玻璃基板提升，使得所述玻璃基板與反應(yīng)室電極表面無接觸。
[0026]這樣，若玻璃基板與反應(yīng)室電極表面接觸時(shí)，檢測裝置無法根據(jù)測試結(jié)果判斷此時(shí)玻璃基板的破損情況，故在檢測裝置檢測前，需要反應(yīng)室內(nèi)的提升柱將反應(yīng)室內(nèi)玻璃基板提升，使得該玻璃基板與反應(yīng)室電極表面無接觸。
[0027]較佳地，所述檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光前，該方法還包括:
[0028]在所述反應(yīng)室內(nèi)設(shè)置照明裝置，所述照明裝置為所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板提供照射光。
[0029]這樣，由于在所述反應(yīng)室內(nèi)設(shè)置照明裝置，所述照明裝置為所述反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板提供照射光，故此時(shí)檢測裝置能夠更好的收集到所述反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板的散射光。[0030]較佳地，所述檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光前，該方法還包括:
[0031]在所述反應(yīng)室內(nèi)形成等離子場，所述等離子場加熱所述玻璃基板的表面。
[0032]這樣，在所述反應(yīng)室內(nèi)形成等離子場，等離子場能夠加熱所述玻璃基板的表面，以便檢測裝置更好的檢測。
[0033]較佳地，所述檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光后，該方法還包括:
[0034]檢測裝置將檢測到的所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光轉(zhuǎn)化為溫度，將所述轉(zhuǎn)化的溫度與預(yù)先設(shè)定的溫度作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板。
[0035]這樣，由于檢測裝置將檢測到的所述反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板的散射光轉(zhuǎn)化為溫度，將所述轉(zhuǎn)化的溫度與預(yù)先設(shè)定的溫度作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述玻璃基板，本發(fā)明提供的檢測裝置，可以用于檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損，在實(shí)際生產(chǎn)中能夠方便、準(zhǔn)確的檢測玻璃基板在反應(yīng)室內(nèi)的破損情況。
[0036]較佳地，所述檢測裝置檢測到所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板后，該方法還包括:
[0037]所述檢測裝置發(fā)出反饋信號(hào)到控制反應(yīng)室工作的控制單元，該控制單元控制所述
反應(yīng)室停止工作。
[0038]這樣，當(dāng)所述檢測裝置發(fā)出反饋信號(hào)到控制反應(yīng)室工作的控制單元，該控制單元控制所述反應(yīng)室停止工作時(shí)，能夠及時(shí)將發(fā)生玻璃基板破損的反應(yīng)室停止，杜絕了破損基板繼續(xù)轉(zhuǎn)送到其它腔室的可能，只在發(fā)生破損的反應(yīng)室停下，其它腔室不影響正常生產(chǎn)，減輕了基板的損失和整個(gè)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間，提聞了良品率和移動(dòng)時(shí)間。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0039]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種檢測裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0040]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的方法流程圖；
[0041]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種檢測裝置檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的示意圖；
[0042]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種檢測裝置檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的另一不意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0043]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種檢測裝置和用該檢測裝置檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的方法，用以在實(shí)際生產(chǎn)中方便、準(zhǔn)確的檢測玻璃基板在反應(yīng)室內(nèi)的破損情況。
[0044]下面給出本發(fā)明具體實(shí)施例提供的技術(shù)方案的詳細(xì)介紹。
[0045]本發(fā)明具體實(shí)施例以干刻機(jī)的反應(yīng)室為例具體進(jìn)行說明，當(dāng)然，本發(fā)明具體實(shí)施例并不限于干刻機(jī)的反應(yīng)室，還可以為其它生產(chǎn)設(shè)備的反應(yīng)室，如用于鍍膜的磁控濺射設(shè)備的反應(yīng)室。[0046]目前的干刻機(jī)通常為多個(gè)反應(yīng)室共用一個(gè)傳送室，反應(yīng)室內(nèi)正在反應(yīng)時(shí)，玻璃基板放置在下部電極，通過施加靜電吸附固定基板，然后電極從玻璃基板背部吹出2000mtorr?3000mtorr壓力的室溫氦氣，如果流量超過一定流量,如IOsccm,則認(rèn)為玻璃基板破裂。在實(shí)際反應(yīng)完成后，反應(yīng)室內(nèi)的支撐柱將玻璃基板舉起離開下部電極的過程中，無法用氣體流量判斷反應(yīng)室內(nèi)玻璃基板的破損情況，而在實(shí)際生產(chǎn)中，該過程是玻璃基板破損的高發(fā)時(shí)間段。一旦玻璃破損，直到傳送室的雙層機(jī)械手下手臂取出破損基板，才有可能被安裝在傳送室的光電傳感器感知到。此時(shí)傳送室已經(jīng)存在破碎殘片，對(duì)于上手臂的玻璃可能造成碰撞和污染，如果沒有感知到破碎，甚至機(jī)械手會(huì)把碎片帶到其它反應(yīng)室造成更大范圍的設(shè)備和玻璃基板損害。
[0047]如圖1所示，本發(fā)明具體實(shí)施例提供的一種檢測裝置，所述裝置包括:
[0048]傳感探頭10，用于接收被檢測物體的散射光；
[0049]光譜轉(zhuǎn)化模塊11，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉(zhuǎn)化為光譜；
[0050]光譜比較模塊12，用于將所述轉(zhuǎn)化的光譜與預(yù)先設(shè)定的光譜作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述被檢測物體。
[0051]如圖2所示，本發(fā)明具體實(shí)施例還提供了一種用該檢測裝置檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的方法，該方法包括:
[0052]S201、檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光；
[0053]S202、檢測裝置將檢測到的所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光轉(zhuǎn)化為光譜；
[0054]S203、檢測裝置將所述轉(zhuǎn)化的光譜與預(yù)先設(shè)定的光譜作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板。
[0055]如圖3所示，本發(fā)明具體實(shí)施例提供的一種用于檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的檢測裝置的具體檢測過程為，首先反應(yīng)室內(nèi)提升柱35抬起玻璃基板32，使得玻璃基板32與反應(yīng)室電極31表面無接觸，由于在實(shí)際生產(chǎn)過程中，當(dāng)玻璃基板32與反應(yīng)室電極31表面接觸時(shí)的反應(yīng)過程可以通過氣體流量判斷反應(yīng)室內(nèi)玻璃基板的破損情況,本發(fā)明具體實(shí)施例提供的檢測裝置30主要用在玻璃基板與反應(yīng)室電極表面無接觸的情況，在此情況下檢測反應(yīng)室電極表面是否有玻璃基板的存在，此時(shí)若檢測到有玻璃基板存在時(shí)，則認(rèn)為此時(shí)反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板存在破損。
[0056]本發(fā)明具體實(shí)施例的檢測裝置中的傳感探頭10位于反應(yīng)室的反應(yīng)壁上的透視窗內(nèi)，反應(yīng)室的反應(yīng)壁上的透視窗可以為矩形的氧化硅(Si02)透視窗，也可以為橢圓型的Si02透視窗33，本發(fā)明具體實(shí)施例中為了能夠更好的收集玻璃碎片34的散射光，將位于反應(yīng)室的反應(yīng)壁上的透視窗33設(shè)置為橢圓型，同時(shí)也將本發(fā)明具體實(shí)施例中的傳感探頭10的表面設(shè)置為橢圓型。
[0057]具體地，為了更好的收集玻璃碎片34的散射光，在干刻機(jī)的反應(yīng)室內(nèi)設(shè)置照明裝置，所述照明裝置為所述反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板提供照射光，其中，玻璃碎片34的致密金屬線能夠?qū)⒄彰餮b置提供的照射光分光成單色的散射光，此散射光可以被本發(fā)明具體實(shí)施例的檢測裝置中的傳感探頭10感知并收集，此時(shí)檢測裝置中的光譜轉(zhuǎn)化模塊11可以將收集到的玻璃碎片34的散射光轉(zhuǎn)化為光譜，光譜比較模塊12將所述轉(zhuǎn)化的光譜與預(yù)先設(shè)定的光譜作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到玻璃碎片34。本發(fā)明具體實(shí)施例中檢測的反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板為檢測反應(yīng)室電極表面處是否存在破碎的玻璃基板，具體并不限定于檢測下部的反應(yīng)室電極31的表面，也可以檢測上部的反應(yīng)室電極表面處是否存在破碎的玻璃基板。由于反應(yīng)室電極31的材料為陶瓷材料，玻璃碎片34的光譜特性和陶瓷的反應(yīng)室電極的光譜特性差別很大，因此若上述的比較結(jié)果存在差異時(shí)，檢測裝置30判斷為此時(shí)有玻璃碎片，檢測裝置30中的信號(hào)反饋模塊發(fā)出反饋信號(hào)到干刻機(jī)設(shè)備的控制端，控制端通過軟件發(fā)出禁止使用該反應(yīng)室的信號(hào)，從而將該反應(yīng)室禁用，其它反應(yīng)室和傳送室、送料室繼續(xù)正常工作。
[0058]具體地，本發(fā)明具體實(shí)施例中的傳感探頭10接收到玻璃碎片34的散射光后，檢測裝置30中的溫度轉(zhuǎn)化模塊可以將接收到的玻璃碎片34的散射光轉(zhuǎn)化為其溫度，本發(fā)明具體實(shí)施例中的散射光具體為紅外光，轉(zhuǎn)化的溫度為紅外溫度，接著檢測裝置30中的溫度比較模塊將轉(zhuǎn)化的玻璃碎片34的溫度與預(yù)先設(shè)定的溫度作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到玻璃碎片34。具體的，傳感探頭10接收到玻璃碎片34的散射光后，通過檢測裝置中的光電探測器轉(zhuǎn)變?yōu)橄鄳?yīng)的電信號(hào)，該電信號(hào)經(jīng)過檢測裝置中的放大器和信號(hào)處理電路，并按照檢測裝置中的內(nèi)置算法和檢測裝置對(duì)反應(yīng)室電極31表面的發(fā)射率校正及環(huán)境溫度補(bǔ)償后轉(zhuǎn)變?yōu)椴Ａ槠?4表面的溫度值。由于反應(yīng)室電極31的材料為陶瓷材料，玻璃碎片34的紅外溫度特性和陶瓷的反應(yīng)室電極31的差別很大，因此若上述的比較結(jié)果存在差異時(shí)，檢測裝置判斷為此時(shí)有玻璃碎片存在，檢測裝置30中的信號(hào)反饋模塊發(fā)出反饋信號(hào)到干刻機(jī)設(shè)備的控制端，控制端通過軟件發(fā)出禁止使用該反應(yīng)室的信號(hào)，從而將該反應(yīng)室禁用，其它反應(yīng)室和傳送室、送料室繼續(xù)正常工作。具體地，當(dāng)反應(yīng)室內(nèi)提升柱抬起玻璃基板到距離下部電極150mm高之時(shí),通過反應(yīng)室施加IOOOw的13.56MHz射頻電壓和500sccm的氧氣，產(chǎn)生低濃度微弱等離子場，由于下部電極是冷卻液的冷卻和基板背部氦氣的制冷吹拂，下部電極溫度在50度±5度之間，當(dāng)玻璃基板碎片殘留在下部電極時(shí)，殘留的玻璃表面由于弱等離子體產(chǎn)生表面的高溫，其溫度達(dá)到80度?100度之間。
[0059]如圖4所示，為了使檢測裝置中的傳感探頭10能夠收集到更大面積的反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光，將傳感探頭10與搖擺式底座和電機(jī)40相連，此時(shí)傳感探頭10能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，收集能力更強(qiáng)。具體地，本發(fā)明具體實(shí)施例中，搖擺式底座和電機(jī)30可以控制傳感探頭10在上下160度和/或水平160度的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0060]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和集合。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的集合之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括: 傳感探頭，用于接收被檢測物體的散射光； 光譜轉(zhuǎn)化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉(zhuǎn)化為光譜； 光譜比較模塊，用于將所述轉(zhuǎn)化的光譜與預(yù)先設(shè)定的光譜作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述被檢測物體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括: 溫度轉(zhuǎn)化模塊，用于將所述傳感探頭接收到的散射光轉(zhuǎn)化為溫度； 溫度比較模塊，用于將所述轉(zhuǎn)化的溫度與預(yù)先設(shè)定的溫度作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述被檢測物體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括: 信號(hào)反饋模塊，用于當(dāng)檢測到所述被檢測物體時(shí)，發(fā)出反饋信號(hào)到與所述檢測裝置連接的控制單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括與所述傳感探頭連接的搖擺式底座和電機(jī)，用于控制所述傳感探頭轉(zhuǎn)動(dòng)。
5.一種用權(quán)利要求1-4任一權(quán)項(xiàng)所述的檢測裝置檢測反應(yīng)室內(nèi)的玻璃基板是否破損的方法，其特征在于，所述方法包括: 檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光； 檢測裝置將檢測到的所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光轉(zhuǎn)化為光譜； 檢測裝置將所述轉(zhuǎn)化的光譜與預(yù)先設(shè)定的光譜作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光前，該方法還包括: 反應(yīng)室內(nèi)提升柱將反應(yīng)室內(nèi)玻璃基板提升，使得所述玻璃基板與反應(yīng)室電極表面無接觸。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光前，該方法還包括: 在所述反應(yīng)室內(nèi)設(shè)置照明裝置，所述照明裝置為所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板提供照射光。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光前，該方法還包括: 在所述反應(yīng)室內(nèi)形成等離子場，所述等離子場加熱所述玻璃基板的表面。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述檢測裝置檢測所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光后，該方法還包括: 檢測裝置將檢測到的所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板的散射光轉(zhuǎn)化為溫度，將所述轉(zhuǎn)化的溫度與預(yù)先設(shè)定的溫度作比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷是否檢測到所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述檢測裝置檢測到所述反應(yīng)室內(nèi)特定位置處的玻璃基板后，該方法還包括: 所述檢測裝置發(fā)出反饋信號(hào)到控制反應(yīng)室工作的控制單元，該控制單元控制所述反應(yīng)室停止工作。
【文檔編號(hào)】G01N21/25GK103792197SQ201410041385
【公開日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2014年1月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月28日
【發(fā)明者】張定濤, 袁明, 吳成龍, 鄭云友, 宋泳珍, 李偉 申請(qǐng)人:北京京東方顯示技術(shù)有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司