一種在高溫腔體中偵測物品存在的裝置及偵測方法
【專利摘要】一種在高溫腔體中偵測物品存在的裝置，用于偵測玻璃基板在高溫腔體中的進(jìn)出，偵測裝置包括感測探針和偵測元件，感測探針裝配于高溫腔體的側(cè)壁，其包括在同一直線上的固定探針和偏轉(zhuǎn)探針，當(dāng)玻璃基板進(jìn)入高溫腔體內(nèi)時，玻璃基板觸碰到偏轉(zhuǎn)探針時，偏轉(zhuǎn)探針接通偵測元件，則偵測元件發(fā)出感應(yīng)信號，以表征玻璃基板進(jìn)入高溫腔體內(nèi)。通過簡單地機(jī)械結(jié)構(gòu)和常規(guī)的偵測元件，就可以實時地判斷玻璃基板或其他元器件是否存在于高溫設(shè)備中，保障了物料偵測的實時性和準(zhǔn)確性。
【專利說明】一種在高溫腔體中偵測物品存在的裝置及偵測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種偵測裝置和偵測方法，尤其是指一種在高溫腔體中偵測物品存在的裝置及偵測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在玻璃基板的制造過程中，需要將其從高溫腔體導(dǎo)出至較低溫腔體中進(jìn)行加工，在封閉的腔室內(nèi)連續(xù)完成。在現(xiàn)有技術(shù)中，采用軟件記錄來記錄玻璃基板在高溫腔體中的進(jìn)出狀況，來判斷玻璃基板是否已存在于高溫設(shè)備中，若發(fā)生檢修時，已將玻璃基板從高溫設(shè)備中取出，未及時更新軟件的記錄信息，影響后續(xù)制程的進(jìn)出料工序，發(fā)生錯誤的幾率很大，因此，有必要提供一種能準(zhǔn)備記錄玻璃基板是否存在于高溫腔體內(nèi)裝置和方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]基于現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的主要目的在于提供一種可實時判斷玻璃基板是否在高溫腔體內(nèi)的偵測裝置和偵測方法。
[0004]本發(fā)明提供了一種在高溫腔體中偵測物品存在的裝置，用于偵測玻璃基板在高溫腔體中的進(jìn)出，其中，所述偵測裝置包括感測探針和偵測元件，感測探針裝配于高溫腔體的側(cè)壁，其包括在同一直線上的固定探針和偏轉(zhuǎn)探針，當(dāng)玻璃基板進(jìn)入高溫腔體內(nèi)時，玻璃基板觸碰到偏轉(zhuǎn)探針時，偏轉(zhuǎn)探針接通偵測元件，則偵測元件發(fā)出感應(yīng)信號，以表征玻璃基板進(jìn)入高溫腔體內(nèi)。
[0005]優(yōu)選地，所述偏轉(zhuǎn)探針的兩端重量不相等，其中，設(shè)與玻璃基板觸碰端為第一端臂，與接觸探針觸碰端為第二端臂，所述第一端臂的重量小于第二端臂的重量，所述第一端臂的長度小于第二端臂的長度，從而使得第一端臂向上翹起。
[0006]優(yōu)選地，所述偵測元件為光柵感應(yīng)器或壓敏感應(yīng)器。所述偵測元件為光柵感應(yīng)器時，所述光柵感應(yīng)器包括光源發(fā)射器、接觸探針和光源接收器，光源發(fā)射器與接觸探針連接，當(dāng)玻璃基板觸碰到偏轉(zhuǎn)探針時，通過偏轉(zhuǎn)探針的反向擺動接通光源發(fā)射器，光源接收器所接收的光源強(qiáng)度降低，則將光強(qiáng)感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送。所述偵測元件為壓敏感應(yīng)器時，所述壓敏感應(yīng)器的前端伸出接觸探針，當(dāng)玻璃基板觸碰到偏轉(zhuǎn)探針時，通過偏轉(zhuǎn)探針的反向擺動接通壓敏感應(yīng)器，若壓敏感應(yīng)器所測的當(dāng)前壓力大于設(shè)定的壓力值，則將壓力感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送。
[0007]優(yōu)選地，在本發(fā)明的偵測裝置中，增設(shè)有安裝于高溫腔體側(cè)壁的密封軸承，所述偏轉(zhuǎn)探針由密封軸承中穿出，其可以密封軸承為軸心上下偏轉(zhuǎn)。通過密封軸承固定所述偏轉(zhuǎn)探針，并將高溫腔體密封，防止其漏氣。
[0008]本發(fā)明還提供了一種高溫腔體內(nèi)偵測物品存在的方法，用于偵測玻璃基板在高溫腔體中的進(jìn)出。在初始狀態(tài)，高溫腔體內(nèi)無玻璃基板，偏轉(zhuǎn)探針處于正常傾斜狀態(tài)，且偏轉(zhuǎn)探針與接觸探針不接觸，偵測元件未導(dǎo)通；當(dāng)偏轉(zhuǎn)探針受壓而發(fā)生偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)探針與接觸探針接觸，導(dǎo)通偵測元件，偵測元件發(fā)出感應(yīng)信號，表示玻璃基板進(jìn)入高溫腔體內(nèi)。[0009]其中，所述偵測元件為光柵感應(yīng)器或壓敏感應(yīng)器，當(dāng)偏轉(zhuǎn)探針受壓偏轉(zhuǎn)而觸碰到接觸探針時，導(dǎo)通偵測元件，當(dāng)偵測元件所測定的光強(qiáng)變化值或壓力變化值大于設(shè)定值時，則將感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明一種在高溫腔體中偵測物品存在的裝置，可應(yīng)用于實時偵測玻璃基板在高溫腔體中的存在，當(dāng)玻璃基板進(jìn)入腔體內(nèi)時，向偏轉(zhuǎn)探針施壓，使其發(fā)生偏轉(zhuǎn)而接通偵測元件，若偵測元件感測到光強(qiáng)或壓力的變化，則可判定玻璃基板存在于腔體內(nèi)。同樣地，當(dāng)玻璃基板離開腔體時，也可以通過感測光強(qiáng)或壓力的變化，來判定其是否還存在其中。由此，通過簡單地機(jī)械結(jié)構(gòu)和常規(guī)的偵測元件，就可以實時地判斷玻璃基板或其他元器件是否存在于高溫設(shè)備中，有效降低了因采用軟件來對進(jìn)出料進(jìn)行記錄而產(chǎn)生的失誤，降低了生產(chǎn)過程中因物料與產(chǎn)品不符而產(chǎn)生的問題等等，也不需要針對高溫設(shè)備的偵測應(yīng)用而采用耐高溫的元件，減少了開發(fā)費用，保障了物料偵測的實時性和準(zhǔn)確性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本發(fā)明一種在高溫腔體中偵測物品存在的裝置在初始狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本發(fā)明一種在高溫腔體中偵測物品存在的裝置在玻璃基板存在時的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0013]為了對高溫設(shè)備腔體內(nèi)的物品是否存在進(jìn)行實時監(jiān)測，參照圖1和圖2所示，本發(fā)明提供了一種在高溫腔體中偵測物品存在的裝置，用于偵測玻璃基板3在高溫腔體中的進(jìn)出，其中，所述偵測裝置設(shè)于高溫腔體2的任一側(cè)，包括感測探針和偵測元件12，所述感測探針包括在同一直線上的固定探針I(yè)Oa和偏轉(zhuǎn)探針10b，其裝配于高溫腔體2的側(cè)壁，當(dāng)玻璃基板進(jìn)入高溫腔體2內(nèi)時，玻璃基板3觸碰到偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob時，偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob接通偵測元件12，則偵測元件12發(fā)出感應(yīng)信號，以表征玻璃基板3進(jìn)入高溫腔體2內(nèi)。本發(fā)明通過偵測裝置的機(jī)械式感測的方式，判斷玻璃基板3是否存在于高溫腔體2內(nèi)。所述偵測裝置安裝于高溫腔體2的側(cè)壁，當(dāng)玻璃基板3接觸到偵測裝置時，偵測裝置受觸發(fā)而發(fā)送感應(yīng)信號。
[0014]所述偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob的兩端重量不相等，其中，設(shè)與玻璃基板觸碰端為第一端臂102，與接觸探針觸碰端為第二端臂104，所述第一端臂102的重量小于第二端臂104的重量，這樣，當(dāng)偏轉(zhuǎn)探針10未受壓，在自由狀態(tài)時，第一端臂102自然翹起，向上偏斜，而第二端臂104自然垂下，向下偏斜，使得當(dāng)玻璃基板3進(jìn)入腔體內(nèi)，玻璃基板3將施壓于第一端臂102上，使得第二端臂102隨之翹起而觸發(fā)偵測元件12。優(yōu)選地，通過調(diào)整所述第一端臂102的長度小于第二端臂104的長度，使得第一端臂102的重量小于第二端臂104的重量，以保證偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob在初始狀態(tài)保持傾斜,并與偵測元件斷開。
[0015]在本發(fā)明中，所述偵測元件12可為光柵感應(yīng)器或壓敏感應(yīng)器。實施例一中，所述偵測元件12為光柵感應(yīng)器時，所述光柵感應(yīng)器包括光源發(fā)射器120、接觸探針122和光源接收器124，光源發(fā)射器120與高溫腔體2之間保持一定距離，接觸探針122由光源發(fā)射器120中延伸出，光源接收器124可設(shè)置于光源發(fā)射器120同側(cè)或固定探針I(yè)Oa的同側(cè)，優(yōu)選地，光源接收器124設(shè)于固定探針I(yè)Oa的同側(cè)，光源發(fā)射器120、玻璃基板3和光源接收器124在同一直線上。當(dāng)在高溫腔體2中未有玻璃基板3進(jìn)入時，偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob為自由偏轉(zhuǎn)狀態(tài)，其與接觸探針122未接觸，這時，光源發(fā)射器120關(guān)閉狀態(tài)，未發(fā)送光源，當(dāng)有玻璃基板3進(jìn)入高溫腔體2內(nèi)，偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob受玻璃基板3按壓而改變角度，通過偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob的反向擺動接通光源發(fā)射器120，光源發(fā)射器120發(fā)射光源，若光源接收器124所接收的光源強(qiáng)度降低，則將光強(qiáng)感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送，表征玻璃基板3已進(jìn)入高溫腔體2內(nèi)。
[0016]所述偵測元件12為壓敏感應(yīng)器時，所述壓敏感應(yīng)器的前端伸出接觸探針，當(dāng)玻璃基板觸碰到偏轉(zhuǎn)探針時，通過偏轉(zhuǎn)探針的反向擺動接通壓敏感應(yīng)器，若壓敏感應(yīng)器所測的當(dāng)前壓力大于設(shè)定的壓力值，則將壓力感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送，表征玻璃基板已進(jìn)入高溫腔體內(nèi)。
[0017]通過偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob觸發(fā)接觸探針122接通光柵感應(yīng)器或壓敏感應(yīng)器，以觸發(fā)感測光強(qiáng)或壓力的變化，來判斷玻璃基板是否存在于高溫腔體內(nèi)。
[0018]優(yōu)選地，在偵測裝置增設(shè)有安裝于高溫腔體2側(cè)壁的密封軸承4，所述偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob由密封軸承4中穿出，其可以密封軸承4為軸心上下偏轉(zhuǎn)。所述密封軸承4既起到固定偏轉(zhuǎn)探針10的作用，又起到密封高溫腔體的作用，避免偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob在高溫腔體2上的穿孔造成氣體的泄漏或滲入。
[0019]在本發(fā)明中，同一個高溫腔體內(nèi)，可平行設(shè)置有多組偵測裝置，使得多組玻璃基板可同時進(jìn)入高溫腔體內(nèi)，并分別受感測到其是否存在其中。
[0020]本發(fā)明還提供了一種高溫腔體內(nèi)偵測物品存在的方法，用于偵測玻璃基板在高溫腔體中的進(jìn)出。在初始狀態(tài)，高溫腔體2內(nèi)無玻璃基板3，偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob處于正常傾斜狀態(tài)，第一端臂102向上翹起，第二端臂104向下傾斜，且與接觸探針122不接觸，偵測元件12未導(dǎo)通；當(dāng)偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob受壓而發(fā)生偏轉(zhuǎn)，玻璃基板3按壓固定探針I(yè)Oa和偏轉(zhuǎn)探針10b，偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob的第二端臂104與接觸探針122接觸，導(dǎo)通光柵感應(yīng)器，發(fā)射光源，在發(fā)射光源的瞬間，被光源接收器124接收，隨著玻璃基板3向前推移，其逐漸擋住了光線，光源接收器124接收到的光強(qiáng)減弱，這時，光源接收器124將光強(qiáng)感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送，表示玻璃基板進(jìn)入高溫腔體內(nèi)。當(dāng)玻璃基板離開固定探針I(yè)Oa和偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob時，偏轉(zhuǎn)探針I(yè)Ob恢復(fù)自由傾斜狀態(tài)，斷開與接觸探針122的接觸，則光源發(fā)射器120停止發(fā)射光源，這時，光源接收器124接收不到任何光線，則將光強(qiáng)感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送，反饋玻璃基板已尚開聞溫fe體。
[0021]所述偵測元件12可為光柵感應(yīng)器或壓敏感應(yīng)器，當(dāng)偏轉(zhuǎn)探針10受壓偏轉(zhuǎn)而觸碰到接觸探針122時，導(dǎo)通偵測元件12，當(dāng)偵測元件12所測定的光強(qiáng)變化值或壓力變化值大于設(shè)定值時，則將感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送，由此判定玻璃基板是否在高溫腔體內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種在高溫腔體中偵測物品存在的裝置，用于偵測玻璃基板在高溫腔體中的進(jìn)出，其特征在于:所述偵測裝置包括偏轉(zhuǎn)探針和偵測元件，偏轉(zhuǎn)探針裝配于高溫腔體的側(cè)壁，其包括在同一直線上的固定探針和偏轉(zhuǎn)探針，當(dāng)玻璃基板進(jìn)入高溫腔體內(nèi)時，玻璃基板觸碰到偏轉(zhuǎn)探針時，偏轉(zhuǎn)探針接通偵測元件，則偵測元件發(fā)出感應(yīng)信號，以表征玻璃基板進(jìn)入高溫腔體內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫腔體中偵測物品存在的裝置，其特征在于:所述偵測元件為光柵感應(yīng)器或壓敏感應(yīng)器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫腔體中偵測物品存在的裝置，其特征在于:所述偵測裝置增設(shè)有安裝于高溫腔體側(cè)壁的密封軸承，所述偏轉(zhuǎn)探針由密封軸承中穿出，其可以密封軸承為軸心上下偏轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫腔體中偵測物品存在的裝置，其特征在于:所述偵測元件為光柵感應(yīng)器時，所述光柵感應(yīng)器包括光源發(fā)射器、接觸探針和光源接收器，光源發(fā)射器與接觸探針連接，當(dāng)玻璃基板觸碰到偏轉(zhuǎn)探針時，通過偏轉(zhuǎn)探針的反向擺動接通光源發(fā)射器，光源接收器所接收的光源強(qiáng)度降低，則將光強(qiáng)感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高溫腔體中偵測物品存在的裝置，其特征在于:所述光源接收器設(shè)置于光源發(fā)射器同側(cè)或固定探針的同側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫腔體中偵測物品存在的裝置，其特征在于:所述偵測元件為壓敏感應(yīng)器時，所述壓敏感應(yīng)器的前端伸出接觸探針，當(dāng)玻璃基板觸碰到偏轉(zhuǎn)探針時，通過偏轉(zhuǎn)探針的反向擺動接通壓敏感應(yīng)器，若壓敏感應(yīng)器所測的當(dāng)前壓力大于設(shè)定的壓力值，則將壓力感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫腔體中偵測物品存在的裝置，其特征在于:所述偏轉(zhuǎn)探針的兩端重量不相等，其中，設(shè)與玻璃基板觸碰端為第一端臂，與接觸探針觸碰端為第二端臂，所述第一端臂的重量小于第二端臂的重量。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的高溫腔體中偵測物品存在的裝置，其特征在于:所述第一端臂的長度小于第二端臂的長度。
9.一種高溫腔體內(nèi)偵測物品存在的方法，用于偵測玻璃基板在高溫腔體中的進(jìn)出，其特征在于:在初始狀態(tài)，高溫腔體內(nèi)無玻璃基板，偏轉(zhuǎn)探針處于正常傾斜狀態(tài)，且偏轉(zhuǎn)探針與接觸探針不接觸，偵測元件未導(dǎo)通；當(dāng)偏轉(zhuǎn)探針受壓而發(fā)生偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)探針與接觸探針接觸，導(dǎo)通偵測元件，偵測元件發(fā)出感應(yīng)信號，表示玻璃基板進(jìn)入高溫腔體內(nèi)；當(dāng)玻璃基板離開固定探針和偏轉(zhuǎn)探針時，偏轉(zhuǎn)探針恢復(fù)自由傾斜狀態(tài)，斷開與接觸探針的接觸，則斷開偵測元件，偵測元件發(fā)出感應(yīng)信號，反饋玻璃基板已離開高溫腔體。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所示的高溫腔體內(nèi)偵測物品存在的方法，其特征在于:所述偵測元件為光柵感應(yīng)器或壓敏感應(yīng)器，當(dāng)偏轉(zhuǎn)探針受壓偏轉(zhuǎn)而觸碰到接觸探針時，導(dǎo)通偵測元件，當(dāng)偵測元件所測定的光強(qiáng)變化值或壓力變化值大于設(shè)定值時，則將感應(yīng)信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送。
【文檔編號】G01V8/12GK103792590SQ201410033542
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2014年1月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月23日
【發(fā)明者】王松 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司