閃爍器面板及放射線檢測器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的閃爍器面板(2A)，其以厚度150μm以下的玻璃基板(11)為支撐體，由此可獲得優(yōu)異的放射線透過性及可撓性，且還可緩和熱膨脹系數(shù)的問題。此外，在該閃爍器面板(2A)，以覆蓋玻璃基板(11)的一面(11a)側(cè)和側(cè)面(11c)側(cè)的方式形成有機(jī)樹脂層(12)，且以覆蓋形成有有機(jī)樹脂層(12)的玻璃基板(11)的另一面(11b)側(cè)和側(cè)面(11c)側(cè)的方式形成有機(jī)樹脂層(15)。由此，就能夠有效抑制邊緣部份的缺損及龜裂的產(chǎn)生。另外，除了能夠防止來自于玻璃基板(11)的側(cè)面(11c)的雜散光以外，由于有機(jī)樹脂層(12、15)覆蓋表面全體，其結(jié)果，又可抑制玻璃基板(11)的翹曲。
【專利說明】閃爍器面板及放射線檢測器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及閃爍器面板及放射線檢測器。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的閃爍器面板，例如有專利文獻(xiàn)I所記載的閃爍器面板。該現(xiàn)有的閃爍器面板的結(jié)構(gòu)，采用0.05mm的玻璃基板做為閃爍器層的支撐體。此外，在框體和閃爍器層之間配置有用于緩和來自框體外部的力的緩沖材及比閃爍器層剛性高的高剛性構(gòu)件。
[0003]此外，專利文獻(xiàn)2所記載的閃爍器面板，采用由聚酰亞胺類樹脂膜或聚對二甲苯膜所覆蓋的石墨基板做為支撐體。此外，專利文獻(xiàn)3所記載的閃爍器面板，以聚對二甲苯膜等中間膜覆蓋由無定形碳等形成的基板的全面。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-58124號公報
[0007]專利文獻(xiàn)2:國際公開W02009/028275號資料
[0008]專利文獻(xiàn)3:日本特開2007-279051號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明所要解決的問題
[0010]對于應(yīng)用在例如被稱為薄膜晶體管(TFT)面板的固體檢測器的閃爍器面板，所要求的是其可撓性足以跟隨固體檢測器的形狀。此外，當(dāng)TFT面板的熱膨脹系數(shù)和閃爍器面板的基板的熱膨脹系數(shù)之間有差異時，閃爍器面板的基板上的細(xì)微創(chuàng)傷，或利用蒸鍍形成閃爍器層13時由異常成長部產(chǎn)生在與TFT面板之間的創(chuàng)傷，恐怕會因為動作時的熱而相對于受光面產(chǎn)生移動，以致校準(zhǔn)的工夫煩雜的問題產(chǎn)生。
[0011]為了解決上述可撓性的問題及熱膨脹系數(shù)的問題，可考慮采用例如厚度為150 μπι以下的極薄玻璃做為閃爍器面板的基板。然而，采用極薄玻璃時，玻璃的端部(邊緣部份)沖擊性脆弱，會有缺損及產(chǎn)生龜裂的問題。
[0012]本發(fā)明是為了解決上述課題而完成，目的在于提供一種能夠防止玻璃基板缺損及龜裂的產(chǎn)生且同時還能夠確?？蓳闲缘拈W爍器面板及使用該閃爍器面板的放射線檢測器。
[0013]解決問題的手段
[0014]為了解決上述問題，本發(fā)明所涉及的閃爍器面板，其特征為，具備:具有放射線透過性的厚度為150 ym以下的玻璃基板；以覆蓋玻璃基板的一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻牡贗有機(jī)樹脂層；以覆蓋形成有第I有機(jī)樹脂層的玻璃基板的另一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻牡?有機(jī)樹脂層；在形成有第I有機(jī)樹脂層和第2有機(jī)樹脂層的玻璃基板一面?zhèn)刃纬傻拈W爍器層；及以覆蓋形成有第I有機(jī)樹脂層和第2有機(jī)樹脂層的玻璃基板并且覆蓋閃爍器層的方式形成的耐濕性的保護(hù)層。
[0015]該閃爍器面板，其以厚度150 μπι以下的玻璃基板為支撐體，由此可獲得優(yōu)異的放射線透過性及可撓性，且還可緩和熱膨脹系數(shù)的問題。此外，該閃爍器面板，以覆蓋玻璃基板的一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻贗有機(jī)樹脂層，且以覆蓋已形成有第I有機(jī)樹脂層的玻璃基板的另一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻?有機(jī)樹脂層。由此，有機(jī)樹脂層就會使玻璃基板強(qiáng)化，能夠有效抑制邊緣部份的缺損及龜裂的產(chǎn)生。另外，除了能夠防止來自于玻璃基板的側(cè)面的雜散光以外，由于第I有機(jī)樹脂層和第2有機(jī)樹脂層覆蓋表面全體，其結(jié)果，可抑制玻璃基板的翹曲。
[0016]此外，優(yōu)選為第I有機(jī)樹脂層含有白色顏料，第2有機(jī)樹脂層含有黑色顏料。在該形態(tài)時，第I有機(jī)樹脂層具有反射光功能，由此可獲得對應(yīng)于用途的放射線特性。另外，第2有機(jī)樹脂層具有吸收光功能，由此可防止光外泄，能夠提高解像度。
[0017]另外，上述白色顏料，可選自二氧化鈦、氧化釔、氧化鋅及氧化鋁；上述黑色顏料，可以選自碳黑或四氧化三鐵。
[0018]另外，本發(fā)明所涉及的閃爍器面板，其特征為，具備:具有放射線透過性的厚度為150 μm以下的玻璃基板；以覆蓋玻璃基板的另一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻牡贗有機(jī)樹脂層；以覆蓋形成有第I有機(jī)樹脂層的玻璃基板的一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻牡?有機(jī)樹脂層；在形成有第I有機(jī)樹脂層和第2有機(jī)樹脂層的玻璃基板一面?zhèn)刃纬傻拈W爍器層；及以覆蓋形成有第I有機(jī)樹脂層和第2有機(jī)樹脂層的玻璃基板并且覆蓋閃爍器層的方式形成的耐濕性的保護(hù)層。
[0019]該閃爍器面板，其以厚度150 μπι以下的玻璃基板為支撐體，由此可獲得優(yōu)異的放射線透過性及可撓性，且還可緩和熱膨脹系數(shù)的問題。此外，該閃爍器面板，其以覆蓋玻璃基板的另一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻贗有機(jī)樹脂層，且以覆蓋形成有第I有機(jī)樹脂層的玻璃基板的一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻?有機(jī)樹脂層。由此，玻璃基板被2層的有機(jī)樹脂層補(bǔ)強(qiáng)，能夠有效抑制邊緣部份的缺損及龜裂的產(chǎn)生。另外，除了能夠防止來自于玻璃基板的側(cè)面的雜散光以外，由于第I有機(jī)樹脂層和第2有機(jī)樹脂層覆蓋表面全體，其結(jié)果可抑制玻璃基板翹曲。
[0020]此外，優(yōu)選第I有機(jī)樹脂層含有黑色顏料，第2有機(jī)樹脂層含有白色顏料。在該形態(tài)時，第I有機(jī)樹脂層具有吸光功能由此可防止泄光，能夠提高解像度。另外，第2有機(jī)樹脂層具有反光功能由此可獲得對應(yīng)于用途的放射線特性。
[0021]另外，上述白色顏料，可以選自二氧化鈦、氧化釔、氧化鋅及氧化鋁；上述黑色顏料，可以選自碳黑或四氧化三鐵。
[0022]另外，本發(fā)明所涉及的放射線檢測器，其特征為，具備上述閃爍器面板及與形成有保護(hù)層的閃爍器層相對配置的受光元件。
[0023]該放射線檢測器，其以厚度150 μm以下的玻璃基板為閃爍器面板的支撐體，由此可獲得優(yōu)異的放射線透過性及可撓性，且還可緩和熱膨脹系數(shù)的問題。此外，該放射線檢測器，利用有機(jī)樹脂層對玻璃基板補(bǔ)強(qiáng)，因此能夠有效抑制邊緣部份的缺損及龜裂的產(chǎn)生。另夕卜，除了能夠防止來自于玻璃基板的側(cè)面的雜散光以外，由于第I有機(jī)樹脂層和第2有機(jī)樹脂層覆蓋表面全體，其結(jié)果可抑制玻璃基板的翹曲。
[0024]發(fā)明效果
[0025]根據(jù)本發(fā)明時，能夠防止玻璃基板的缺損及龜裂的產(chǎn)生，同時還能夠確?？蓳闲?。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1為表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的放射線檢測器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
[0027]圖2為表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的放射線檢測器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。

【具體實施方式】
[0028]以下，參照附圖并對本發(fā)明所涉及的閃爍器面板及放射線檢測器的優(yōu)選實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0029][第I實施方式]
[0030]圖1為表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的放射線檢測器的結(jié)構(gòu)的剖面圖。如該圖所示，放射線檢測器1A，通過在閃爍器面板2A固定受光元件3而構(gòu)成。受光元件3，例如是在玻璃基板上排列有光電二極管(PD)和薄膜晶體管(TFT)而成的TFT面板。
[0031]受光元件3，其以受光面3a對閃爍器面板2的下述閃爍器層13成相對的狀態(tài)貼附在閃爍器面板2的一面?zhèn)?。另外，受光元?，除了 TFT面板以外，還可采用CXD等影像傳感器經(jīng)由光纖板(FOP:數(shù)顯微的光纖束札制成的光學(xué)設(shè)備，例如濱松Photonics公司制J5734)連接后構(gòu)成的元件。
[0032]閃爍器面板2，由下述構(gòu)成，即:成為支撐體的玻璃基板11:保護(hù)玻璃機(jī)板11的有機(jī)樹脂層(第I有機(jī)樹脂層)12及有機(jī)樹脂層(第2有機(jī)樹脂層)15 ;要將入射后的放射線轉(zhuǎn)換成可視光的閃爍器層13 ;及保護(hù)閃爍器層13避免其受濕氣侵襲的耐濕性的保護(hù)層14ο
[0033]玻璃基板11，例如是厚度為150 μm以下，優(yōu)選為100 μm以下極為薄的基板。通過將玻璃基板11的厚度形成為極薄，因此就可獲得足夠的放射線透過性及可撓性，能夠確保貼附在受光元件3的受光面3a時閃爍器面板2的跟隨性。
[0034]有機(jī)樹脂層12及有機(jī)樹脂層15，例如由硅類樹脂、聚氨酯類樹脂、環(huán)氧類樹脂、氟類樹脂等利用旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂布形成。有機(jī)樹脂層12及有機(jī)樹脂層15的厚度，例如為100 μπι程度。
[0035]有機(jī)樹脂層12，其形成為覆蓋玻璃基板11的一面?zhèn)菼la和側(cè)面Ilc側(cè)。另一方面，有機(jī)樹脂層15，其形成為覆蓋形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11的另一面Ilb側(cè)和側(cè)面Ilc側(cè)。由此，玻璃基板11，其成為一面?zhèn)菼la被有機(jī)樹脂層12覆蓋，另一面?zhèn)菼lb被有機(jī)樹脂層15覆蓋，側(cè)面?zhèn)菼lc從內(nèi)側(cè)依有機(jī)樹脂層12、有機(jī)樹脂層15的順序被覆蓋成2層的狀態(tài)。此外，有機(jī)樹脂層12，其含有白色顏料例如二氧化鈦、氧化釔、氧化鋅、氧化鋁等；有機(jī)樹脂層15，其含有黑色顏料例如碳黑、四氧化三鐵等。
[0036]閃爍器層13，其通過將例如摻雜Tl的Csl的柱狀結(jié)晶利用蒸鍍法使其成長及沉積，以形成在形成有有機(jī)樹脂層12及有機(jī)樹脂層15的玻璃基板11的一面IIa側(cè)(有機(jī)樹脂層12上)。閃爍器層13的厚度，例如為250 μπι。閃爍器層13，其吸濕性高，若直接外露恐怕空氣中的濕氣會使其潮解。因此，對于閃爍器層13，需要有耐濕性的保護(hù)層14。
[0037]保護(hù)層14，其通過將例如聚對二甲苯等利用CVD法等氣相沉積法使其成長，以覆蓋形成有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11并且覆蓋閃爍器層13的方式形成。保護(hù)層14的厚度，例如為10 μ m左右。
[0038]在具有以上所示的結(jié)構(gòu)的放射線檢測器1A，從玻璃基板11側(cè)入射的放射線會在閃爍器層13轉(zhuǎn)換成光，由受光元件3檢測出。在閃爍器面板2A，由于其以厚度150 μπι以下的玻璃基板11為支撐體，因此就可獲得優(yōu)異的放射線透過性及可撓性。
[0039]由于玻璃基板11具有足夠的可撓性，因此就能夠滿足閃爍器面板2Α貼附在受光元件3的受光面3a時的形狀跟隨性。此外，受光元件3采用TFT面板，其受光面3a為玻璃制的面板時，就能夠使受光面3a的熱膨脹系數(shù)和閃爍器面板2A的玻璃基板11的熱膨脹系數(shù)一致。因此，就能夠防止玻璃基板11上的細(xì)微創(chuàng)傷或利用蒸鍍形成閃爍器層13時由異常成長部產(chǎn)生在與TFT面板之間的創(chuàng)傷會因為動作時的熱而相對于受光面3a產(chǎn)生移動，同時還能夠避免校準(zhǔn)的工夫變得煩雜。
[0040]此外，在該閃爍器面板2A，形成有有機(jī)樹脂層12覆蓋玻璃基板11的一面Ila側(cè)和側(cè)面Ilc側(cè)，且形成有有機(jī)樹脂層15覆蓋已形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11的另一面Ilb側(cè)和側(cè)面Ilc側(cè)。由此，玻璃基板11被有機(jī)樹脂層12、15補(bǔ)強(qiáng)，能夠有效抑制邊緣部份的缺損及龜裂的產(chǎn)生。另外，玻璃基板11的側(cè)面Ilc由有機(jī)樹脂層12、15覆蓋成雙層覆蓋，因此除了能夠防止來自于側(cè)面Ilc的雜散光以外，由于有機(jī)樹脂層12和有機(jī)樹脂層15覆蓋表面全體，其結(jié)果可抑制玻璃基板11的翹曲。
[0041]另外，有機(jī)樹脂層12和有機(jī)樹脂層15形成為覆蓋玻璃基板11表面全體，因此還能夠以閃爍器層13形成時形成為適宜的表面能量及表面粗度的方式調(diào)整玻璃基板11的表面狀態(tài)。
[0042]此外，在閃爍器面板2A，其有機(jī)樹脂層12含有白色顏料，其有機(jī)樹脂層15含有黑色顏料。在該形態(tài)時，通過有機(jī)樹脂層12具有反射光功能，可使閃爍器面板2A獲得對應(yīng)于乳房X光攝影或胸部X光攝影等各種用途的放射線特性。另外，通過有機(jī)樹脂層15具有吸收光功能可防止光外泄，能夠提尚解像度。
[0043][第2實施方式]
[0044]圖2為表示本發(fā)明第2實施方式所涉及的放射線檢測器結(jié)構(gòu)的剖面圖。如該圖所示，第2實施方式所涉及的放射線檢測器1B，針對閃爍器面板2B，其有機(jī)樹脂層12及有機(jī)樹脂層15的配置位置與第I實施方式不同。
[0045]更具體而言，有機(jī)樹脂層12，其形成為覆蓋玻璃基板11的另一面Ilb側(cè)和側(cè)面Ilc側(cè)。另一方面，有機(jī)樹脂層15，其形成為覆蓋已經(jīng)形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11的一面Ila側(cè)和側(cè)面Ilc側(cè)。由此，玻璃基板11，其就成為一面?zhèn)菼la被有機(jī)樹脂層15覆蓋，另一面?zhèn)菼lb被有機(jī)樹脂層12覆蓋，側(cè)面?zhèn)菼lc從內(nèi)側(cè)依有機(jī)樹脂層12、有機(jī)樹脂層15的順序被覆蓋成2層的狀態(tài)。此外，有機(jī)樹脂層12，其含有黑色顏料例如碳黑、四氧化三鐵等；有機(jī)樹脂層15其含有白色顏料例如一氧化欽、氧化紀(jì)、氧化梓、氧化銷等。
[0046]在上述所示結(jié)構(gòu)中，其與上述實施方式相同，由于玻璃基板11被有機(jī)樹脂層12、15補(bǔ)強(qiáng)，因此就能夠抑制邊緣部份的缺損及龜裂的產(chǎn)生。另外，除了能夠防止來自于玻璃基板11的側(cè)面Ilc的雜散光以外，通過表面全體覆蓋有有機(jī)樹脂層12、15，因此又可抑制玻璃基板11的翹曲。再加上，在玻璃基板11的側(cè)面11c，基于含有黑色顏料的有機(jī)樹脂層12位于內(nèi)側(cè)，因此能夠更加有效防止來自于側(cè)面Uc的雜散光。
[0047]符號說明
[0048]1A、1B:放射線檢測器
[0049]2A、2B:閃爍器面板
[0050]3:受光元件
[0051]11:玻璃基板
[0052]Ila:—面
[0053]Ilb:另一面
[0054]lie:側(cè)面
[0055]12:有機(jī)樹脂層(第I有機(jī)樹脂層)
[0056]13:閃爍器層
[0057]14:保護(hù)層
[0058]15:有機(jī)樹脂層(第2有機(jī)樹脂層)
【權(quán)利要求】
1.一種閃爍器面板，其特征在于， 具備: 具有放射線透過性的厚度為150 μ m以下的玻璃基板； 以覆蓋所述玻璃基板的一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻牡贗有機(jī)樹脂層； 以覆蓋形成有所述第I有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板的另一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻牡?有機(jī)樹脂層； 在形成有所述第I有機(jī)樹脂層和所述第2有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板的所述一面?zhèn)刃纬傻拈W爍器層；及 以覆蓋形成有所述第I有機(jī)樹脂層和所述第2有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板并且覆蓋所述閃爍器層的方式形成的耐濕性的保護(hù)層。
2.如權(quán)利要求1所述的閃爍器面板，其特征在于， 所述第I有機(jī)樹脂層含有白色顏料，所述第2有機(jī)樹脂層含有黑色顏料。
3.如權(quán)利要求2所述的閃爍器面板，其特征在于， 所述白色顏料選自二氧化鈦、氧化釔、氧化鋅及氧化鋁，所述黑色顏料選自碳黑或四氧化三鐵。
4.一種閃爍器面板，其特征在于， 具備: 具有放射線透過性的厚度為150 μ m以下的玻璃基板； 以覆蓋所述玻璃基板的另一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻牡贗有機(jī)樹脂層； 以覆蓋形成有所述第I有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板的一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊姆绞叫纬傻牡?有機(jī)樹脂層； 在形成有所述第I有機(jī)樹脂層和所述第2有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板的所述一面?zhèn)刃纬傻拈W爍器層；及 以覆蓋形成有所述第I有機(jī)樹脂層和所述第2有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板并且覆蓋所述閃爍器的方式形成的耐濕性的保護(hù)層。
5.如權(quán)利要求4所述的閃爍器面板，其特征在于， 所述第I有機(jī)樹脂層含有黑色顏料，所述第2有機(jī)樹脂層含有白色顏料。
6.如權(quán)利要求5所述的閃爍器面板，其特征在于， 所述白色顏料選自二氧化鈦、氧化釔、氧化鋅及氧化鋁，所述黑色顏料選自碳黑或四氧化三鐵。
7.一種放射線檢測器，其特征在于， 具備: 權(quán)利要求1至6中任一項所述的閃爍器面板；及 與形成有所述保護(hù)層的所述閃爍器層相對配置的受光元件。
【文檔編號】G01T1/20GK104488038SQ201380038611
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2013年4月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月20日
【發(fā)明者】上西秀典, 式田宗功, 楠山泰 申請人:浜松光子學(xué)株式會社