玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,其是在將2張以上的玻璃板層疊時(shí)插入到所述玻璃板之間的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,所述玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法具有:將交替層疊2張以上的玻璃板與1張以上的玻璃板用夾紙而成的玻璃板層疊體在溫度5~40℃、濕度0~50%的環(huán)境下靜置的靜置工序;以及在該靜置工序之后測(cè)定附著在所述玻璃板層疊體中的所述玻璃板的表面上的顆粒數(shù)量的測(cè)定工序。
【專利說明】玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]例如,在液晶顯示器、等離子顯示器等平板顯示器(FPD)中,廣泛地使用大型的玻璃板。在對(duì)這樣的大型的玻璃板進(jìn)行保管、搬運(yùn)時(shí),例如,將多張玻璃板一邊在玻璃板與玻璃板之間插入玻璃板用夾紙(以下,有時(shí)僅稱為“夾紙”)一邊層疊,形成為玻璃板層疊體。并且,將該玻璃板層疊體收納于包裝容器或利用塑料袋等覆蓋而進(jìn)行保管、搬運(yùn)。
[0003]這樣,在層疊多張玻璃板時(shí),在抑制因玻璃板彼此密接而玻璃板的表面發(fā)生損傷的目的下,在玻璃板與玻璃板之間插入夾紙。然而,當(dāng)在玻璃板之間插入夾紙時(shí),存在從夾紙脫落的紙粉等的顆粒附著于玻璃板表面的問題。Fro用的玻璃板比建筑用的窗玻璃要求高清潔度,因此減少附著于玻璃板表面的顆粒數(shù)量是至關(guān)重要的。即,使用盡量避免紙粉等附著于玻璃板表面的夾紙是至關(guān)重要的。
[0004]作為對(duì)夾紙進(jìn)行評(píng)價(jià)的方法,已知有例如下面的方法:將多張玻璃板與夾紙以平置的狀態(tài)交替層疊,在從上方對(duì)該層疊體施加了載荷的狀態(tài)下在溫度50°C、濕度90%的環(huán)境下放置了規(guī)定期間之后,測(cè)定附著在該玻璃板的表面的顆粒數(shù)量來評(píng)價(jià)夾紙(專利文獻(xiàn)I)。
[0005]【在先技術(shù)文獻(xiàn)】
[0006]【專利文獻(xiàn)】
[0007]【專利文獻(xiàn)I】日本國特開2007-131965號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0008]【發(fā)明要解決的課題】
[0009]然而,在專利文獻(xiàn)I記載的評(píng)價(jià)方法中,難以充分抑制所測(cè)定的顆粒數(shù)量的誤差,難以穩(wěn)定地評(píng)價(jià)夾紙。
[0010]本發(fā)明的目的在于提供一種所測(cè)定的顆粒數(shù)量的誤差小,能夠穩(wěn)定且高可靠性地評(píng)價(jià)玻璃板用夾紙的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法。
[0011]【用于解決課題的方案】
[0012]本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法是在將2張以上的玻璃板層疊時(shí)插入到所述玻璃板之間的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,具有:
[0013]將交替層疊2張以上的玻璃板與I張以上的玻璃板用夾紙而成的玻璃板層疊體在溫度5?40°C、濕度O?50%的環(huán)境下靜置的靜置工序;以及
[0014]在該靜置工序之后測(cè)定附著在所述玻璃板層疊體中的所述玻璃板的表面上的顆粒數(shù)量的測(cè)定工序。
[0015]在本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法中,優(yōu)選的是,在所述測(cè)定工序之前,具有對(duì)靜置后的所述玻璃板層疊體中的所述玻璃板的表面進(jìn)行清洗的清洗工序。
[0016]另外,在本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法中,優(yōu)選的是,利用緩沖件夾持將所述玻璃板和所述玻璃板用夾紙?jiān)谄街玫臓顟B(tài)下層疊而成的所述玻璃板層疊體,在從上方對(duì)所述玻璃板層疊體施加了載荷的狀態(tài)下在所述環(huán)境下進(jìn)行靜置。
[0017]另外,優(yōu)選的是,以使所述靜置工序中的作用在所述玻璃板層疊體的最下側(cè)的玻璃板上的表面壓力與保管、搬運(yùn)時(shí)的作用在所述玻璃板層疊體的最下側(cè)的玻璃板上的表面壓力相同的方式施加載荷。
[0018]另外,在本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法中,優(yōu)選的是,所述玻璃板層疊體中的兩方的最外層均是玻璃板。
[0019]另外,在本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法中,優(yōu)選的是,所述玻璃板的表面是電子器件用構(gòu)件形成面。
[0020]【發(fā)明效果】
[0021]本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法中所測(cè)定的顆粒數(shù)量的誤差小,能夠穩(wěn)定且高可靠性地評(píng)價(jià)玻璃板用夾紙。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0022]圖1是表示本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法的層疊工序的主視圖。
[0023]圖2是表示本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法的靜置工序的主視圖。
[0024]圖3是表示例I?3的顆粒數(shù)量的測(cè)定結(jié)果的坐標(biāo)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法是在將2張以上的玻璃板層疊時(shí)的插入到這些玻璃板之間的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法。在本發(fā)明的評(píng)價(jià)方法中,將2張以上的玻璃板與I張以上的玻璃板用夾紙交替層疊,在后述的規(guī)定的環(huán)境下靜置之后,測(cè)定附著于玻璃板表面(電子器件用構(gòu)件形成面)的顆粒數(shù)量,對(duì)玻璃板用夾紙進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0026]以下,示出本發(fā)明的評(píng)價(jià)方法的一例并詳細(xì)地進(jìn)行說明。
[0027]本實(shí)施方式的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法具有下述層疊工序、靜置工序、清洗工序及測(cè)定工序。
[0028]層疊工序:將多張玻璃板與玻璃板用夾紙?jiān)谄街玫臓顟B(tài)下交替層疊而形成玻璃板層疊體的工序。
[0029]靜置工序:將所述玻璃板層疊體在溫度5?40°C、濕度O?50%的環(huán)境下靜置規(guī)定時(shí)間的工序。
[0030]清洗工序:對(duì)所述玻璃板層疊體的各玻璃板的電子器件用構(gòu)件形成面進(jìn)行清洗的工序。
[0031]測(cè)定工序:測(cè)定附著在所述玻璃板層疊體中的各玻璃板的電子器件用構(gòu)件形成面上的顆粒數(shù)量的工序。
[0032]需要說明的是,玻璃板的電子器件用構(gòu)件形成面是形成Fro用、太陽能電池用、照明用、薄膜二次電池用、或在表面形成有電路的半導(dǎo)體晶片用等的電子器件用構(gòu)件(功能性元件)的面。具體而言,可列舉薄膜晶體管(TFT)、含RGB層的濾色器等。而且,在本說明書中,將玻璃板中的與電子器件用構(gòu)件形成面相反側(cè)的面稱為相反面。
[0033]而且,作為玻璃板,優(yōu)選通過浮法制造的玻璃板且電子器件用構(gòu)件形成面為研磨面。利用自轉(zhuǎn)及/或公轉(zhuǎn)的研磨用具對(duì)通過浮法由熔融玻璃成形為板狀的玻璃板的一方的表面進(jìn)行研磨,將該表面的微小的凹凸或起伏除去,由此形成為滿足了電子器件用的玻璃板所要求的平坦度的、規(guī)定的厚度的薄板狀。
[0034]夾紙可以利用牛皮紙漿(KP)、亞硫酸鹽紙漿(SP)、堿紙漿(AP)等化學(xué)紙漿、半化學(xué)紙漿(SCP)、化學(xué)細(xì)磨紙漿(CGP)等半化學(xué)紙漿、磨木紙漿(GP)、熱磨機(jī)械紙漿(TMP、BCTMP)、細(xì)磨紙漿(RGP)等機(jī)械紙漿、以楮樹、結(jié)香、麻、槿麻等為原料的非木材纖維紙漿、合成紙漿等由各種原料構(gòu)成的公知的夾紙。而且,夾紙也可以將上述材料的混合物作為原料,還可以將含有纖維素等的材料作為原料。
[0035]而且,上述的原料可以是廢紙,也可以是原紙漿,還可以是廢紙與原紙漿的混合物。
[0036]這樣的夾紙基本上能夠利用公知的夾紙的制紙方法制造。
[0037](層疊工序)
[0038]例如圖1所示,在下側(cè)基板10上設(shè)置緩沖件12,并在其上設(shè)置與測(cè)定對(duì)象的玻璃板14為相同形狀的模擬板20。而且,在模擬板20上,以最下方成為玻璃板用夾紙16 (以下,僅稱為“夾紙16”)的方式,將測(cè)定對(duì)象的多張玻璃板14與夾紙16以平置的狀態(tài)交替層疊。此時(shí),以玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面與夾紙16的評(píng)價(jià)對(duì)象面面對(duì)的方式層疊。而且,在最上方的玻璃板14上隔著不作為評(píng)價(jià)對(duì)象的模擬夾紙22而設(shè)置模擬板20,形成玻璃板層疊體18。而且,在玻璃板層疊體18上設(shè)置緩沖件12,將玻璃板層疊體18形成為由緩沖件12夾持的狀態(tài)。
[0039]所述層疊作業(yè)優(yōu)選在清潔室內(nèi)進(jìn)行。由此,能夠抑制氣氛中的塵埃等附著于測(cè)定對(duì)象的玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面的情況,因此評(píng)價(jià)的可靠性提高。
[0040]作為玻璃板的尺寸的具體例,可列舉例如板厚為0.1mm?3.0mm、長寬各自的一邊的長度為1500_?3500_的玻璃板等。
[0041]作為下側(cè)基板10,只要能夠?qū)⒉AО?4與夾紙16穩(wěn)定地層疊且不會(huì)因?qū)盈B后的玻璃板14和夾紙16的重量而變形即可,例如可列舉鋁板等金屬板、樹脂板等。
[0042]緩沖件12起到使由于后述的重物的載荷而作用在層疊的玻璃板上的表面壓力更均勻的作用。作為緩沖件12,只要是具有緩沖作用的材質(zhì)的結(jié)構(gòu)即可,例如可列舉株式會(huì)社羅杰斯井上(Rogers IN0AC)制的PORON(注冊(cè)商標(biāo))等的樹脂片、橡膠片等。
[0043]緩沖件12的個(gè)數(shù)沒有特別限定。
[0044]作為模擬板20,可列舉與玻璃板14為相同形狀且不是測(cè)定對(duì)象的玻璃板。通過使用由這樣的玻璃板構(gòu)成的模擬板20作為玻璃板層疊體18的雙方的最外層,由此容易再現(xiàn)保管、搬運(yùn)時(shí)等的層疊狀態(tài),且不使測(cè)定對(duì)象的玻璃板14產(chǎn)生損傷地進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0045]作為模擬夾紙22,是為了在玻璃板14上層疊模擬板20而插入的夾紙,是不作為評(píng)價(jià)對(duì)象的夾紙。作為模擬夾紙22,可以使用例如與夾紙16相同的夾紙。
[0046]玻璃板14和夾紙16的方向只要根據(jù)夾紙16中的成為評(píng)價(jià)對(duì)象的面來適當(dāng)決定即可。例如,在評(píng)價(jià)夾紙16的氈面引起的顆粒數(shù)量時(shí),以使玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面與夾紙16的氈面面對(duì)的方式層疊。這種情況下,可以使玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面向下并使夾紙16的氈面向上,也可以使玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面向上并使夾紙16的氈面向下。
[0047]而且,在同時(shí)評(píng)價(jià)夾紙16的氈面和金屬線面時(shí),只要形成為如下所述的玻璃板層疊體18即可,所述玻璃板層疊體18具有玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面與夾紙16的氈面面對(duì)的組合、以及玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面與夾紙16的金屬線面面對(duì)的組合。這種情況下,夾紙16的氈面和金屬線面這雙方的評(píng)價(jià)的可靠性進(jìn)一步提高,因此優(yōu)選玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面與夾紙16的氈面面對(duì)的組合、以及玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面與夾紙16的金屬線面面對(duì)的組合以交替的方式進(jìn)行層疊。
[0048]需要說明的是,夾紙的金屬線面是指在夾紙的抄紙制造中,使液體狀的夾紙通過金屬線而脫水時(shí)與金屬線相接的面。而且,將夾紙中的與金屬線面相反側(cè)的面稱為氈面。
[0049]夾紙的尺寸優(yōu)選為玻璃板以上的尺寸。即,在將玻璃板與夾紙交替層疊時(shí),能夠使作用在器件用構(gòu)件形成面上的表面壓力更均勻。
[0050]評(píng)價(jià)對(duì)象的夾紙16的張數(shù)與在后述的測(cè)定工序中測(cè)定顆粒數(shù)量的玻璃板14的張數(shù)相同。
[0051]測(cè)定對(duì)象的玻璃板14的張數(shù)的上限及下限沒有特別限定,張數(shù)越多,測(cè)定結(jié)果的可靠性越增加。
[0052](靜置工序)
[0053]如圖2所示,在恒溫恒濕槽100的底部設(shè)置緩沖件28,在該緩沖件28之上,設(shè)置通過所述層疊工序而得到的由下側(cè)基板10/緩沖件12/玻璃板層疊體18/緩沖件12構(gòu)成的層疊體I。而且,在玻璃板層疊體18上的緩沖件12之上隔著上側(cè)基板24而載放重物26,在從上方朝向?qū)盈B體I施加了載荷的狀態(tài)下,在溫度5?40°C、濕度O?50%的環(huán)境下靜置規(guī)定時(shí)間。
[0054]在本實(shí)施方式的評(píng)價(jià)方法中,這樣,將玻璃板層疊體18在溫度5?40°C、濕度O?50%的環(huán)境下靜置。由此,能夠高可靠性且穩(wěn)定地評(píng)價(jià)夾紙16。能得到這樣的效果的主要原因可考慮如下。
[0055]在前述的專利文獻(xiàn)I那樣的以往的評(píng)價(jià)方法中,將玻璃板層疊體在溫度50°C、濕度90%這樣的環(huán)境下靜置,因此在玻璃板產(chǎn)生結(jié)露,可認(rèn)為在該結(jié)露的部分容易捕獲空氣中的塵埃等。因此,認(rèn)為,在測(cè)定對(duì)象的玻璃板的電子器件用構(gòu)件形成面上,除了從玻璃板用夾紙產(chǎn)生的紙粉等以外,空氣中的塵埃等浮游物不規(guī)則地附著,顆粒數(shù)量的測(cè)定結(jié)果的誤差增大而評(píng)價(jià)的可靠性下降。
[0056]相對(duì)于此,在本發(fā)明的評(píng)價(jià)方法中,將玻璃板層疊體18在溫度5?40°C、濕度O?50%的環(huán)境下靜置,由此在靜置工序中抑制在玻璃板14產(chǎn)生結(jié)露的情況。其結(jié)果是,抑制在玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面上未預(yù)期地附著浮游物的情況,因此測(cè)定的顆粒數(shù)量的誤差小,能夠高可靠性且穩(wěn)定地評(píng)價(jià)夾紙16。
[0057]緩沖件28為了使由于重物產(chǎn)生的載荷而作用于層疊體I的表面壓力更均勻而使用。作為緩沖件28,可以使用例如與在緩沖件12中列舉的材料相同的材料。緩沖件28的個(gè)數(shù)沒有特別限定。
[0058]作為上側(cè)基板24,可以使用例如與下側(cè)基板10相同的基板。
[0059]重物26在對(duì)保管、搬運(yùn)時(shí)等的玻璃板14的層疊狀態(tài)進(jìn)行再現(xiàn)的目的下使用。紙粉等顆粒的從玻璃板用夾紙向玻璃板的電子器件用構(gòu)件形成面的附著越在更大的載荷作用的條件下越顯著。即,越是玻璃板層疊體中的下側(cè)的玻璃板,顆粒越容易附著。因此,在本發(fā)明的評(píng)價(jià)方法中,優(yōu)選以使保管、搬運(yùn)時(shí)的作用在玻璃板層疊體的最下側(cè)的玻璃板上的表面壓力與靜置工序中的作用在玻璃板層疊體18的最下側(cè)的測(cè)定對(duì)象的玻璃板14上的表面壓力變得相同的方式調(diào)節(jié)重物26的重量而調(diào)節(jié)載荷。
[0060]這樣,通過利用重物26從上方施加載荷,即使測(cè)定所使用的玻璃板的張數(shù)少,也能夠在與保管、搬運(yùn)時(shí)等的條件同等的條件下進(jìn)行測(cè)定及評(píng)價(jià)。
[0061]具體而言,在保管、搬運(yùn)時(shí)將20張的玻璃板平置而層疊的情況下,在將玻璃板層疊體18中的玻璃板14的個(gè)數(shù)設(shè)為5張而進(jìn)行評(píng)價(jià)時(shí),以從上方作用于玻璃板層疊體18的載荷相當(dāng)于玻璃板15張量的方式調(diào)節(jié)重物26的重量。由此,作用在玻璃板層疊體18中的最下方的玻璃板14上的表面壓力成為與保管、搬運(yùn)時(shí)的作用在最下方的玻璃板上的表面壓力相同。
[0062]另外,F(xiàn)PD等所使用的玻璃板有時(shí)是層疊多張而成的玻璃板層疊體在收容于將玻璃板層疊體以斜靠的狀態(tài)收容的玻璃板包裝容器內(nèi)的狀態(tài)下,進(jìn)行保管、搬運(yùn)。這種情況下,以使作用在平置的玻璃板層疊體18中的最下方的玻璃板14上的表面壓力成為與保管、搬運(yùn)時(shí)的作用在斜靠的狀態(tài)下的最下側(cè)的玻璃板上的表面壓力相同的方式調(diào)節(jié)重物26的重量而調(diào)節(jié)載荷,由此能夠進(jìn)行與保管、搬運(yùn)時(shí)同等的條件下的評(píng)價(jià)。
[0063](清洗工序)
[0064]在靜置工序中將層疊體I靜置規(guī)定時(shí)間后,從恒溫恒濕槽100取出層疊體1,將玻璃板層疊體18分解而對(duì)各個(gè)玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面進(jìn)行清洗、干燥。
[0065]在清洗工序中,將成為測(cè)定對(duì)象的玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面(表面)全部在相同的條件下進(jìn)行清洗、干燥。并且,在后述的測(cè)定工序之后,以對(duì)于任一個(gè)玻璃板14的測(cè)定結(jié)果為基準(zhǔn),根據(jù)其他的玻璃板14的測(cè)定結(jié)果,來評(píng)價(jià)與該其他的玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面接觸的夾紙16的評(píng)價(jià)對(duì)象面。
[0066]清洗方法沒有特別限定,例如,可列舉刷式清洗、超聲波清洗、高壓噴水清洗、或?qū)⑺鼈兘M合的清洗等。具體而言,例如,以使噴水與玻璃板14的兩面接觸的方式依次實(shí)施高壓純水噴水、純水超聲波噴水、高壓純水噴水的方法等。
[0067]干燥的方法沒有特別限定,例如,可列舉鼓風(fēng)等。
[0068](測(cè)定工序)
[0069]對(duì)于清洗了的各個(gè)玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面,測(cè)定附著的顆粒數(shù)量。
[0070]作為對(duì)顆粒數(shù)量進(jìn)行測(cè)定的裝置,只要能夠測(cè)定附著在玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面上的顆粒數(shù)量即可,沒有特別限定,例如,可列舉激光散射成像方式異物檢查裝置等。
[0071]作為計(jì)測(cè)對(duì)象的顆粒的尺寸只要根據(jù)玻璃板的用途等而適當(dāng)設(shè)定即可。例如,在FPD用途的玻璃板的情況下,優(yōu)選將粒徑為I μ m以上的顆粒作為計(jì)測(cè)對(duì)象。
[0072]玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)通過由所述測(cè)定工序測(cè)定的各玻璃板的電子器件用構(gòu)件形成面的顆粒數(shù)量進(jìn)行。在本發(fā)明中,從評(píng)價(jià)的可靠性更高的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選通過多張玻璃板的電子器件用構(gòu)件形成面的顆粒數(shù)量的平均值來進(jìn)行玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)。
[0073]另外,由于本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)能夠更嚴(yán)格地評(píng)價(jià)紙粉等從玻璃板用夾紙向玻璃板表面的附著量,因此優(yōu)選預(yù)先測(cè)定層疊之前的玻璃板的電子器件用構(gòu)件形成面的顆粒數(shù)量,使用從由所述測(cè)定工序得到的顆粒數(shù)量減去了預(yù)先測(cè)定的顆粒數(shù)量的值而進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0074]根據(jù)以上說明的本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,測(cè)定的顆粒數(shù)量的誤差小,能夠高可靠性且穩(wěn)定地評(píng)價(jià)玻璃板用夾紙。
[0075]需要說明的是,本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法沒有限定為上述的方法。例如,也可以,在將玻璃板層疊體以斜靠的狀態(tài)進(jìn)行保管、搬運(yùn)等的情況下,在靜置工序中,將層疊玻璃板與夾紙而成的玻璃板層疊體與保管、搬運(yùn)時(shí)同樣地以斜靠的狀態(tài)靜置。
[0076]另外,也可以測(cè)定附著在玻璃板的相反面上的顆粒數(shù)量而進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0077]另外,本發(fā)明的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法也可以是不具有清洗工序的方法。
[0078]另外,玻璃板層疊體中的雙方的最外層也可以不設(shè)為模擬板而設(shè)為測(cè)定對(duì)象的玻璃板。這種情況下,也能夠使與保管、搬運(yùn)時(shí)同等的條件下的層疊狀態(tài)再現(xiàn),因此評(píng)價(jià)的可靠性變得更高。
[0079]實(shí)施例
[0080]以下,通過實(shí)施例而詳細(xì)地說明本發(fā)明,但本發(fā)明沒有限定為以下的記載。
[0081][例I]
[0082]層疊工序:
[0083]在清潔室內(nèi),在作為下側(cè)基板10的鋁板(長500mmX寬400mmX厚度1mm)上設(shè)置了厚度3_的樹脂片(P0R0N(注冊(cè)商標(biāo))、株式會(huì)社羅杰斯井上制)作為緩沖件12。
[0084]而且在該緩沖件12之上設(shè)置作為模擬板20的玻璃板(長470mmX寬370mmX厚度0.7mm),在該模擬板20上,將夾紙16的20張(參照用的夾紙D (長500mm X寬400mm) 10張及夾紙A(測(cè)定對(duì)象。長500mmX寬400mm) 10張)和玻璃板14(旭硝子株式會(huì)社制AN100。長470mmX寬370mmX厚度0.7mm) 20張以夾紙16與所述模擬板20接觸的方式交替層疊。
[0085]夾紙16與玻璃板14的層疊是將玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面(玻璃板表面)全部向下并將與該電子器件用構(gòu)件形成面相接的夾紙16的面從下方起按照以下的順序?qū)盈B。需要說明的是,(I)表示從下方起的第一張夾紙,以下同樣。
[0086](I)夾紙D的氈面。
[0087](2)夾紙D的金屬線面。
[0088](3)夾紙A的氈面。
[0089](4)夾紙A的金屬線面。
[0090](5)?(8)、(9)?(12)、(13)?(16)及(17)?(20)分別為與(I)?(4)相同的順序。
[0091]而且,在最上方的玻璃板14上設(shè)置夾紙A作為模擬夾紙22,在該夾紙A上設(shè)置與所述模擬板20相同的模擬板20,形成為玻璃板層疊體18。
[0092]然后,在所述玻璃板層疊體18的模擬板20上,依次設(shè)置了厚度3mm的樹脂片(P0R0N(注冊(cè)商標(biāo))、株式會(huì)社羅杰斯井上制)作為緩沖件12。
[0093]靜置工序:
[0094]在溫度40°C、濕度25%的恒溫恒濕槽100的底部重疊鋪設(shè)3張厚度Imm的樹脂片(P0R0N(注冊(cè)商標(biāo))、株式會(huì)社羅杰斯井上制)作為緩沖件28,進(jìn)而在其上鋪設(shè)了厚度5mm的樹脂片(P0R0N(注冊(cè)商標(biāo))、株式會(huì)社羅杰斯井上制)。然后,將通過所述層疊方法得到的由鋁板/樹脂片/玻璃板層疊體/樹脂片構(gòu)成的層疊體I以鋁板成為下方的方式設(shè)置在該樹脂片上,在該層疊體I上進(jìn)而設(shè)置了作為上側(cè)基板24的鋁板(長500mmX寬400mmX厚度1mm)。然后,在所述層疊體上的招板上設(shè)置重量35.8kg的重物26,靜置了 24小時(shí)。
[0095]然后,將所述層疊體I分解而將玻璃板層疊體18取出,利用清洗機(jī)對(duì)20張的各個(gè)玻璃板14的表面進(jìn)行了清洗。清洗以使噴水接觸于玻璃板14的兩面的方式在高壓純水噴水(5秒)、純水超聲波噴水(10秒)、高壓純水噴水(5秒)的條件下進(jìn)行,然后通過鼓風(fēng)進(jìn)行了干燥。在清洗后,通過顆粒數(shù)量測(cè)定機(jī)(FH)用異物檢查裝置HS-730、東麗工程(TorayEngineering)公司制),測(cè)定附著在各玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面上的尺寸為Ιμπι以上的顆粒數(shù)量,分別算出了與市售的夾紙A的氈面接觸的電子器件用構(gòu)件形成面上的顆粒數(shù)量的平均值、與夾紙A的金屬線面接觸的電子器件用構(gòu)件形成面上的顆粒數(shù)量的平均值。
[0096]另外,從所述各自的平均值減去對(duì)于層疊之前的各自的玻璃板14的電子器件用構(gòu)件形成面測(cè)定出的顆粒數(shù)量的平均值,算出了夾紙引起的顆粒數(shù)量。然后,算出與夾紙A的氈面接觸的電子器件用構(gòu)件形成面上的差值運(yùn)算后的顆粒數(shù)量作為“I”而標(biāo)準(zhǔn)化時(shí)的、與夾紙A的金屬線面接觸的電子器件用構(gòu)件形成面上的差值運(yùn)算后的顆粒數(shù)量并進(jìn)行了評(píng)價(jià)。
[0097][例2]
[0098]除了將測(cè)定對(duì)象的夾紙A變更為市售的夾紙B以外,利用同樣的方法評(píng)價(jià)了與夾紙B的金屬線面接觸的電子器件用構(gòu)件形成面上的顆粒數(shù)量。
[0099][例3]
[0100]除了將測(cè)定對(duì)象的夾紙A變更為市售的夾紙C以外,利用同樣的方法評(píng)價(jià)了與夾紙C的金屬線面接觸的電子器件用構(gòu)件形成面上的顆粒數(shù)量。
[0101]關(guān)于例I?3,在確認(rèn)了與各自的參照用的夾紙D接觸的玻璃板的顆粒數(shù)量的測(cè)定結(jié)果時(shí),誤差充分小。例I?3的評(píng)價(jià)結(jié)果如圖3所示。
[0102]夾紙A?C都是金屬線面比氈面的從夾紙附著于玻璃板表面的顆粒數(shù)量少。
[0103]詳細(xì)而且參照特定的實(shí)施形態(tài)說明了本發(fā)明,但是不脫離本發(fā)明的范圍和宗旨而能夠施加各種修正、變更的情況對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說不言自明。
[0104]本申請(qǐng)基于2012年4月13日提出申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)2012-092123,并將其內(nèi)容作為參照而援引于此。
[0105]【標(biāo)號(hào)說明】
[0106]I..?層疊體,10..?下側(cè)基板,12..?緩沖件,14..?玻璃板,16..?玻璃板用夾紙,18..?玻璃板層疊體,20..?模擬板,22..?模擬夾紙,24..?上側(cè)基板,26..?重物,28..?緩沖件,100..?恒溫恒濕槽
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,所述玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法是在將2張以上的玻璃板層疊時(shí)插入到所述玻璃板之間的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,其中, 所述玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法具有: 將交替層疊2張以上的玻璃板與I張以上的玻璃板用夾紙而成的玻璃板層疊體在溫度5?40°C、濕度O?50%的環(huán)境下靜置的靜置工序;以及 在該靜置工序之后測(cè)定附著在所述玻璃板層疊體中的所述玻璃板的表面上的顆粒數(shù)量的測(cè)定工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,其中, 在所述測(cè)定工序之前,具有對(duì)靜置后的所述玻璃板層疊體中的所述玻璃板的表面進(jìn)行清洗的清洗工序。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,其中, 利用緩沖件夾持將所述玻璃板和所述玻璃板用夾紙?jiān)谄街玫臓顟B(tài)下層疊而成的所述玻璃板層疊體,在從上方對(duì)所述玻璃板層疊體施加了載荷的狀態(tài)下在所述環(huán)境下進(jìn)行靜置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,其中, 以使所述靜置工序中的作用在所述玻璃板層疊體的最下側(cè)的玻璃板上的表面壓力與保管、搬運(yùn)時(shí)的作用在所述玻璃板層疊體的最下側(cè)的玻璃板上的表面壓力相同的方式施加載荷。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,其中, 所述玻璃板層疊體中的兩方的最外層均是玻璃板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)所述的玻璃板用夾紙的評(píng)價(jià)方法,其中, 所述玻璃板的表面是電子器件用構(gòu)件形成面。
【文檔編號(hào)】G01N33/34GK104272106SQ201380019767
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2013年4月9日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月13日
【發(fā)明者】小暮祐二, 石丸直彥 申請(qǐng)人:旭硝子株式會(huì)社