板狀玻璃的檢查單元及制造設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種對具有成型方向的板狀玻璃能進(jìn)行高效率檢查的板狀玻璃的檢查單元及制造設(shè)備，根據(jù)本實用新型的制造設(shè)備（100）的檢查單元（20）是向下游傳送具有成型方向的板狀玻璃（101）的同時進(jìn)行檢查的檢查單元。以旋轉(zhuǎn)裝置（40）為基準(zhǔn)，在其上游及下游中，在一側(cè)配置有平行邊緣檢查裝置（30），在另一側(cè)配置有正交邊緣檢查裝置（50）、面檢查裝置（60）及線檢查裝置（70）。
【專利說明】板狀玻璃的檢查單元及制造設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及在制造生產(chǎn)線上對板狀玻璃進(jìn)行檢查的板狀玻璃的檢查單元。又，涉及包含了該檢查單元的板狀玻璃的制造設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]板狀玻璃在制造后要接受各種檢查，并確定達(dá)到了一定的標(biāo)準(zhǔn)后才能進(jìn)行出貨。關(guān)于板狀玻璃檢查方面，例如，在專利文獻(xiàn)I中公開了《玻璃基板的形狀測定裝置及測定方法》、在專利文獻(xiàn)2中公開了《異物檢查裝置及檢查方法》、在專利文獻(xiàn)3中公開了《板狀透明體的缺陷檢查裝置及其方法》、在專利文獻(xiàn)4中公開了《透光性矩形件的端面檢查方法和端面檢查裝置》。如上所示，對板狀玻璃進(jìn)行檢查的裝置和方法等已經(jīng)公開在較多文獻(xiàn)中。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn):
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特開2007-205724號公報；
[0005]專利文獻(xiàn)2:日本特開2010-169453號公報；
[0006]專利文獻(xiàn)3:日本特開2012-007993號公報；
[0007]專利文獻(xiàn)4:日本特開2011-227049號公報。
實用新型內(nèi)容
[0008]實用新型要解決的問題:
[0009]然而，記載于文獻(xiàn)中的技術(shù)中的任何一個都是只著眼于多個檢查項目中的一個，有關(guān)進(jìn)行各種檢查的裝置和方法等如何來組合這一點上卻沒做過充分的探討。進(jìn)一步說，在文獻(xiàn)中就連以何種基準(zhǔn)配置各裝置才會有效的相關(guān)啟示都沒有記載。在此，發(fā)明人著眼的是具有“成型方向”的板狀玻璃，即在制造生產(chǎn)線上以某種方向送出并成型的板狀玻璃，在條紋(存在于光學(xué)玻璃中條紋狀或?qū)訝畹墓鈱W(xué)性非均質(zhì)部分)、劃傷等缺陷上所具有的方向性(指向性)。
[0010]本實用新型是鑒于上述問題所形成的，是以提供對具有成型方向的板狀玻璃能進(jìn)行高效率檢查的檢查單元為目的的。
[0011]解決問題的手段:
[0012]根據(jù)本實用新型的一形態(tài)的檢查單元是向下游傳送具有成型方向的矩形狀的板狀玻璃的同時進(jìn)行檢查的檢查單元，其中，該檢查單元具備:檢查所通過的所述板狀玻璃的在成型方向上延伸的邊的平行邊緣檢查裝置；使所述板狀玻璃旋轉(zhuǎn)以使成型方向與搬運(yùn)方向正交的旋轉(zhuǎn)裝置；檢查所通過的所述板狀玻璃的與成型方向正交的邊的正交邊緣檢查裝置；檢查所通過的所述板狀玻璃的整個表面的面檢查裝置；在與成型方向正交的線上檢查所通過的所述板狀玻璃的表面的線檢查裝置；以所述旋轉(zhuǎn)裝置為基準(zhǔn)，在其上游及下游中，在一側(cè)配置有所述平行邊緣檢查裝置，在另一側(cè)配置有所述正交邊緣檢查裝置、所述面檢查裝置以及所述線檢查裝置。
[0013]在此，具有成型方向的板狀玻璃在成型方向上易發(fā)生劃傷、條紋等的缺陷。因此，面檢查裝置及線檢查裝置若以與成型方向正交的方向進(jìn)行板狀玻璃的檢查，就能夠進(jìn)行高精度檢查。而且，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于將這兩個檢查裝置集中地配置在旋轉(zhuǎn)裝置的下游或上游，故能無需重復(fù)板狀玻璃的方向轉(zhuǎn)換，從而高效率地進(jìn)行高精度的檢查。
[0014]此外，在上述檢查單元中，也可以是所述平行邊緣檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的在成型方向上延伸的兩個邊的缺陷，同時基于該兩個邊的位置計算出所述板狀玻璃的與成型方向正交的方向上的尺寸的結(jié)構(gòu)；所述正交邊緣檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的與成型方向正交的兩個邊的缺陷，同時基于該兩個邊的位置計算出所述板狀玻璃的成型方向上的尺寸的結(jié)構(gòu)；所述面檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的表面及內(nèi)部的缺陷的結(jié)構(gòu)；所述線檢查裝置形成為測定所述板狀玻璃的厚度，同時檢測出所述板狀玻璃的條紋的結(jié)構(gòu)。
[0015]又，在上述檢查單元中，也可以是還具備離線檢查裝置；所述離線檢查裝置具有用于測定板狀玻璃的板厚度的板厚度傳感器、用于測定板狀玻璃的殘余應(yīng)力的應(yīng)力測定傳感器、和相對于板狀玻璃平行移動的驅(qū)動部；所述板厚度傳感器及所述應(yīng)力測定傳感器形成為均設(shè)置在所述驅(qū)動部上，并同時移動的結(jié)構(gòu)。
[0016]板厚度測定和應(yīng)力測定若以高精度進(jìn)行，會比較花費(fèi)時間，但是根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠同時進(jìn)行這些檢查，因此檢查時間縮短的基礎(chǔ)上，精度和效率非常高，板狀玻璃的質(zhì)量管理也變得容易。
[0017]此外，根據(jù)本實用新型的板狀玻璃的制造設(shè)備具備:上述檢查單元；以及位于所述檢查單元的上游側(cè)，具有對所通過的板狀玻璃吹出空氣的吹出口的清掃單元；所述吹出口是在相對于與板狀玻璃的搬運(yùn)方向正交的方向傾斜的方向上延伸的。
[0018]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可以防止當(dāng)板狀玻璃臨近吹出口時空氣的力一下子施加到板狀玻璃上的情況，并能緩慢地向板狀玻璃施加空氣所產(chǎn)生的力。因此，可以防止板狀玻璃通過吹出口時可能發(fā)生的板狀玻璃在垂直方向上抖動的現(xiàn)象。
[0019]根據(jù)本實用新型的其他形態(tài)的檢查單元是將具有成型方向的矩形狀的板狀玻璃以該成型方向搬入，并向下游傳送的同時進(jìn)行檢查的檢查單元；其中，該檢查單元具備:使所述板狀玻璃旋轉(zhuǎn)以使成型方向與搬運(yùn)方向正交的旋轉(zhuǎn)裝置；暫停傳送，檢查所述板狀玻璃的四個邊的全邊緣檢查裝置；檢查所通過的所述板狀玻璃的整個表面的面檢查裝置；和在與成型方向正交的線上檢查所通過的所述板狀玻璃的表面的線檢查裝置；在所述旋轉(zhuǎn)裝置的下游側(cè)配置有所述面檢查裝置及所述線檢查裝置。
[0020]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，盡管代替平行邊緣檢查裝置及正交邊緣檢查裝置而采用全邊緣檢查裝置，但是由于面檢查裝置及線檢查裝置被集中配置在旋轉(zhuǎn)裝置的下游側(cè)，因此，即便在此種情況下，也能對板狀玻璃進(jìn)行高效率的檢查。
[0021]又，在上述檢查單元中，也可以是所述全邊緣檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的四個邊的缺陷，同時基于各邊的位置計算出所述板狀玻璃的成型方向上的尺寸及與成型方向正交的方向上的尺寸的結(jié)構(gòu)；所述面檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的表面及內(nèi)部的缺陷的結(jié)構(gòu)；所述線檢查裝置形成為測定所述板狀玻璃的厚度，同時檢測出所述板狀玻璃的條紋的結(jié)構(gòu)。
[0022]根據(jù)本實用新型的另外形態(tài)的檢查單元是將具有成型方向的矩形狀的板狀玻璃以與該成型方向正交的方向搬入，并向下游傳送的同時進(jìn)行檢查的檢查單元，其中，該檢查單元具備:暫停傳送，檢查所述板狀玻璃的四個邊的全邊緣檢查裝置；檢查所通過的所述板狀玻璃的整個表面的面檢查裝置；和在與成型方向正交的線上檢查所通過的所述板狀玻璃的表面的線檢查裝置。
[0023]又，在上述檢查單元中，也可以是所述全邊緣檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的四個邊的缺陷，同時基于各邊的位置計算出所述板狀玻璃的成型方向上的尺寸及與成型方向正交的方向上的尺寸的結(jié)構(gòu)；所述面檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的表面及內(nèi)部的缺陷的結(jié)構(gòu)；所述線檢查裝置形成為測定所述板狀玻璃的厚度，同時檢測出所述板狀玻璃的條紋的結(jié)構(gòu)。
[0024]實用新型的效果
[0025]如上所述，根據(jù)本實用新型能夠提供一種檢查單元，這種檢查單元能高效率地執(zhí)行對具有成型方向的板狀玻璃的檢查。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1是示出根據(jù)本實用新型第I實施形態(tài)的制造設(shè)備的主要部分的概略俯視圖；
[0027]圖2是圖1所示的離線檢查裝置的概略立體圖；
[0028]圖3是示出根據(jù)本實用新型第2實施形態(tài)的制造設(shè)備的主要部分的概略俯視圖；
[0029]圖4是示出根據(jù)本實用新型第3實施形態(tài)的制造設(shè)備的主要部分的概略俯視圖；
[0030]圖5是示出根據(jù)本實用新型第4實施形態(tài)的制造設(shè)備的主要部分的概略俯視圖；
[0031]符號說明:
[0032]10清掃單元；
[0033]11 吹出口；
[0034]20檢查單元；
[0035]30平行邊緣檢查裝置；
[0036]35全邊緣檢查裝置；
[0037]40旋轉(zhuǎn)裝置；
[0038]50正交邊緣檢查裝置；
[0039]60面檢查裝置；
[0040]70線檢查裝置；
[0041]71厚度測定傳感器；
[0042]72條紋檢查傳感器；
[0043]80高速應(yīng)力測定裝置；
[0044]81應(yīng)力測定傳感器；
[0045]90離線檢查裝置；
[0046]92驅(qū)動部；
[0047]93板厚度傳感器；
[0048]94應(yīng)力測定傳感器；
[0049]100,200,300,400 制造設(shè)備。
【具體實施方式】[0050]下面將參照附圖的同時對根據(jù)本實用新型的實施形態(tài)進(jìn)行說明。以下，對所有附圖中相同或相當(dāng)?shù)囊貥?biāo)以相同的符號，并省略重復(fù)的說明。
[0051](第I實施形態(tài))
[0052]首先，參照圖1及圖2說明根據(jù)本實用新型第I實施形態(tài)的板狀玻璃的制造設(shè)備100。圖1是示出根據(jù)本實施形態(tài)的制造設(shè)備100的主要部分的概略俯視圖。圖中板狀玻璃101在送料輥的作用下從紙面的右方向向左方向搬運(yùn)。圖中標(biāo)以A到H符號的板狀玻璃101示出的是隨著時間的推移板狀玻璃101所呈現(xiàn)的朝向及位置。以下，在圖中將標(biāo)以A到H符號的板狀玻璃101的位置例如稱為“位置A”等并進(jìn)行說明。此外，本實施形態(tài)的板狀玻璃101是從位于制造生產(chǎn)線的上游側(cè)的熔融爐(未圖示)中送出并進(jìn)行成型的，并且具有“成型方向”。板狀玻璃101雖以長方形形狀(矩形形狀)形成，但其長邊與成型方向之間存在著平行的關(guān)系。如圖1所示，根據(jù)本實施形態(tài)的制造設(shè)備100具備清掃單元10及檢查單元20。
[0053]清掃單元10是對所通過的板狀玻璃101進(jìn)行清掃的單元。板狀玻璃101在前道工序(未圖示)中切斷為任意大小后搬入至清掃單元10。在清掃單元10中，除去在將板狀玻璃101切斷時附著的切屑粉等，再將板狀玻璃101送往位于下游側(cè)的檢查單元20。此外，在本實施形態(tài)下，板狀玻璃101是以成型方向搬入至清掃單元10內(nèi)的。即，板狀玻璃101是使長邊與搬入方向一致并搬入清掃單元10內(nèi)的。
[0054]此外，清掃單元10上具有一個吹出口 11，它向所通過的板狀玻璃101吹出空氣。在圖1中，板狀玻璃101從位置A向位置B移動的過程中就要通過該吹出口 11。吹出口 11并不是在與板狀玻璃101的搬運(yùn)方向正交的方向上延伸的，而是在相對于與搬運(yùn)方向正交的方向傾斜的方向上延伸的。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可以防止當(dāng)板狀玻璃101臨近吹出口 11時，空氣的力一下子施加到板狀玻璃101上的情況，并能慢慢地向板狀玻璃101施加空氣的力。因此，可以防止板狀玻璃101通過吹出口 11時可能產(chǎn)生的板狀玻璃101在垂直方向上抖動的現(xiàn)象。
[0055]檢查單元20是將板狀玻璃101向下游搬運(yùn)的同時進(jìn)行檢查的單元。在圖1中，板狀玻璃101從位置B向位置H移動的期間，依靠檢查單元20來進(jìn)行檢查。在本實施形態(tài)下，板狀玻璃101從上述清掃單元10以未旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)搬入至檢查單元20。即，板狀玻璃101是以成型方向與搬運(yùn)方向保持一致的方式搬運(yùn)至檢查單元20的。又，如圖1所示，檢查單元20具備平行邊緣檢查裝置30、旋轉(zhuǎn)裝置40、正交邊緣檢查裝置50、面檢查裝置60、線檢查裝置70、高速應(yīng)力測定裝置80、離線檢查裝置90。這些裝置除離線檢查裝置90之外都配置在直線上。
[0056]平行邊緣檢查裝置30是檢查所通過的板狀玻璃101中在成型方向上延伸的邊(長邊)上是否存在缺陷的裝置。平行邊緣檢查裝置30具有兩臺CXD (Charge CoupledDevice ;電荷耦合器件)相機(jī)31。各臺CXD相機(jī)31配置在板狀玻璃101上方且與板狀玻璃101的兩長邊相對應(yīng)的位置上。在板狀玻璃101由位置B移動到位置C的過程中，板狀玻璃101的長邊將依靠此CXD相機(jī)31來拍攝。而且，平行邊緣檢查裝置30將基于CXD相機(jī)31拍攝所得的圖像數(shù)據(jù)來判斷長邊上是否存在缺陷(缺損、裂痕、研磨斑及污點)。此外，由于能夠依靠圖像數(shù)據(jù)測定板狀玻璃101的長邊位置，可依此長邊的位置計算出短邊的尺寸，即從一方長邊到另一方長邊的距離。再者，為了提高檢查質(zhì)量，也可以在板狀玻璃101的上方、下方、側(cè)方三個地方同時設(shè)置C⑶相機(jī)31。
[0057]旋轉(zhuǎn)裝置40是使板狀玻璃101水平旋轉(zhuǎn)的裝置。在本實施形態(tài)中，使板狀玻璃101旋轉(zhuǎn)90度，以使長邊與搬運(yùn)方向成正交狀態(tài)。借助于此，在比旋轉(zhuǎn)裝置40靠近下游側(cè)的位置上，板狀玻璃101是以與成型方向成正交的方向來搬運(yùn)的。旋轉(zhuǎn)裝置40在本實施形態(tài)下利用具有吸盤的臂41將板狀玻璃101在位置C處吸附、提起，并使其旋轉(zhuǎn)后降落于位置D上。但是，旋轉(zhuǎn)裝置40的具體結(jié)構(gòu)并不僅限于此，以任何一種方法使其旋轉(zhuǎn)都可以。
[0058]在此，以旋轉(zhuǎn)裝置40的位置為基準(zhǔn)，構(gòu)成檢查單元20的各個裝置的配置順序如下所述。即，在旋轉(zhuǎn)裝置40的上游側(cè)上配置有平行邊緣檢查裝置30。此外，旋轉(zhuǎn)裝置40的下游側(cè)上配置有正交邊緣檢查裝置50、面檢查裝置60、線檢查裝置70及高速應(yīng)力測定裝置80。另外，高速應(yīng)力測定裝置80所處的位置并無特別限定。又，正交邊緣檢查裝置50、面檢查裝置60、線檢查裝置70只要位于旋轉(zhuǎn)裝置40的下游側(cè)即可，上述三個裝置的位置也可以交換。
[0059]正交邊緣檢查裝置50是檢查所通過的板狀玻璃101的與成型方向正交的邊(短邊)上是否存在缺陷的裝置。正交邊緣檢查裝置50具有兩臺CXD相機(jī)51。C⑶相機(jī)51配置在板狀玻璃101上方且與板狀玻璃101的兩短邊相對應(yīng)的位置上。在板狀玻璃101由位置D移動到位置E的過程中，依靠此C⑶相機(jī)51來對板狀玻璃101的短邊進(jìn)行拍攝。而且，將基于拍攝所得的圖像數(shù)據(jù)來判斷短邊上是否存在缺陷。又，由于能夠依靠圖像數(shù)據(jù)測定板狀玻璃101的短邊位置，因此基于該短邊的位置也同時計算出長邊的尺寸，即從一方短邊到另一方短邊的距離。另外，為了提高檢查質(zhì)量，也可以在板狀玻璃101的上方、下方、側(cè)方三個位置同時設(shè)置CXD相機(jī)51。
[0060]面檢查裝置60是檢查所通過的板狀玻璃101的整個表面的裝置。面檢查裝置60具有多個C⑶相機(jī)61。CXD相機(jī)61位于板狀玻璃101上方，且在與搬運(yùn)方向正交的方向上排列配置。在板狀玻璃101由位置E移動到位置F的過程中，依靠這些(XD相機(jī)61來對板狀玻璃101的整個表面進(jìn)行拍攝。而且，將基于拍攝所得的圖像數(shù)據(jù)來判斷板狀玻璃101是否存在表面缺陷(劃傷、異物的附著)及內(nèi)部缺陷(氣泡、異物的混入)。另外，板狀玻璃101表面的劃傷易沿著成型方向形成。因此，通過面向與成型方向正交的方向觀測表面，當(dāng)存在劃傷的情況下，圖像數(shù)據(jù)會容易發(fā)生變化，從而容易檢查出劃傷。也就是說，依靠此結(jié)構(gòu)能夠使表面檢查的精確度提高。
[0061]線檢查裝置70是在與成型方向正交的線上(向與成型方向正交的方向相對移動的同時)檢查所通過的板狀玻璃101的表面的裝置。線檢查裝置70具有厚度測定傳感器71和條紋檢查傳感器72。厚度測定傳感器71觀測從板狀玻璃101上方照射后，在板狀玻璃101上表面及下表面反射的光。線檢查裝置70基于該觀測結(jié)果，可以測定出在檢查位置上的板狀玻璃101的厚度。此外，條紋檢查傳感器72觀測的是穿透板狀玻璃101內(nèi)部的光。線檢查裝置70基于該觀測結(jié)果，能夠檢測出板狀玻璃101內(nèi)部的條紋。在圖1中，板狀玻璃101由位置F移動到位置G的過程中，測定板狀玻璃101厚度的同時還檢查是否有條紋存在。在此，具有成型方向的板狀玻璃101在與成型方向正交的方向上易發(fā)生厚度的變化。又，條紋是沿著成型方向所形成的。因此，如本實施形態(tài)那樣，朝著與成型方向正交的方向相對地移動的同時檢查厚度和條紋等，以此能高精度地檢測出板狀玻璃異常的厚度、條紋
坐寸ο[0062]高速應(yīng)力測定裝置80是高速測定板狀玻璃101內(nèi)部殘余應(yīng)力的裝置。高速應(yīng)力測定裝置80具有多個應(yīng)力測定傳感器81。應(yīng)力測定傳感器81位于板狀玻璃101上方，并且在與搬運(yùn)方向正交的方向上排列配置。高速應(yīng)力測定裝置80具有位于板狀玻璃101下方的發(fā)光部(未圖示)。發(fā)光部向板狀玻璃101下表面照射激光。激光穿透此板狀玻璃101內(nèi)部后由應(yīng)力測定傳感器81接收光。而且，高速應(yīng)力測定裝置80基于射入至應(yīng)力測定傳感器81的激光的角度計算出殘余應(yīng)力。在圖1中，板狀玻璃101由位置G移動到位置H的過程中，測定出該板狀玻璃101的殘余應(yīng)力。一般情況下，以高精度測定殘余應(yīng)力是比較花費(fèi)時間的，但是在本實施形態(tài)的高速應(yīng)力測定裝置80中，配置了多個應(yīng)力測定傳感器81及發(fā)光部，同時減少測定次數(shù)，以此實現(xiàn)了測定的高速化。
[0063]離線檢查裝置90是對從制造生產(chǎn)線上取出的板狀玻璃101進(jìn)行檢查的裝置。取出板狀玻璃101的方式自動或手動都可以。另外，在本實施形態(tài)中，通過離線檢查裝置90檢查的板狀玻璃101形成為能夠從位置G取出的結(jié)構(gòu)。在本實施形態(tài)的離線檢查裝置90中，同時進(jìn)行產(chǎn)生于板狀玻璃101的殘余應(yīng)力的測定和板厚度的測定。在此，圖2是離線檢查裝置90的概略立體圖。在離線檢查裝置90中，將板狀玻璃101放置在其上并進(jìn)行檢查，在下文中，將與該板狀玻璃長邊平行的方向(圖紙上是從右上到左下的方向)設(shè)為“X方向”；與板狀玻璃101短邊平行的方向(圖紙上是從左上到右下的方向)設(shè)為“Y方向”。
[0064]如圖2所示，離線檢查裝置90具有臺面91、驅(qū)動部92、板厚度傳感器93和應(yīng)力測定傳感器94。臺面91是將板狀玻璃101水平放置的臺面，并且形成為可朝X方向滑動的結(jié)構(gòu)。此外，臺面91上規(guī)則地形成有多個貫通孔(未圖示)，它們的貫通方向與臺面91的表面相垂直。在臺面91的下方配置有發(fā)光部(未圖示)，當(dāng)從該發(fā)光部發(fā)射出激光時，此激光穿過貫通孔并向板狀玻璃101照射。驅(qū)動部92位于臺面91的上方，沿著延伸于Y方向的軌道95朝著Y方向驅(qū)動。驅(qū)動部92上設(shè)置有板厚度傳感器93和應(yīng)力測定傳感器94。S卩，板厚度傳感器93及應(yīng)力測定傳感器94相鄰配置，并且形成為能夠與驅(qū)動部92 —起朝Y方向同時移動的結(jié)構(gòu)。另外，隨著應(yīng)力測定傳感器94朝Y方向移動，上述的發(fā)光部也朝著Y方向移動。
[0065]板厚度傳感器93能檢查出板狀玻璃101的彎曲度，并接收由板狀玻璃101反射的光。并且，板厚度傳感器93基于接收到的光的角度檢測出板狀玻璃101的彎曲度。此外，可以從該檢測數(shù)據(jù)計算出板狀玻璃101的板厚度。應(yīng)力測定傳感器94與上述高速應(yīng)力測定裝置80中的應(yīng)力測定傳感器81基本相同。然而，離線檢查裝置90中的應(yīng)力測定傳感器94的檢測精度高于高速應(yīng)力測定裝置80中的應(yīng)力測定傳感器81的檢測精度。此外，在本實施形態(tài)中，不僅基于由應(yīng)力測定傳感器94接收的來自發(fā)光部的激光的角度，還基于板厚度傳感器93算出的實際的板狀玻璃101的板厚度計算(測定)出殘余應(yīng)力。
[0066]例如，即便應(yīng)力測定傳感器94接收的激光的角度相同，但如果板狀玻璃101的板厚度不同，則殘余應(yīng)力就不會相同。即，為了測定出正確的殘余應(yīng)力，需要板狀玻璃101的板厚度的信息。然而，以往，測定板狀玻璃101的殘余應(yīng)力的裝置是從能進(jìn)行板狀玻璃101的板厚度測定的裝置獨(dú)立出來所設(shè)置的。因此，殘留應(yīng)力在假設(shè)板狀玻璃101板厚度一定的情況下被算出，其結(jié)果會產(chǎn)生10%左右程度的誤差。相對于此，本實施形態(tài)的離線檢查裝置90由于具備板厚度傳感器93及應(yīng)力測定傳感器94兩者，因此能基于實際板狀玻璃101的板厚度計算出殘余應(yīng)力，其結(jié)果是能夠以高精度來進(jìn)行殘余應(yīng)力的測定，并且使質(zhì)量管理也變得容易。
[0067]具備以上結(jié)構(gòu)的離線檢查裝置90將按如下所述對板狀玻璃101進(jìn)行檢查。首先，調(diào)整好臺面91在X方向上的位置，使板厚度傳感器93及應(yīng)力測定傳感器94能夠測定板狀玻璃101的一方的短邊附近。接著，在固定好臺面91位置的狀態(tài)下，將驅(qū)動部92從板狀玻璃101 —側(cè)的長邊沿Y方向一點點地改變位置到另一側(cè)的長邊，并進(jìn)行板狀玻璃101的板厚度測定及應(yīng)力測定。而且，當(dāng)驅(qū)動部92到達(dá)板狀玻璃101的另一側(cè)的長邊時，這次是使臺面91以X方向略微移動，以相同的方法，將驅(qū)動部92從板狀玻璃101另一側(cè)的長邊一點點地改變位置到一側(cè)的長邊，同時進(jìn)行板厚度測定和應(yīng)力測定。重復(fù)以上操作，對整個板狀玻璃101進(jìn)行了檢查后，離線檢查結(jié)束。另外，板厚度測定和應(yīng)力測定若要以高精度展開的話，任意一個都是比較花費(fèi)時間的，但是在本實施形態(tài)的離線檢查裝置90中，由于能同時進(jìn)行這些檢查，因此縮短測定時間的基礎(chǔ)上，不僅精度高且效率高。
[0068]以上是對根據(jù)本實施形態(tài)的板狀玻璃制造設(shè)備100的說明。在本實施形態(tài)的檢查單元20具備了面檢查裝置60及線檢查裝置70。這兩裝置從與成型方向正交的方向進(jìn)行檢查時，能高精度地檢測出缺陷。而且，這些裝置由于集中配置在了旋轉(zhuǎn)裝置40的下游，因此無需重復(fù)板狀玻璃101的方向轉(zhuǎn)換，能夠高效率地進(jìn)行檢查。另外，在本實施形態(tài)中，檢查單元20雖然具備了高速應(yīng)力測定裝置80，但由于通過離線檢查裝置90也能測定板狀玻璃101的殘余應(yīng)力，因此，檢查單元20也可以不具備離線檢查裝置90。
[0069](第2實施形態(tài))
[0070]接下來，參照圖3說明根據(jù)本實用新型第2實施形態(tài)的板狀玻璃101的制造設(shè)備200。圖3是示出根據(jù)本實施形態(tài)的制造設(shè)備200的主要部分的概略俯視圖。將本實施形態(tài)與第I實施形態(tài)進(jìn)行對比時，根據(jù)本實施形態(tài)的制造設(shè)備200在板狀玻璃101的搬入方向及構(gòu)成檢查單元20的裝置的配置順序的方面與根據(jù)第I實施形態(tài)的制造設(shè)備100不同。除此以外的方面，這兩個設(shè)備基本上具有相同的結(jié)構(gòu)。
[0071]具體的是在本實施形態(tài)中，板狀玻璃101以與成型方向正交的方向被搬入至清掃單元10及檢查單元20中。又，構(gòu)成檢查單元20的裝置的配置順序是以旋轉(zhuǎn)裝置40為基準(zhǔn)時如下述那樣。即，在旋轉(zhuǎn)裝置40的上游側(cè)配置有正交邊緣檢查裝置50、面檢查裝置60及線檢查裝置70。又，在旋轉(zhuǎn)裝置40的下游側(cè)配置有平行邊緣檢查裝置30及高速應(yīng)力測定裝置80。如此，在本實施形態(tài)的情況下，由于將面檢查裝置60及線檢查裝置70等集中配置在了旋轉(zhuǎn)裝置40的上游，因此和第I實施形態(tài)的情況一樣，無需重復(fù)板狀玻璃101的方向轉(zhuǎn)換，能高效率地進(jìn)行高精度的檢查。
[0072](第3實施形態(tài))
[0073]接下來，參照圖4說明根據(jù)本實用新型的第3實施形態(tài)的板狀玻璃101的制造設(shè)備300。圖4是示出根據(jù)本實施形態(tài)的制造設(shè)備300的主要部分的概略俯視圖。將本實施形態(tài)與第I實施形態(tài)對比時，根據(jù)本實施形態(tài)的制造設(shè)備300在檢查單元20未具備平行邊緣檢查裝置30及正交邊緣檢查裝置50，而取而代之具備全邊緣檢查裝置35這一點上，與根據(jù)第I實施形態(tài)的制造設(shè)備100結(jié)構(gòu)不同。除此以外的方面，這兩個設(shè)備基本上具有相同的結(jié)構(gòu)。因此，在此將以全邊緣檢查裝置35為中心進(jìn)行說明。
[0074]本實施形態(tài)的全邊緣檢查裝置35是檢查板狀玻璃101四個邊的裝置。全邊緣檢查裝置35具有4臺CXD相機(jī)36。各臺CXD相機(jī)36位于板狀玻璃101的上方，并且分別配置在與板狀玻璃101四邊相對應(yīng)的位置上。搬入至全邊緣檢查裝置35中的板狀玻璃101暫時停止其傳送，在這種狀態(tài)下各臺CXD相機(jī)36會沿著各自對應(yīng)的邊移動。而且，各臺CXD相機(jī)36在沿著所對應(yīng)的邊移動的期間，對該邊進(jìn)行拍攝。而且，全邊緣檢查裝置35基于依靠各臺CCD相機(jī)36拍攝所得的圖像數(shù)據(jù)，判斷各邊上是否存在缺陷。另外，以上，盡管說明了全邊緣檢查裝置35具有4臺CXD相機(jī)36的情況，但并不限于這樣的結(jié)構(gòu)。例如，也可以形成為設(shè)置I臺C⑶相機(jī)36，并且使其沿著板狀玻璃101全部四條邊移動的結(jié)構(gòu)。另外，為了提高檢查的質(zhì)量，也可以在板狀玻璃101的各邊的上方、下方、側(cè)方三個位置同時設(shè)置CCD相機(jī)36。
[0075]此外，依據(jù)圖像數(shù)據(jù)能夠測定出板狀玻璃101短邊及長邊的位置，并且基于這些測定結(jié)果，可以計算出板狀玻璃101長邊的尺寸及短邊的尺寸。另外，在本實施形態(tài)中，盡管全邊緣檢查裝置35配置在旋轉(zhuǎn)裝置40的下游側(cè)，但也可以配置在旋轉(zhuǎn)裝置40的上游偵U。在本實施形態(tài)中，盡管代替平行邊緣檢查裝置30及正交邊緣檢查裝置50而采用全邊緣檢查裝置35，但是與面檢查裝置60及線檢查裝置70集中配置在旋轉(zhuǎn)裝置40的下游側(cè)的情況相同地，即便在本實施形態(tài)的情況下，也能對板狀玻璃101進(jìn)行高效率的檢查。
[0076](第4實施形態(tài))
[0077]接下來，參照圖5說明根據(jù)本實用新型第4實施形態(tài)的板狀玻璃101的制造設(shè)備400。圖5是示出根據(jù)本實施形態(tài)的制造設(shè)備400的主要部分的概略俯視圖。將本實施形態(tài)與第2實施形態(tài)對比時，根據(jù)本實施形態(tài)的制造設(shè)備400在檢查單元20未具備平行邊緣檢查裝置30及正交邊緣檢查裝置50，取而代之具備全邊緣檢查裝置35，此外未具備旋轉(zhuǎn)裝置40這一點上與根據(jù)第2實施形態(tài)的制造設(shè)備200結(jié)構(gòu)不同。除此以外，這兩個設(shè)備具有基本上相同的結(jié)構(gòu)。
[0078]另外，本實施形態(tài)的全邊緣檢查裝置35與在第3實施形態(tài)中說明的全邊緣檢查裝置35是相同的。在本實施形態(tài)中，由于板狀玻璃101是以與成型方向正交的方向搬入至檢查單元20中，因此即便不旋轉(zhuǎn)板狀玻璃101以改變其方向，也能依靠面檢查裝置60及線檢查裝置70進(jìn)行高精度的檢查。因此，在本實施形態(tài)的檢查單元20中可以省略旋轉(zhuǎn)裝置40。在本實施形態(tài)的情況下也是集中配置有面檢查裝置60及線檢查裝置70，并且與其他實施形態(tài)相同地，能高效率地檢查板狀玻璃101。
[0079]以上參照【專利附圖】

【附圖說明】了本實用新型的實施形態(tài)，但具體的結(jié)構(gòu)并不限于這些實施形態(tài)，在不脫離本實用新型主旨的范圍內(nèi)的設(shè)計上的變更等也包含于本實用新型。
[0080]工業(yè)應(yīng)用性:
[0081]根據(jù)本實用新型能夠提供一種檢查單元，該檢查單元能對具有成型方向的板狀玻璃進(jìn)行高效率的檢查。因此，本實用新型在包含檢查單元的板狀玻璃的制造設(shè)備的【技術(shù)領(lǐng)域】是有意義的。
【權(quán)利要求】
1.一種檢查單元，其特征在于，是向下游傳送具有成型方向的矩形狀的板狀玻璃的同時進(jìn)行檢查的檢查單元，該檢查單元具備: 檢查所通過的所述板狀玻璃的在成型方向上延伸的邊的平行邊緣檢查裝置； 使所述板狀玻璃旋轉(zhuǎn)以使成型方向與搬運(yùn)方向正交的旋轉(zhuǎn)裝置； 檢查所通過的所述板狀玻璃的與成型方向正交的邊的正交邊緣檢查裝置； 檢查所通過的所述板狀玻璃的整個表面的面檢查裝置； 在與成型方向正交的線上檢查所通過的所述板狀玻璃的表面的線檢查裝置， 以所述旋轉(zhuǎn)裝置為基準(zhǔn)，在其上游及下游中，在一側(cè)配置有所述平行邊緣檢查裝置，在另一側(cè)配置有所述正交邊緣檢查裝置、所述面檢查裝置以及所述線檢查裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查單元，其特征在于，所述平行邊緣檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的在成型方向上延伸的兩個邊的缺陷，同時基于該兩個邊的位置計算出所述板狀玻璃的與成型方向正交的方向上的尺寸的結(jié)構(gòu)； 所述正交邊緣檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的與成型方向正交的兩個邊的缺陷，同時基于該兩個邊的位置計算出所述板狀玻璃的成型方向上的尺寸的結(jié)構(gòu)； 所述面檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的表面及內(nèi)部的缺陷的結(jié)構(gòu)； 所述線檢查裝置形成為測定所述板狀玻璃的厚度，同時檢測出所述板狀玻璃的條紋的結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查單元，其特征在于，還具備離線檢查裝置； 所述離線檢查裝置具有用于測定板狀玻璃的板厚度的板厚度傳感器、 用于測定板狀玻璃的殘余應(yīng)力的應(yīng)力測定傳感器、和 相對于板狀玻璃平行移動的驅(qū)動部； 所述板厚度傳感器及所述應(yīng)力測定傳感器形成為均設(shè)置在所述驅(qū)動部上，并同時移動的結(jié)構(gòu)。
4.一種板狀玻璃的制造設(shè)備，其特征在于，具備: 根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢查單元；以及 位于所述檢查單元的上游側(cè)，具有對所通過的板狀玻璃吹出空氣的吹出口的清掃單元; 所述吹出口是在相對于與板狀玻璃的搬運(yùn)方向正交的方向傾斜的方向上延伸的。
5.一種檢查單元，其特征在于，是將具有成型方向的矩形狀的板狀玻璃以該成型方向搬入，并向下游傳送的同時進(jìn)行檢查的檢查單元，該檢查單元具備: 使所述板狀玻璃旋轉(zhuǎn)以使成型方向與搬運(yùn)方向正交的旋轉(zhuǎn)裝置； 暫停傳送，檢查所述板狀玻璃的四個邊的全邊緣檢查裝置； 檢查所通過的所述板狀玻璃的整個表面的面檢查裝置；和 在與成型方向正交的線上檢查所通過的所述板狀玻璃的表面的線檢查裝置； 在所述旋轉(zhuǎn)裝置的下游側(cè)配置有所述面檢查裝置及所述線檢查裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查單元，其特征在于， 所述全邊緣檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的四個邊的缺陷，同時基于各邊的位置計算出與所述板狀玻璃的成型方向上的尺寸及與成型方向正交的方向上的尺寸的結(jié)構(gòu)；所述面檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的表面及內(nèi)部的缺陷的結(jié)構(gòu)； 所述線檢查裝置形成為測定所述板狀玻璃的厚度，同時檢測出所述板狀玻璃的條紋的結(jié)構(gòu)。
7.—種檢查單元，其特征在于，是將具有成型方向的矩形狀的板狀玻璃以與該成型方向正交的方向搬入，并向下游傳送的同時進(jìn)行檢查的檢查單元，該檢查單元具備: 暫停傳送，檢查所述板狀玻璃的四個邊的全邊緣檢查裝置； 檢查所通過的所述板狀玻璃的整個表面的面檢查裝置；和 在與成型方向正交的線上檢查所通過的所述板狀玻璃的表面的線檢查裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢查單元，其特征在于， 所述全邊緣檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的四個邊的缺陷，同時基于各邊的位置計算出與所述板狀玻璃的成型方向上的尺寸及與成型方向正交的方向上的尺寸的結(jié)構(gòu)； 所述面檢查裝置形成為檢測出所述板狀玻璃的表面及內(nèi)部的缺陷的結(jié)構(gòu)； 所述線檢查裝置形成為測定所述板狀玻璃的厚度，同時檢測出所述板狀玻璃的條紋的結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】G01B11/06GK203396363SQ201320353689
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年6月20日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月13日
【發(fā)明者】切通隆則, 佐藤誠, 辻田京史 申請人:川崎重工業(yè)株式會社